новая папка 1 / 323718
.pdfТаблица 4
Значения скорости газового потока через реактор диаметром 90 мм (см / с)
Расход |
|
|
|
Давление, Па |
|
|
|
||
газа, см3с–1 |
13 |
20 |
30 |
40 |
50 |
60 |
67 |
100 |
133 |
0,1 |
12,22 |
7,94 |
5,29 |
3,97 |
3,18 |
2,65 |
2,37 |
1,59 |
1,19 |
0,2 |
24,43 |
15,88 |
10,59 |
7,94 |
6,35 |
5,29 |
4,74 |
3,18 |
2,39 |
0,3 |
36,65 |
23,82 |
15,88 |
11,91 |
9,53 |
7,94 |
7,11 |
4,76 |
3.58 |
0,4 |
48,86 |
31,76 |
21,17 |
15,88 |
12,70 |
10,59 |
9,48 |
6,35 |
4,/8 |
0,5 |
61,08 |
39,7 |
26,47 |
19,85 |
15,88 |
13,23 |
11,85 |
7,94 |
5,97 |
0,6 |
73,29 |
47,64 |
31,76 |
23,82 |
19,06 |
15,88 |
14,22 |
9,53 |
7,16 |
0,8 |
97,72 |
63,52 |
42,35 |
31,76 |
25,41 |
21,17 |
18,96 |
12,70 |
9,55 |
1,0 |
122,15 |
79,4 |
52,93 |
39,7 |
31,76 |
26,47 |
23,70 |
15,88 |
11,94 |
1,2 |
146,58 |
95,28 |
63,52 |
47,64 |
38,11 |
31,76 |
28,44 |
19,06 |
14,33 |
21
Учебное издание
ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Часть 2 Особенности радикального травления
полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме
Учебно-методическое пособие для вузов
Составители: Владимирова Людмила Николаевна,
Дикарев Юрий Иванович, Рубинштейн Владимир Михайлович, Петраков Владимир Иванович
Корректор В.П. Бахметьев
Компьютерная верстка Е.Н. Комарчук
Подписано в печать 17.06.2014. Формат 60×84/16. Усл. печ. л. 1,3. Тираж 50 экз. Заказ 422
Издательский дом ВГУ. 394000, г. Воронеж, пл. Ленина, 10
Отпечатано в типографии Издательского дома ВГУ. 394000, г. Воронеж, ул. Пушкинская, 3
22