ИДЗ_2_Зикратова_31
.docxМИНОБРНАУКИ РОССИИ
Санкт-Петербургский государственный
электротехнический университет
«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)
Кафедра МНЭ
ИДЗ №2
по дисциплине «Методы анализа структур электроники и микросистемной техники»
Тема: ПРОВЕДЕНИЕ АНАЛИЗА МЕТОДОМ РСМА И МОДЕЛИРОВАНИЕ СПЕКТРА ВЫДАННОГО ОБРАЗЦА
Вариант 31
Студентка гр. 9282 |
|
Зикратова А. А. |
Преподаватель |
|
Андреева Н. В. |
Санкт-Петербург
2023
Цель работы: проведение анализа методом РСМА и моделирование спектра TlIn0,94Yb0,06Te2.
Моделирование спектра образца
Пусть энергия электронного пучка E0 = 40 кэВ, разрешение детектора Δ ≈ 150…200 эВ
1) Качественный спектр TlIn0,94Yb0,06Te2
XKα = Eсв(K) - Eсв(L3) XKβ = Eсв(K) - Eсв(M3)
XLα = Eсв(L3) - Eсв(M5) XLβ = Eсв(L2) - Eсв(M4)
XMα = Eсв(M5) - Eсв(N7) XMβ = Eсв(M4) - Eсв(N6)
Пример расчёта:
YbKα = Eсв(K) - Eсв(L3) = 61332 – 8943 = 52389 эВ
TeLβ = Eсв(L2) - Eсв(M4) = 4612 – 582 = 4030 эВ
TlMα = Eсв(M5) - Eсв(N7) = 2390 – 118 = 2272 эВ
Значения энергий переходов для K, L, M – серий для элементов, входящих в исследуемый образец, сведены в таблицу 1:
Рис. 1 – Качественный спектр излучения образца для α- и β-линий
2) Количественный спектр TlIn0,94Yb0,06Te2
Расчёт атомных процентов (долей):
= = = 0,25
= = = 0,235
= = = 0,015
= = = 0,5
Пример расчёта сечений ударной ионизации, размера области генерации и интенсивности:
σ(InK) = = ≈ 5,82*10-7 А2
σ(YbL3) = = ≈ 1,82*10-6 А2
Rхри(TlM5) = * ( = * ( ≈ 4 мкм
Y(TlMα) = N(Tl)* σ(TlM5)*ω(TlM5)* Rхри(TlM5) = 0,25*6,81*10-6*0,021*3,99*
*104 ≈ 0,001429
Параметры для построения спектра сведены в таблицу 2:
Глубина проникновения электронного пучка:
R = * = * ≈ 4,03 мкм
На основании таблицы 2 построен спектр излучения образца:
Рис. 2 – Количественный спектр излучения образца для α-линий
Вывод: в ходе данной работы были смоделированы качественный и количественный спектры образца TlIn0,94Yb0,06Te2