Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Физические основы микро- и нанотехнологий

..pdf
Скачиваний:
3
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
3.78 Mб
Скачать

Учебное издание

Иванов Александр Сергеевич Пахомов Герман Ильич

ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ

Учебное пособие

Редактор и корректор Н.А. Московкина

Подписано в печать 30.08.2011. Формат 60×90/16. Усл. печ. л. 19,5. Тираж 100 экз. Заказ № 144/2011.

Издательство Пермского национального исследовательского

политехнического университета.

Адрес: 614990, г. Пермь, Комсомольский проспект, 29, к. 113.

Тел. (342) 219-80-33.