Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Новые принципы коммутации больших мощностей полупроводниковыми приборами

..pdf
Скачиваний:
4
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
7.19 Mб
Скачать

оценить сверху, предположив, что канал расширя­ ется сферически, а проводимость его бесконечна. Тогда

£S(,r„Uw%

 

Л>< К - 7,f)2 ’

( 2)

где U — напряжение на ООЗ; wtt — толщина п-базы. Для U ~ 103В, н?я= 3 ‘ 10~2 см оценка дает/0 < ДО-2 А при t <^ 10"9 с. Это означает, что при стандартном сопротивлении высокочастотного тракта р=50 Ом

попадание в перенапряженную 0 0 3 одного носителя не препятствует подъему напряжения за время по­ рядка пролетного; вероятность же одновременного попадания нескольких носителей экспоненциально падает с ростом их числа. Максимальная площадь лавины примерно равна w\ ~ 10“3 см2, и при площади прибора 0.1 см2 99 % площади перенапряженной области свободны от носителей.

2. Процессы в квазниейтральпой области

Рассмотрим процессы в квазинейтральной об­ ласти о 0 при подъеме напряжения на р +-п-п^струк­ туре, включенной последовательно с нагрузкой i?n. Напряжение источника нарастает от начального стационарного значения U0 со скоростью U', т. е. U = U 0+ U 't. В начальном состоянии (рис. 22, кри-

вая 1)

WQOZ = о>о=

Iуf 2E&QCJо" и распределение поля

в 0 0 3

линейно, а

в квазинейтральной области 80

поле Е „ = 0. Рост напряжения ведет к расширению 0 0 3 и росту поля в ней. В области 80 также появля­ ется поле Еп > 0, вызванное протеканием тока через структуру. Уравнение, описывающее распределение поля при заданном напряжении, получается из простых геометрических соображений (рис. 22).

Полное напряжение на диоде

U = U ^ r U rt при поле

в квазинейтральной

области

Еа <

Е я определяется

следующим выражением:

 

 

 

 

2

 

^пшя“Ь

Endt =

Uо -j- U't,

где левая часть представляет собой площадь, огра­ ниченную кривой распределения поля в базе диода. Это уравнение в безразмерных переменных имеет вид:

где

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(3 )

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

? = К

Л:

 

 

 

 

\ч№*и>»и'

 

 

 

 

 

 

т =

 

2а§

 

 

 

Здесь

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

т0 =

RJSSEQ

;

тм =

ЕЕ0р;

 

Ф = 1 +

 

“Ср

;

 

£ £ Q S tR ^

— - —

 

 

t e = --------------

 

 

во

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В качестве единичных в (3) приняты:

 

 

 

 

 

 

.

 

а0

р

 

У'*ы

*

 

 

 

 

 

 

*®Д~

®Д“~

а0

 

 

 

 

 

Начальные

значения:

£ = 0:

 

у =

0;

о/=

Е =

0.

Оценим значения коэффициентов в (3).

В

рассматри­

ваемых приборах характерные значения: UQс* 103

В,

t f ' - 1 0 la В/с,

iVrf^ 1 0 u

см"8,

 

U7fl =

2.5 •10-2

см,

а0^

102 см,

S ^ 0.05 см2

Ra

Ю2 Ом. Оценки дают:

xJI =

ee0p = 5 •10-11 с,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

£EQS-RB

~ 2 ■10"10

с,

х0 =

ЕЕрSД тг

 

5 . 10-10 с,

 

 

ю.

 

 

 

 

 

 

во

 

 

 

 

 

ф =

5,

р ~

б •10-2,

Y — 0.15,

^вд =

0.6

нс,

£ ед =

= 5 * 103 В/с.

Учитывая

 

малость

параметра

Т>

для

относительно небольших <р (так, что

в (3)

мо,кпо пренебречь квадратичным членом, что физически означает малость смещения границы ООЗ от ее на­

чального положения а0. В этом случае

решение (3)

имеет вид:

 

 

 

 

 

? == (

У

+ Сгвг

+ 1 -

1

(4)

где

 

 

 

 

 

Г _ ! + £ * . . г

- Л

± И . .

г

- 1

±<Т^4р

L l --------п — Г2 ’

 

— г , •

Г1. * “

20

Учитывая малость р и пренебрегая быстрозату­ хающей экспонентой с показателем г2, получаем зави­ симость поля от времени в квазинейтральной области:

 

 

Еи = В , -и^кг ( 1 - в - “ 1» ) ,

 

 

(5)

где

г / ; = к . я #; Я »=

gNda0

 

 

 

 

tt0

достичь

Еа только

Из (5)

видно, что

Еа может

при

U' >

£/'. Момент времени хп, при котором

ско­

рость дрейфа. электронов насглщается

(7 =

У,),

опре­

деляется из (5):

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

( 6)

а положение границы к этому моменту

 

 

 

 

 

Ur ( t

 

t \

 

 

 

 

a» = a° +

" Б Д ' +

ехр “

V / *

 

(?)

Плотность тока в интервале времени

0 < 0 <С хп

определяется из (5) с

учетом того, что

:> 1:

Для i > V т. е. при V„ =

Vt и £ „ > £ , ,

также,

как было получено (3), будем иметь:

 

 

СЛ

 

 

:с dt ^и + ^и— '

rf/) - f f i f

2<*Л

St (9)

и>«

где £/г(0 — напряжение источника, а отсчет времени ведется от * = %, аи = <*(/»*„>. При достаточно малом SRHt когда Uг(/) практически совпадает с напряже­ нием на приборе, и при линейном росте напряжения UT= .U 't получаем:

ЕU

 

 

*

( 10)

Согласно (10), поле

в нейтрали нарастает от Ез

до Епт, а затем падает, причем

 

 

 

2V ,w „\ U 'K

V *

( 11)

 

 

 

^*71--

(V - £/i)

( 1 2 )

 

U'*V,

 

 

 

 

 

J =

Ja +

wa

U'*V,t

(13)

anwn

 

Из (5), (8),

(11), (13)

видно,

что при

t<^xa про­

исходит нарастание тока, а при t^>xa— его спад, но поле нарастает непрерывно.

Оценим возможность получения инициирующих носителей путем ионизации решетки в поле Еи. Эта ионизация производится основными носите­ лями, концентрация которых nQ= N (l^. 1014 см~8. Так как поле относительно слабое и концентрация появляющихся носителей мала, то искажением поля можно пренебречь и функцию генерации считать

постоянной по координате G—NdVaat где

а — коэф­

фициент

ионизации.

 

при

 

Vp= V a описывается

Распределение

дырок

 

уравнением

неразрывности:

 

 

 

 

 

 

дР

 

дР

 

<14>

 

 

 

- w

+ v ’ i *

- G-

Решение

(14)

с пулевым

начальным

условием

и граничным на

л+-л-переходе

имеет вид:

Р = Ndv,

 

 

 

 

 

(15)

где F — единичная

функция

Хэвисайда;

F = 0 при

t<^x/Va,

F = 1 при

t^ > x fV r

считать

тг+-я-пере-

Началом

координат

будем

ход. Выражение (15) означает, что для каждого мо­

мента времени t. концентрация дырок не

зависит

от координаты для

x = t.V a и равна:

 

 

 

U

 

 

 

P = NdV,\adt.

 

(16)

 

о

 

 

Концентрация дырок на границе с ООЗ

х =

ха,

смещающаяся к началу координат со скоростью

Va,

имеет вид для t >

шС П

 

 

- :

 

 

I' dt -

(17)

Lo

 

где ха0— положение границы при £ = тп. Для t

имеет вид, аналогичный (16). Далее, приняв

a = ame‘ i^n> с учетом (16) из (13) получим:

Еа

в~Ь1Еп

= G°.J

(18)

I f dE'"

где Ga = NdV ,^ ;

D^ll

Проинтегрировав (18), для Ea^>E3 получим:

 

P = G0d-V* (En - E*)if*

 

(19)

где E*r=.EПМ1

E2

 

 

 

2b

слабых полях

а ^ —2.6 см-1,

Для кремния в

Ь-=2.8*10б В/см [31];

при этих значениях,

а также

£/о=400 В, и ' = 2*1012 В/с, А,,=1014

см“3 получаем

# Dm=1.8*104

В/см и

Р ш= 10б см '3, а при

Uf—З х

х1012 В/см — соответственно # lIW=6*104 В/см, Р т= =1010 см-3. Для п л отн ости входящего в ООЗ тока Jp—qPmVs это дает значения соответственно

10“ 7 А/см2 и 10“2 А/сма, т. е. на много порядков больше, чем генерационный ток утечки даже при комнатной температуре. Следует, однако, отметить, что первое значение явно недостаточно для того, чтобы обеспечить наблюдаемую в эксперименте ско­ рость движения фронта ионизационной волны. Дей­ ствительно, если для грубой оценки принять, что в перенапряженной области расстояние между вне­ сенными полем инициирующими носителями Zcp волна

проходит с насыщенной скоростью Vs (пробой в это время инициируется носителями, находящимися на фронте волны), то для обеспечения времени пере­ ключения ^ необходимо, чтобы Zcp < *$VS. В экспе­

рименте,

приведенном на рис. 21,

T^ ~ 0 .2 нс, Zcp~

^ 2 -1 0 “3

см и Pc^l-z~lQ s см-3,

что существенно

больше Ртпри £/'=2• 101а В/с. Однако в этом экспе­ рименте именно такое значение V обеспечивает

гф£^0.2 нс. Это, очевидно, связано с тем обстоятель­

ством, что рожденные в квазинейтрали дырки до прихода в перенапряженную область проходят зна­ чительный путь в ООЗ, где поле существенно выше, чем Епт, и размножаются на этом пути.

3. Дрейф инициирующих носителей через 003

Будем далее считать, что ударная ионизация идет только за счет дырок. Это предположение не должно повлиять на качественную картину процесса, так как образующиеся при ионизации электроны сно­ сятся в область слабого поля, а нас будет интересо­ вать эволюция фронта дырочного пакета, движуще­ гося к перенапряженной области. Поместим начало координат в точку х —ха и зададим в ней граничные условия для дырок, определяемые выражениями (16), (17); граничное условие для электронов нулевое. Граница хи движется со скоростью Vg. Введем новые независимые переменные z= x-j-V at, 0= £ . Для уп­ рощения дальнейших расчетов будем использовать степенную аппроксимацию для коэффициента иони­

зации в виде

а = а0Еа, которая достаточно хорошо

выполняется

в диапазоне полей 2*10б <^Е <^4.5х

Х10б В/см

[32],

характерном для 0 0 3 . Учитывая,

что поле в

0 0 3

изменяется по закону E =qN (l/ee0x

Х (# + У 52 )+ # ср,

где 2?ср— среднее поле в квазиней­

трали, запишем в новой

системе координат уравне­

ния неразрывности:

 

 

 

 

дР

дР

'РК>а» ( 'V

+ V .

(20)

Ж + 2к-Т Г =

дп

/

<7

\8

 

ж = рк* Ч ж Л^ + в'* )-

(21)

Решения этой системы

имеют вид:

 

 

 

 

 

 

(22)

Ц -'-чй 'о-чк ^l?(35, /)

П»

(23)

 

(

аее0

\

 

 

х ехР b w F 7 [(l +

7’‘>'тгг + яЛ

(24)

На рис. 23 показаны рассчитанные по (22)—(24) распределения концентрации носителей и величина поля в различные моменты времени. Видно, как по мере дрейфа в 0 0 3 концентрация дырок увели­ чивается, а первоначально размытый фронт пакета становится резким. Если в используемых прибли­ жениях продолжить расчет, то при дальнейшем перемещении фронта всего на 3 мкм концентрация дырок возрастает на 4 порядка, что должно привести к «провалу» поля в области фронта и образованию быстрой ударно-ионизационной волны. Эта волна, как уже описывалось выше, будет двигаться по на­ правлению к нейтрали, имея перед своим фронтом большую концентрацию дрейфующих дырок, ини­ циирующих ионизацию во фронте. В противополож­ ном направлении (влево) будет двигаться медленная волна со скоростью Va, так как в этом направлении в 0 0 3 нет инициирующих носителей. При этом ток через прибор, как легко показать, будет являться током смещения перед фронтом медленной волны:

ztoVgU

se0V at dU

(25)

/ < f ¥ , + (*« - V 't?

dt

 

l, 2, з —I <=1.02, 1.52, 1.88 ис соответственно, „=0.52 нс —. началь­ ный момент времени.

где хк — координата сечения, в котором формиру­ ется быстрая волна. Этот ток нарастает по мере продвижения волны, и весь процесс переключения заканчивается в тот момент, когда фронт подходит к р +-слою. Такой процесс, естественно, значительно более медленный, чем пролет быстрой волны, и поэ­ тому параметры прибора и режима необходимо вы­ бирать с таким расчетом, чтобы фронт быстрой волны начинал формироваться вблизи р +-га-перехода.

4.Экспериментальные результаты

пих интерпретация

Из описанной выше теории следует, что два ос­ новных параметра режима — начальное смещение Uо, и скорость подъема напряжения U' — должны сильно влиять на характер процесса переключения

р +-гс-71+-структуры.

Зависимость

процесса от

U'

приведена на рис. 24: при малых U' (U' < 5*10и В/с)

переключения не

наблюдается,

при £ /'~ 1 0 12

В/с

и выше переключение очень четкое и скорость его возрастает с ростом £/', но при больших Uf сильно растет амплитуда тока на участке задержки, а скоррсть переключения несколько уменьшается. При малом Uо, даже при «оптимальном» £7'=1012 В./с, переключение отсутствует; оно становится очень четким в диапазоне 800 < U0 < 1200 В, но при

Uо, близком к напряжению стационарного пробоя,

снова

исчезает. Остаточное напряжение на приборе

сразу

после переключения (Е7М1Ш) в зависимости от

U' показано на рис. 25. При малых U' (Ur ^ 1012 В/с)

рост

U' ведет к резкому уменьшению

£/мцы а при

(J*

1012 В /с — к некоторому его

увеличению.

Характер всех этих зависимостей полностью соот­ ветствует физической модели процесса, описанной выше. Действительно, при Uf < 5* 10й В /с величина

Соседние файлы в папке книги