книги / Микроэлектроника толстых пленок

Основная трудность при изготовлении таких составных масок заключается в том, что ячейки на сетке могут не совпасть с какой-либо линией на маске, в результате чего паста не попадет на подложку. Другой метод со­ стоит в том, что на одной поверхности фольги вытравли­ вается нужный рисунок, а на противоположной сторо­ н е— сетка. При этом методе маски оказываются не­ сколько дороже. Образцы таких металлических масок представлены на фиг. 4.9—4.11 [13]. На фиг. 4.9 показана составная металлическая маска, на фиг. 4.10 и 4.11 — цельнометаллические маски. Все эти маски показаны при двадцатикратиом увеличении.

4.2. Нанесение паст

Процесс нанесения паст, применяемый при изготов­ лении толстопленочных гибридных схем, аналогичен ме­ тодам, используемым при изготовлении копий графи­ ческих произведений искусства. Существуют два метода нанесения паст. При «бесконтактном» методе маска рас­ полагается на некотором фиксированном расстоянии от подложки, обычно на расстоянии от 500 .до 750 мкм. По мере перемещения ракеля по поверхности маски послед­ няя изгибается, касается подложки и таким образом на подложку наносится паста. В «контактном» методе мас­ ка крепится непосредственно к подложке и при переме­ щении ракеля не деформируется. Если требуется точная установка масок, то приспособление для крепления под­ ложки должно быть достаточно массивным (фиг. 4.12). На этом приспособлении обычно укрепляют три зажимафиксатора из упрочненной стали. Для обеспечения па­ раллельности масок и подложки в процессе нанесения паст эти фиксаторы должны иметь высокие износоустой­ чивые характеристики и предельно плоские поверхности. При трехточечном совмещении один из зажимов центри­ руется по короткой стороне подложки, если такая сто­ рона имеется. Остальные два зажима устанавливаются

При изготовлении большой партии схем устройство для

нанесения паст должно наполняться пастой автомати­ чески. Подложки с нанесенной пастой загружаются либо в кассету, либо непосредственно на ленту конвейера, связанного с сушильной камерой. В табл. 4.2 и 4.3 ука­ зана производительность нанесения паст при ручном и автоматическом способах работы [7]. На фиг. 4.13 по­ казана типичная лабораторная установка для нанесе­ ния паст, а на фиг. 4.14 — промышленная автомати­ ческая установка [7]. На фиг. 4.15 показана промыш­ ленная установка с вращающимся столиком.

Очень важным вопросом является конструкция ракеля и материал, из которого он изготовлен. Этот материал должен быть совместим с используемыми смо­ лами и растворителями и не должен быстро изнаши­ ваться или деформироваться. Этим требованиям впол­ не отвечают такие часто используемые материалы, как неопрен, полиуретан и витон. Твердость материала ра­ келя обычно лежит в интервале от 50 до 90 единиц по Шору. Ракель имеет острый край с углом среза от 45 до 60°. При его движении создается гидравлическое давле­ ние, втягивающее пасту в ячейки сетки. Острый край