Вопросы и задания для самопроверки

1. Охарактеризуйте процесс изотропного жидкостного травления.

2. В чем состоит суть анизотропного жидкостного травления?

3. Какие параметры характеризуют анизотропное травление?

4. Что такое селективность травления?

5. Приведите примеры анизотропного травления кремния.

6. Какие преимущества сухих методов травления?

7. Объясните суть ионного травления.

8. Охарактеризуйте процесс плазмохимического травления.

9. В чем состоит отличие ионного плазмохимического травления от реактивного ионного травления.