Приложение а
Режим
напыления приведён в таблице 5.
Таблица
5 — Режим напыления
Параметры
|
Начало
|
Середина
|
Конец
|
Время, ч:мин
|
17:05
|
17:20
|
17:45
|
Температура, °C
|
128
|
94
|
70
|
Толщина на КИТ, нм
|
18,8
|
107
|
236,7
|
Напряжение, В
|
340
|
331
|
325
|
Сила тока, А
|
0,433
|
0,446
|
0,455
|
Давление, Па
|
5,88E-1
|
4,16E-1
|
4,26E-1
|
Мощность, Вт
|
150
|
Поток газа, см3/мин
|
15,03
|
Режим
напыления другой подгруппы приведён
на таблице 6.
Таблица
6 – Режим напыления у другой подгруппы
Параметры
|
Начало
|
Середина
|
Конец
|
Время, ч:мин
|
15:39
|
15:54
|
16:17
|
Температура, °C
|
118
|
90
|
9
|
Толщина на КИТ, нм
|
4,8
|
103,6
|
195,1
|
Напряжение, В
|
222
|
340
|
–
|
Сила тока, А
|
–
|
–
|
–
|
Давление, Па
|
5,37E-1
|
4,16E-1
|
1,00E-2
|
Мощность, Вт
|
200
|
Поток газа, см3/мин
|
15,02
|
Таганрог 2022