Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Селективные акустоэлектронные устройства

..pdf
Скачиваний:
3
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
7.31 Mб
Скачать

материала звукопровода; Ск - коэффициент старения конструктивных элементов

фильтра.

На основе (3.10) и (3.11) определяем действительные значения АЧХ и ФЧХ фильтра

нм,ида{ , ±‘[ ^ }

(3.12)

 

» (« ).

4 ^ ! ] }

(3.13)

где Но(Ю « Фо0<>- значения АЧХ и ФЧХ. соответствующие номинальным значением конструктивных элементов.

С целью определения технологической точности были расчитаны функции влияния и АЧХ при постоянной температуре Т • 20° С. Принято, что разброс

скорости ПАВ±2% , погрешность процесса фотолитографии ± 2 мхм. На рис.3.1 представлены основные расчетные зависимости, из которых следует, что погрешности длины электродов имеет наибольшее влияние на погрешность АЧХ

фильтра.

При построении акуск электронных устройств на базе ОР необходимо знать

разброс коэффициента отражения. Представляя ОР в виде последовательно

расположенных дельта-функций, можно записать выражение КО /6 /

N

 

Г(к)=2| £ гп« Ц ка п)вхр( |2кхп)

(3.14)

n-t

где гП КО элементарного отражателя; ап - ширина отражателя.

Для расчета точности КО ОР необходимо найти /42/:

-функцию влияния КО элементарных отражателей на модуль КО OP Trr(k,n)

-функцию влияния ширины отражателей Тёг(М );

-функцию влияния периода расположения отражателей Тжг(к,п). Определяем необходимые функции влияния:

 

4r

N

N

 

 

 

 

Т ' (М )«

У У

гпГтвИ к « (1)

lln (k ta)

CO*I2k(»n- K jl

(3.15)

 

k (k ) |

 

т-1

 

 

 

 

(

4an

N

N

 

 

 

 

T , (k,n )= --------

У

У

rnrm«ln(k«n)

со.(к«,,)

c o « [2 k (v *n)l

(3 .*)

 

к ( к ) |

Л. 1т.,

 

 

 

 

г

Вкх

N

N

гпгт«Ш(кап)

а1п(кая)

вШ(2к(хп-хв)]

(3.17)

Т, (к д )= ------ ---

У

У

I ПЧ| И r i

Рис. ЗЛ Частотные функции влияния и пределы производственного разброса

АЧХ фильтра: а - функция влияния скорости ПДВ, 6 - функция влияния

периода электродов, в - функция влияния длины электродов, г - АЧХ

фильтра

 

"lllrr=

I

i

,Г|('и,)

I

 

 

 

 

 

(3.W)

 

|г(И 1

1-1 n - 1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Случайная гклрешносн-

КО

пира* аекч

п виде

 

 

 

 

 

 

 

г - 1

1

 

 

 

1 1 , 1 '

h

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

П » ',(к п )И

 

 

 

 

 

 

Ц

г ,

( М

!

К

, »

- -

J

 

 

 

 

 

 

IV '

 

 

 

 

 

 

 

П-1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

*

 

 

 

N

 

н

 

 

 

 

 

 

[ - " Ц , Н [ Г, ( И « ,

[

 

 

 

 

 

 

1

х _

J

J

 

 

L

L

 

п -!

 

 

 

 

 

п-1

 

Л

 

 

 

 

п-1

 

 

 

 

 

 

N

 

N

г

 

 

 

 

N

f

П

г

 

 

 

;

[ T^(k,n)«L]

, д (

I

Tr (К)

CK

f

[

T ,(M )< V

[

M

,(">Rv

 

(ЛЯ)

 

 

 

n - 1

 

n-1

 

 

 

 

л* 1

 

я - 1

 

 

 

 

где

Kr - коеффицпемг относительного рассеивания КО, Kr.Kt , К х ю з |- lniMvenin

относительного рассеивания параметров элеменюп к о н с т р у к ц и и ;

J

Л rJ

о

 

а

* ( £ )

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

V

половина поля допуска п а р а м е т р о в

эпем°шоп

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Тогда действительное значение КО равно

(3 Щ

где I Г0(к) I- значение КО, соответствующее номинальным значением ко»и.1ручцр.иы.ч

параметров ОР.

3.2. Статистический анализ погрешностей Фмпьтрое

Исследование погрешности выходных параметров фильтров на этапе проектирования удобно провести статистическим методом Он позволяет учесть

множество возможных погрешностей конструктивных элементов фильтра Для составления методики и проведения статистического моделирования необхо"*мо

иметь математическую модель фильтра.

Допустим, что передаточная функция

фильтра равна

/4 3 /

2(N-1)

 

 

K (|l) = £ A(k) » х р [.|

^ ( k - N ) ]

(3 21)

К-1

0

 

где А (к) - амилит/ды дельта-источников.

Влияние технологических дефектов топологии па АЧХ фплыра.

Появление обрыла на каком-то электроде и место его расположения

является случайным событием. Поэтому технологический процесс удобно

характеризовать вероятностью обрыва на единицу длины электрода Р Если

апертуру обозначить через W

то вероятность обрыва электрода равна /44/

P,=PW

(322)

Поскольку координата расположения обрыва является случайной, имеющей равновероятностный характер по всей площади ВШП, для статистического

моделирования используется случайная величина с равномерным законом

распределения в интервале (0,1). Тогда дляимитации обрыва можно

воспользоваться

следующим

алгоритмом /4 5 /.

Для каждого

п -го электрода генерируется случайное число ^ (п ) . которое

сравнивается с

вероятностью

обрыва электрода Рв

-если Y(n)<Pf , то принимается, что обрыв отсутствует и амплитуда дельта­

источника равна ее величине необорванного электрода.

-если *Р(п)>Р , принимается, что электрод оборван и генерируете., другое

случайное число Y '(n) в интервале

(0,1),

которое определяет место обрыва

электрода.

 

 

Для прямоугольной формы АЧХ длина электродов взвешивается функцией

анодизации А(п) и функцией окна

W(n)

Суммарная функция анодизации

равна

 

 

*(n)=A(n)W (n)

 

(3 .23)

Выражение (3 23) может быть преобразовано в следующий вид

 

 

Ф(П)з| Ф(П) |ЦП)

 

 

 

<3-24)

Где

!(п) -

единичная функция.

 

 

 

 

Координата конца

п

-го

электрода по

o u i

Z

перпендикулярной

чаправлению распространения ПАВ, равна

 

 

 

 

 

z(n )*

1

[Ф(п)+11

 

 

(3.25)

 

 

 

2

 

 

 

 

 

Координата конца оборванного электрода

z*(n)

равна:

-

если

Кп)>0 , то

 

 

 

 

 

 

 

 

2+(П)з 4

2(П),

*Р(П)>2(П)

 

 

 

 

 

ЧЧп).

|Р(п>< z(n)

 

 

(3.2в)

 

 

 

 

 

- если Цл)<0 . то

Перекрытие электродов, когда рядом расположены электроды противоположного направления, определяется как

z*(n) -z*(n+1)

,

K*)>0

 

Az*= «

,

l(n)<0 .

(3.28)

z#(n*H) - z*(n)

Перекрытие электродов, когда рядом расположены электроды того же направления,

условно принимается равным нулю.

Амплитуды дельта-источников расчитывается следующим образом: - если .1(п)>0 , то

О

Az*$0

 

А * ( к К

Az*>0

(3.29)

Д г*

- если 1(п)<0 , то

 

 

 

 

О

 

Az*£Û

 

 

 

 

AÉ(k)=

 

Аг*>0

(3.30)

 

 

 

 

. Az*

 

 

 

 

А*(к+1)=-А*(К)

 

(331)

 

Моделирование геометрических погрешностей в топологии 8ШП.

 

Появление погрешностей в топологии ВШП изменяет координаты концов

электрода

Z(n) /4 4 /, ширин - электрода

AZ(n)

, координаты его центра Х(л)

и амплитуды дельта-источж..

А(к) . С учетом погрешностей эти параметры

обозначим

через

Z*(n),

АХ*(п),

Х*(п),

А*(й) соответственно.

 

В общем случае погрешность геометрического параметра топологии ВШП

Ау(п) может быть выражена как

 

 

 

 

 

 

Ду(п)= Дум(п)+ Д ус(п) .

 

(3.32)

где

Д ум(п) и

Д ус(п)

систематическая

и случайная составляющие

погрешности.

 

 

 

 

 

 

 

Погрешность

Ау(п)

может

зависеть

от координаты и номера электрода.

Важно рассмотреть следующие возможные зависимости составляющих

погрешности:

 

- систематическая составляющая не зависит от координаты и геометрических

параметров топологии

у

или имеет линейную зависимость,

 

 

- функция плотности распределения случайной составляющей погрешности

Ф [Л у с(п)1

не зависит от координат электродов, а ее параметры постоянны,

 

- среднеквадратическое отклонение случайной погрешности S(n) связано с

геометрическим параметром топологии

у линейной зависимостью.

 

Это может быть представлено в аналитическом виде

 

 

 

r

A yM(n)=a=conBt

 

 

 

 

 

À yM(n)=ay+b

 

 

 

(3.33)

 

H

 

 

 

 

 

 

 

 

Ф [ДУс(п)1=ф (д Ус)=С0Пв| ■

 

 

 

 

 

„ S(n)=cy+d

 

 

 

 

 

где

I , b

, с

, d - коэффициенты.

 

 

 

 

В расчетах будем считать, что функция плотности' распределения случайной

погрешности

.известна. В этом случае можно

воспользоваться

следующей

методикой

моделирования. На ЭВМ формируется случайное число ЧЧп) с

равномерным законом

распределения в интервале (0,1). На основе выражения

 

 

 

Аус(п)

 

 

 

 

 

 

 

 

Ф[и(п)] du

 

 

(3.34)

 

 

 

 

 

 

определяется

случайная

погрешность

Д ус(п)

* подчиняющаяся

заданному

закону распределения.

 

 

 

 

 

 

Реальное значение геометрического параметра топологии определяется как

 

 

у*(п)= у(п)+ А у(п) ,

 

 

<э-35>

где

у(п)

- расчетное

значение параметра.

 

 

 

Влияние погрешностей длины электродов на АЧХ фильтра.

 

 

Погрешность длины электрода может быть выражена анзлогично (3.32)

 

 

Д 2 (п.)= AzM(n$)+ A zc(ne)

 

 

(3.36)

где

A zM(nf )

- систематическая составляющая

погрешности;

 

 

^ 2с(п*) “ случайная составляющая погрешности.

 

 

Составляющие погрешности Az нормированы относительно апертуры ВШП

и зависят от места расположения электродов на подложке. Будем считать, что

функция плотности распределения погрешности f(A zc>n) известна. На ЭВМ

формируется случайное число 4*(пё) с равномерным законом распределения в интервале (0,1).

Тогда на основе

выражения

 

Д*с

 

¥(П ,)= J

f(y,n.) dy

(3.37)

определяется

случайная величии*

Azc(ne)

подчиняющаяся закону

распределения

 

 

1(у,п,) в 1(Лгс,п.)

 

(Э.3в)

Реальная

длина электродии равна

 

 

х*(п,) ■- *(п.) + Дх(п.)

 

 

 

z*(n,i1)

=Х(П,И)

+ Д *(И ,Н )

 

(3.39)

Амплитуды дельта-источников определяемся как

 

|д *(п )|

= |ф (п )|

+ Д г(п ,) + Дх(п.М )

(3.40)

где п » 1, 3, б.„ (2N • 1).

 

 

 

 

Координаты перекрытия

электродов

рапнм

 

- если

Ф(п)>0

то

 

 

 

 

z”

=

1

z*(n#+1) « у 11

• Ф (п)|

- Д 1 (п#И)

 

■i

 

 

 

 

 

 

 

 

*

-

 

1

 

t

,

,

СЯ.41)

2„

* * (" .) 3 у

И + Ф(п)) + А*(п.)

 

- если

 

Ф(п)<0 , то

 

 

 

 

г п = 1 • * * (" .) ■ у 11 + * ( " И * Д гЮ

 

гп *

х*(п,+1) = у П • ф(")1 + д *(п,+1)

i3 42)

Влияние погрешностей периода расположения электродов на ДНА Фильтра.

Появление погрешностей периода расположения электродов ВШИ

АХ‘(п)

вызывает изменение емкостей между ними и, соответственно, амплитуд дельтаисточников.

Погонная емкость между парой электродов ВШП равна /2 0 /

 

К(тл)

 

Си * еэф К (й Т

<343>

где еэф г эффективная диэлектрическая проницаемость; К (т ), К(гн )

полные

эллиптические интегралы первого рода от аргументов m и т * соответственно. При параллельном питании электродов ВШП амплитуды дельтаисточников

пропорциональны зарядам на ник

где

р

- коэффициент;

AW переценив

пары чц«с^>одон

 

 

На основе выражений (3.43), (3 44) получаем

 

 

 

 

 

А*(К)=

А(К). К(т)

 

 

 

 

(345)

 

 

 

 

K(in')

 

 

 

 

где

A(k)=Pe3ÿ À W - амплитуды делыа источников при отсутствии погрешностей.

 

Координаты дельта-источников

X s*(n) свяээнн с координатами электродов

К*(П) следующим образом

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Хк*(п)=Х*(п)

т

~

 

 

 

 

 

 

 

Х*,(п)=

Х*(п)

 

 

 

(3.45)

 

 

 

 

 

 

 

 

где

XQ - длина волны на частоте акустическою

синхронизма

 

 

С учетом (3.46) получаем нормированную координату день и

и», «очника

 

 

 

 

k*=2n*

-1.

 

 

 

 

(3.47)

где Пс*

- нормирово .ная координата центра электрода

 

 

Дальнейший

расчет проводится

по

(3 21), в которое

подставляются

необходимые величины.

 

 

 

 

 

 

 

 

Влияние погрешностей ширины электродов на АЧХ фильтра

 

 

Координаты

краев электродов ВШП

Хк*(п)

ХК1*(п), описываемые (3 47),

могут быть расположены несимметрично относительно расчетном координаты

центра электрода. Это можно рассматривать как смещение координаты центра

электрода и одновременно как отклонение ширины электрода на величину АХ”(п) Тогда реальные координаты краев электродов равны

*АХ-(п)

Хк(п)= Хк(п) + — -

2

*

ДХ"(П)

(3.48)

Хц.ДпИХц.Дп) * — - —

 

где Х к(п) , Хк.,(п) • расчетные координаты краев

электродов.

При появлении погрешностей ширины электродов изменяется емкость и

амплитуды дельта-источников, расчет которых следует провести согласно (3.43У (3.46).

Для расчета АЧХ более удобно использовать нормированные координаты

дельта-источников, которые могут быть получены из выражений (3.48)

* 4

 

 

IV-

 

2|

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

If*

 

 

Ли,

 

 

 

 

•4)

 

 

I

2 M

~

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где Ли

иирпироианмаи пиг^ьтжнль ширы

эли ф ‘\мл

 

 

 

Резун» гаш

численного

 

исследования

 

 

 

 

 

Иа

ЭВМ

пром • мо

 

моделирование пара;иЗ'1роо

филыра

yieiuM

перомис пенных

видов погрешностей

топологии

ВШП R расчетах

принято,

что

фильтр имеет относительную полосу пропускания

10% и

nocipocn

с

использованием окна Римана.

 

 

 

 

 

 

 

Исследована чувствительность

к

технологическим

погрешностям

ВШП

разной длины, им .ощие41.81. 121 электрод. Это соответствует 0, 1.2 лепесткам функции аподизации (L =0,1, 2). Для каждой конфигурации фильтра проведен расчет с числом реализаций 100. В итоге моделирования получены следующие значения АЧХ: минимальное, максимальное, среднее, а также отдельные параметры АЧХ.

В таблицах 3.1 и 3.2 приведено среднее значение уровня боковых лепестков

й , максимальное значение а тм и поле допуска 6(a) в случае обрывов и погрешностей длины электродов /46/.

Появление дефектов и погрешностей геометрических размеров в топологии

фильтров вызывает изменение частотных характеристик: появляется разброс

уровня боковых лепестков, неравномерности затухания в полосе пропускания фильтра и коэффициента прямоугольности АЧХ. Увеличение вероятности обрыва

электрода и погрешности длины вызывает повышение уровня боковых лепестков.

В случае обрывов электродов это составляет 2-11,5 дБ, в случае погрешностей

длины электродов - около 3 дБ. При этом значительно расширяется поле допуска (таблица 3.1, 3.2).

Предложенный метод исследования погрешностей АЧХ фильтров на ПАВ

позволяет решить ряд важных проблем, связанных с серийным производством

фильтров. Он позволяет определить относительное количество бракованных фильтров по заданному параметру, найти необходимый запас расчетных параметров АЧХ для обеспечения заданного количества годных изделий. Также имеется возможность определить наиболее критические места ВШП. в которых

появляющиеся дефекты и погрешности значительно ухудшают параметры

фильтров. Иа основе полученных законов распределения уровня боковых

лепестков определен процент брака фильтров по данному параметру. При вероятностях обрыва Рв = 0,01 и Рв = 0,02 брак составляет 10% и 24%

соответственно при допустимом уровне боковых лепестков не выше - 30 дБ (рис. 3.2).

Разработанная обобщенная теория анализа погрешностей параметров акустоэлектроиных фильтров, основанная на методе Монте-Карло, позволяет

провести исследование технологических погрешностей частотных характеристик фильтров* на этапе проектирования. Из множества полученных результатов

представлены наиболее важные, в достаточной мере описывающие частотные характеристики фильтров.

Как показали расчеты, перечисленные параметры фильтров ухудшаются под

 

 

 

 

 

 

 

Таблица 3.1

Параметры АЧХ Фильтра при наличии обрывов

электродов ВНШ

 

р

Параметры

Значение

параметров,

„ J B .

 

 

рв

 

L-0

 

LH

L-2

 

 

Ъ

- 36

- 38

- 36

 

0,01

®Л1И

-

19

 

20.5

-

18

 

 

6(a)

 

205

- 37

 

32

 

 

Ос

-

33.4

- 34.5

-

33.6

 

0,02

«п...

-

17

 

18

 

17.2

 

 

8(a)

 

23

 

40

 

31

 

 

ъ

- 29

- 28.5

 

30

 

0.05

«п»,

-

16

 

12

 

12.5

 

 

5(a)

 

26

 

40

 

34.5

 

 

 

 

 

 

 

Таблица 3.2

Парам

ры

АЧХ фильтра

при наличии

погреш ностей длины

элвкт.

дов

ВШП

 

 

 

 

 

 

дг%

Параметр

Значение

парамефоо,

дБ

 

 

 

 

LO

 

L-1

L-2

 

 

Ос

- 39

- 40

 

39

0,5

«г».

-

37.6

- 38.3

-

36,7

 

 

6(a)

 

4

 

4

 

5

 

 

 

 

 

 

 

 

- 39

- 40

 

39.2

 

1

« ...

- 36.3

- 36.7

 

34.8

 

 

5(a)

 

7.8

 

8.2

 

1)

 

 

 

 

 

 

 

 

ъ

- 37.2

-

37.7

- 37,7

 

0,05

® т«

- 30

-

29.1

- 28

 

 

6(a)

 

39.7

 

26

 

26.5