Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / СВЧ-энергетика. Применение энергии сверхвысоких частот в промышленности

.pdf
Скачиваний:
12
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
11.97 Mб
Скачать

13. Н а з 1 е с1

Л. В., ТЬе <Не1есГпс ргорегНез оГ дуаГег, Р г о ц г .

0 1 в 1 е с М с 8 ,

3, рр. 103—149 (Аи§из1 1961).

14.А з а ш 1 У., Мкголуауе ргорабаНоп 1П зпо\уу сИзЫск, Ларап, Кез. 1пзГ. Арр1. Е1ес., НоккаЫо 1Лшу., рр. 20—68, 1958.

15.V о з з №. А. О., РасГогз аГГесИп^ 1Ье орегаМоп о! Ы§Ь ро\уег

тГсппуауе ЬеаИпб зузГетз Гог 1ишЬег ргосеззше, 1 Е Е Е

Т г а п з .,

ЮА, 2, рр. 234—243 (Мау—Липе 1966).

ТЬе <Ие1ес1пс ргорегИез

16. Л а т е з №. Ь., Н а т П

1

О. №.,

оГ Ооиб1аз Пг, Рогез1 Р г о й .

У.,

15, рр.

51—56 (РеЬгиагу

1965).

17.§ к а а г С., ТЬе 01е1ес(пс РгорегПез оГ №оо6 а! Зеуега! Ка(Ио Ргеяиепспез, ТесЬ. РиЫ. 69, N. У. ЗГаГе СоПе^е оГ Рогез1гу,

18.

Зугасизе, №\у Уогк, 1948.

 

К о Ь е г Гз Т. Е.,

Н а г р е г

Л. С.,

С Ь 1 с Ь е з I е г С. О.,

19.

Ргееге Лгушб оГ Гоодз, А % г. Е п &., 43, рр. 78—81 (1962).

 

Т а у 1ог

 

Н. В.,

М1сго\уауе шохзГиге теазигетепГ, А Е 1

( А з -

зос. Е1ес.

1 п й .)

Е п % .,

5, рр. 39—46 (Лапиагу — РеЬгиагу 1965).

20.

Н а з 1 е 6

Л. В.,

5 И а Ь

М. А., АИсгошауе аЬзогрИоп Ьу \уа-

 

1ег ш ЬиПсИпб таГепаЬ, В г И . У. А р р 1 . Р к у з ., 15, рр. 825—836

21.

(МагсЬ 1964).

 

 

01е1ес1пс РгорегИев оГ НеГего^епеоиз М1

Э е Ь . о о г

О. Р.,

22.

Гигез, Ьекеп, ТЬе На^ие, ЕхсеЫог, 1956 (ТЬез1з).

 

 

Т 1 п § а

№.,

 

М1сго\уауе РгорегПез о! НагёЬоагё, ЕЕ КерГ.

23.

МР05, 1Лшу. о! А1Ьег1а, ЕсЬпопГоп, Ли1у 1966.

(Ъе1ес1пс

К а т 1 п о V

 

I. Р.,

Н а г (П п б О- О.,

Сотр1ех

 

сопзГап! оГ КН2Р04 аГ 9.2 Сс/зес, Р к у з . Р е о ., 129, рр. 1566 (РеЬ­

24.

гиагу 1963).

 

О и Р г е

Р. К.» А гетагкаЫе ргорег!у оГ Гес-

О е V е г з

М.,

25.

Ьтса! зоПб <Ие1ес1г1сз, Р к Ш р з Т е с к . Р е е ., 9, рр. 91—96 (1947).

3 и р р 1 е е А. Е.,

Н1бЬ ро\уег тхсгочуауе зуз1ешз. У. М 1 с г о -

26.

шсюе Р о ш ег,

1, рр. 89—96 фесетЬег 1966).

 

 

 

О г и Ь е г

О.,

РгасМса1 азрес! оГ ткго\уауе уепеег геЛгук^,

27.

У. М и г д ш а и е Р о ш ег , 2, рр. 37—39 (Липе 1967).

 

 

О 1 з т а п

М., Ап есопотк шоае1 Гог ткгошауе Ьеа1ш§ зуз-

28.

Гешз, У. Л И сгош аое Р о ш е г , 1, рр. 33—42 (Ли1у 1966).

 

1Ье

К е з с Ь

Н.,

 

РгеПттагу ТесЬтса1 Реаз1ЫШу ЗГиЛу оп

 

1Лзе о! Мкичшауез Гог !Ье Огуш§ оГ КеЛ\уооЛ ЬитЬег, Зегу. РерГ.

 

35.01,55,

Рогез! РгоЛиск

ЬаЬ., 1Лшу.*оГ СаШогша, РкЬтопЛ,

29.

СаШогша,

1966.

 

 

 

 

 

 

Н а 1е

Т. Р.,

СотшегЫа! ЬагЛ\уооЛ уепеег Лгукд уапаЫеБ

 

ап(1 1аЬога1огу соггеЫюп, Рогез1 Р г о й . У., 11, рр. 420—422 (Зер-

30.

ГетЬег 1961).

пат. США 2730481, Лапиагу 1956.

 

 

V а у! В. Р.,

 

 

31.

В о х*о ш иг о г I Ь

О. Р.

М а з о п Р. Н., пат. США2604665,

32.

1956.

 

Н. Б.,

МкгоигаУе ргосеззтб

оГ зЬее!

таГепаЬ,

№ а г п е г

33.

У. М ьсгош аое

Р ош ег,

1, рр. 81—88 фесетЬег 1966).

 

 

№ П П а ш з

N.14., Мо1з!иге 1еуеШпб 1п рарег, \уооЛ, 1ехИ-

 

1ез апЛ оГЬег гшхеЛ Л|*е1ес1пс5, У. М гсгош аое Р о ш ег , 1, рр. 73—

34.

80 фесетЬег

1966).

 

Л. А., Есопотк аЛуапГа^ез оГ т к -

О о е г г

V .

Л.,

Л о 1I у

 

го>уауе епег^у 1п ГЬе рарег тЛизГгу, У. Ш с г о ш а о е Р ош ег, 2 (Ли1у

35.В г о \у п 3. Ь., М1Сго\уауе Огут§-Апо1Ьег Ас1уапсе 1П Соуегйгу Со1оиг, Соуеп1гу Еуешп^ Те1ебгарЬ-Соуеп1гу 5Ы ., р. 2, Арп1 1967

36.В а г 1 о п О. М., ТЬе РЬепоНсз оГ 1Ьгее АМез^егп СапаЩап сош-

1егз, 1п Р1ап1 РНепоНсз апс! ТЬе1г йпЛизЫа! З^шПсапсе, (Зутр. Ргас. оГ Н1е Р1ап1з РЬепоПсз Огоир оГ Ыог1К А тепса), Оге^оп ЗЫ е ишуегзйу, СогпуаШз Оге§оп, рр. 59—80, Аи^из* 1962.

5 . 1 . 1 8 . О Б Р А Б О Т К А Л И С Т О В Ы Х Д И Э Л Е К Т Р И К О В

Ви л ь я м с , В а р н е р

I. Общее описание СВЧ-систем

СВЧ-система — это устройство, которое передает мощ­ ность, поступающую от передающей линии, к обрабаты­ ваемым материалам. Это нужно делать с минимальными потерями мощности и отражениями. В этом разделе опи­ сываются специальные установки для1обработки гладких листов. В настоящее время СВЧ-установки обычно пред­ ставляют собой нагруженные или ненагруженные пере­ дающие линии, резонаторы или антенны. Поскольку по­ тери мощности ^изменяются прямо пропорционально по­ верхности СВЧ-системы, а полезная энергия сосредото­ чена только вблизи места обработки, очевидно, что сле­ дует избегать любого удлинения или расширения системы сверх величин, необходимых для работы. Следовательно, конструкция должна быть насколько возможно прямой, поэтому мы ограничимся практически рассмотрением пе­ редающих линий (согласованных или резонансных) и плоских резонаторов. Теоретические аспекты обобщенных СВЧ-установок такого типа рассмотрены в работе [1].

А. Системы со стоячей волной. Если система заканчи­ вается отражателем, то в ней будет иметь место интерфе­ ренция волн, иначе — стоячие волны. Одновременно мо­ жет существовать одна или несколько стоячих волн, по­ добно тому как в музыкальном инструменте существуют одновременно много обертонов. Примерами таких систем являются одновидовый и многовидовый резонаторы и резб-

насные передающие линии. В пучностях напряжения стоя­ чей волны мощность легко может быть передана обрабаты­ ваемому объекту; иногда это единственный способ осу­ ществления достаточной связи. С другой].стороны, в уз­ лах стоячей волны (минимумы напряжения) нельзя]получить ощутимой передачи мощности обрабатываемому объек­ ту. Образующиеся в результате «горячие пятна»]являются нежелательными, и пучности стоячей волны^необходимо сдвигать путем «перемешивания» видов колебаний, ча­ стотной модуляции или умышленным частичным^перекрытием (стоячих волн). Кроме того, необходимо предусмо­ треть защиту СВЧ-генератора от избытка отраженной мощности1) для случая, когда система находится без обра­ батываемого материала.

Б. Системы с бегущей волной.^Если система заканчи­ вается согласованной нагрузкой, то энергия не отражается к входу, и связь можно было бы считать постоянной по всей длине системы, если не учитывать имеющий место экспоненциальный спад амплитуд СВЧ-поля в направле­ нии распространения энергии. Этот спад можно скомпен­ сировать соответствующей конструкцией]установки. По­ скольку средняя степень связи в этом случае меньше, чем в системах со стоячей волной, системы бегущей волны получаются обычно больших размеров. Неотражающая оконечная нагрузка приводит к тому, что часть мощности теряется впустую; следовательно, чем протяженнее систе­ ма, тем меньше мощности будет теряться в оконечной на­ грузке. Типичные системы с бегущей волной представляют собой волноводные или коаксиальные передающие ли­ нии или замедляющие системы, подобные тем, которые используются в СВЧ-электронных приборах. Установки с бегущей волной, использующие замедляющие системы, имеют меньшие габариты и обладают тем преимуществом, что указанные замедляющие системы являются неизлу­ чающими. Это позволяет в некоторых случаях размещать такие системы только с одной стороны от обрабатываемо­ го материала.)*

*) Особенности работы СВЧ-генератора на нагрузку с высоким коэффициентом отражения рассмотрены в т. 1 настоящего издания.—

П р и м . р е д .

II.Щелевой волновод

А.Описание волноводной^передающей линии. В СВЧдиапазоне для передачи энергии из одной точки в"другую целесообразнее вместо коаксиальной линии применять вол­ новод. Для уменьшения потерь при изготовлении волно­ водов используются такие металлы, которые являются хорошими проводниками, например медь, латунь, алю­ миний. В поперечном сечении волноводы могут быть круг­ лыми, эллиптическими и прямоугольными. Круглые вол­ новоды критичны к изгибам и отклонениям в размерах и обычно не используются1). Эллиптические волноводы об­

ладают свойствами, промежуточными междуАкруглым и прямоугольным волноводами в зависимости от степени эллиптичности.

В этом разделе мы подробно^ассмотрим только прямо­ угольные волноводы/Существуют стандартные волноводы с различнымиУразмерамиЛВ большинстве случаев один из двух размеров поперечного сечения примерно в два раза больше другого, хотя бывают и исключения. Б<?лыпий размер обозначается как «ширина», а\п од «высотой» понимают меньший размер. Напряженность поля Е макси­

мальна в середине широкойд стенки и неизменна вдоль узкой стенки; на обоих концах широкой стенки она умень­ шается до нуля. Токи, которые текут только по внутрен­ ним поверхностям, имеют максимум там, где напряжение равно нулю, и наоборот. Поскольку в середине широкой стенки поперечный ток равен нулю, можно вдоль волно­ вода с каждой широкой стороны прорезать щель. При этом характеристики волновода не изменятся и, кроме того, не будет существенных утечек мощности (из-за излучения).-

Б. Волновод как СВЧ-система для обработки материа­ ла. Характеристики щелевых прямоугольных волноводов давно известны, а их принцип используется в конструк­ циях аттенюаторов. Как показано на фиг. 1, диэлектри­ ческий материал в виде пластины вводится в волновод таким образом,[что его поверхность параллельна полю Е .)*

*) Это утверждение относится только к установкам для СВЧобработки. Подробнее об использовании круглых волноводов см., например, т. 1 настоящего издания.— П р и м ^ р ед .

Диэлектрический материал поглощает СВЧ-мощность, преобразуя ее в тепло и вызывая затухание мощности, распространяющейся по волноводу. В промышленных

установках диэлектрический материал, подлежащий на­ греву, пропускается через волновод достаточной длины, чтобы обеспечивать использование всей или по крайней мере большей* части подведенной мощности. Как показа­ но в работе [2] по исследованию тонкопленочных СВЧаттенюаторов, парциальные потери в листе диэлектрика с потерями, пропускаемого через центр прямоугольного

волновода (фиг. 1), МОЖНО вычислить довольно точно по

формуле

 

- ^ = 0 , 4 1 8 / 4 - ^ ,

 

где ДР/Р — мощность, поглощаемая

в диэлектрике на

длине 1 см, отнесенная к проходящей мощности;

/ — ча­

стота, Ггц\ I — толщина материала;

а — ширина волно­

вода; ^

— коэффициент потерь в материале;

— отно­

шение волноводной длины волны к

длине волны в сво­

бодном

пространстве.

 

 

Для

волновода АУК-340, работающего на

частоте

2450 Мгц, мощность, поглощаемая диэлектриком, выра­

жается в виде

Положим, что типичная величина для интересую­ щих нас материалов приблизительно равна единице. Тогда часть мощности, поглощаемой материалом на 1 см

длины волновода, численно равна

толщине материала

см). Указанное выше отношение

ширины волновода к

его высоте (2 : 1) не единственное.

На практике для

не­

которых применений встречаются

отношения 4 : 1

и

8 : 1 . При использовании волновода с «половинной высо­ той», т. е. волновода с отношением сторон 4 : 1 , плот­ ность мощности в помещенном в волновод диэлектрике удваивается. Однако если диэлектрический материал пропускается через волновод в виде непрерывной пласти­ ны, то увеличения плотности мощности на единицу по­ верхности материала не происходит, так как только поло­ вина поверхности используется за единицу времени (по сравнению с обычным волноводом с отношениями сторон 2 : 1 , — Прим, перев,). Несмотря на это, использование

волноводов с «половинной высотой» может сэкономить пространство (и материал) в СВЧустройствах, в которых используется много секций щелевых волноводов.

Размеры щели некритичны и не ограничены жестко, однако следует рассмотреть влияние некоторых факторов. Например, длина щели в волноводе может быть бесконеч­ но большой, но при этом возникают механические ограни­

чения, связанные с необходимостью поддержания по­ стоянства высоты волновода. Длина щели не должна, однако, равняться целому числу полуволн во избежание щелевого резонанса и появления в результате этого стоя­ чей волны. Ширина щели должна быть такой, чтобы можно было пропустить диэлектрик, подлежащий нагреву. Это необходимо для уменьшения излучения. Практически максимальная ширина щели должна быть"равна */, ши­ рины (большего размера) волновода, но,* по-видймому, можно^рассмотреть другие способы конструирования си­ стем для обработки более толстых материалов.

В. Распределение энергии и отклонения. Поскольку передача мощности диэлектрику в одной секции щелево­ го волновода мала, из соображений эффективности обычно требуется использовать несколько (или много) секций. Эти секции' обычно соединяются последовательно, так что СВЧ-мощность падает на материал сначала^в одном направлении, а затем в другом. Такое изменение^направления мощности, распространяющейся по волноводу, обеспечивается использованием 11-образных волновод­ ных секций, соединяющих концы прямых участков1). Таким образом, поперечные сечения волноводного меанд­ ра пересекают нагреваемый материал в прямом и обратном направлениях. Общее число секций определяется исходя из имеющихся производственных площадей, экономических соображений, поглощающих свойств и ширины материала.

Другое обстоятельство, препятствующее использова­ нию только одной секции щелевого волновода, заключает­ ся практически в том, что система имеет спад по полю. Например, при величине потерь мощности (проходящей вдоль ширины листа материала), равной 1 дб, один край

листа будет получать только 80% мощности, получаемой другим краем. В большинстве применений эта неравно­ мерность нагрева недопустима, не говоря уже о том, что система малоэффективна, так как только 20% мощности может быть передано для нагрева^листа^при^однократном прохождении мощности через него.

При добавлении других секций щелевых волноводов равномерность^нагрева (отводной стороны материала к

*) См. фиг. 2 разд. 5.1.17.— П р и м . р ед .

другой) улучшается. Действительно, при добавлении всего лишь еще одной секции (фиг. 2), указанная разница в нагреве окажется меньше 3%. Использование добавоч­ ных секций уменьшает неоднородность до величин, мень­ ших 3%, при условии, что общее число секций четное. Нечетное число секций приводит к большей неоднородно­

сти, и чтобы ее уменьшить, приходится применять очень много секций. Например, разница в нагреве (от стороны к стороне) составляет более 5% для пяти секций и более 3,5% для девяти секций.

Очевидно, диэлектрические материалы с высоким коэф­ фициентом потерь нельзя обрабатывать в последователь­ но соединенных волноводных системах. В таком случае вся поступающая мощность поглотится при одном про­ хождении через ширину материала. Материалы этой ка­ тегории можно распознавать, проведя измерения началь­ ных потерь (обычно на низком уровне мощности).

Другой фактор следует принять во внимание, когда при обработке используется не непрерывная подача материала, а ступенчатая. Зная, каким образом СВЧ-энергия пере­ дается из волновода диэлектрическому материалу, а так­ же принимая во внимание, что каждая секция СВЧ-систе- мы присоединена последовательно, можно опасаться, что будет иметь место неравномерная передача энергии мате­ риалу по его длине. Это наблюдается на практике, когда

Фи г . 3. Распределение энергии при ступенчатой подаче материала в 8-секционной системе с затуханием на сек­ цию 1 д б .

1„ — длина шага подачи и / — длина системы в направлении по­ дачи.

участок материала, находящийся ближе к СВЧ-источни- ку, потребляет большую энергию, чем более удаленные участки (независимо от направления подачи материала).

Распределение поглощенной энергии по длине иллю­ стрируется на фиг. 3. Отметим, что наихудшие условия получаются в том случае, когда длина материала равна длине секции СВЧ-системы. В непрерывно протекающем процессе только начальные или конечные области листа получают энергию больше или меньше средней, поглощае­ мой материалом (в зависимости от направления подачи материала). Поскольку это составляет незначительный процент общей плошади обрабатываемого *матернала, можно смириться с его потерями или потерями его каче­

ства. Однако если используется подача отдельными сту­ пенями, то эту неравномерность в обработке допускать нельзя.

Для решения задачи очевидны два пути. В принципе можно программировать как величину СВЧ-мощности, так и скорость конвейера для выравнивания энергии, передаваемой материалу. Указанные средства легко обе­ спечить электронным управлением.

Неравномерность в нагреве может также наблюдаться, когда имеются неоднородности в волноводной системе. Например, плохо выполненные 11-образные изгибы или плохо согласованная нагрузка могут привести к образо­ ванию стоячих волн. К. с. в. н., равный 1,2, приводит к изменению поглощения мощности в 1,44 раза. Такая вариация уровня мощности (44%) была бы недопустима во многих применениях.

Г. Измерение параметров системы. Для определения параметров системы, заполненной различными материала­ ми, которые неподвижны или подаются с различными скоростями, конвейера, требуется минимум измеритель­ ных средств. Во-первых, измеритель падающей мощности, подключенный вместо согласованной нагрузки, можно использовать для определения количества неиспользован­ ной (потерянной) мощности, поступающей к точке подклю­ чения согласованной нагрузки. Зная величину мощности, поступающей от генератора (или предварительно опреде­ лив ее, помещая измеритель мощности на вход системы), можно легко определить величину мощности, переданную диэлектрическому материалу, пренебрегая потерями в са­ мом волноводе. Поскольку материал, проходящий через волновод, не может являться идеальной нагрузкой,* луч­ ше определять как падающую, так и отраженную мощ­ ности на входном конце системы. Истинная мощность, поступающая в систему, определится тогда как разность показаний прибора. Такое уточнение нет необходимости делать йа выходном конце системы, где используется хорошо согласованная нагрузка, поскольку ее величина

не изменяется в зависимости

от неоднородностей в про­

цессе обработки

материала

или скорости конвейера.

Д. Защита генератора. При непрерывной подаче обыч­

но применяемых

диэлектрических материалов, а также

Соседние файлы в папке книги