Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных плёнок с заданными свойствами

..pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
3.89 Mб
Скачать

96.Изучение условий формирования многослойных тонкопленочных покрытий на основе Ti-Zr-N / А.Л. Каменева, Д.Ю. Демин, П.С. Гриднев [и др.] // Молодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион. конф., Березники, 2 марта 2005

г. – Березники, 2005. – С. 64.

97.Каменева А.Л., Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Изучение морфологических особенностей формирования покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N и Ti-B-Si-N, осажденных методами вакуумного испарения и магнетронного распыления // Оборудование

итехнологии термической обработки металлов и сплавов. Функциональные покрытия для повышения качества поверхностей изделий машиностроения: сб. докл. 7 Междунар. конф., Харьков, 2–6 окт. 2006 г. – Харьков: Контраст, 2006. – С. 47.

98.Каменева А.Л. Изучение свойств наноразмерных покрытий, наследуемых в процессе формирования // Конструкции из композиционных материалов. – М.: ФГУП «ВИМИ», 2006. –

№ 4. – С. 231.

99.Использование тонкопленочных покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N, TiZrON, TiBSiN для упрочнения инструмента из Р6М5, применяемого при обработке нержавеющих сталей / А.Л. Каменева, Л.А. Трофимова, С.В. Ничков [и др.] // Перспективные материалы / Ин-т металлургии и материаловедения РАН им. А.А. Байкова. – М., 2006. – № 6. – С. 80.

100.Изучение структуры наноразмерных покрытий на основе Ti-Zr-N на всех стадиях процесса вакуумно-дугового осаждения / В.Н. Анциферов, А.Л. Каменева, С.М. Вдовин [и др.] // Пленки и покрытия – 2007: тр. 8 Междунар. конф., СанктПетербург, 22–25 мая 2007 г. – СПб.: Изд-во С.-Петерб. техн.

ун-та, 2007. – С. 154.

101.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Исследование структуры и свойств ионно-плазменных мультислойных покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N, Ti-B-Si-N // HighMatTech: тр. междунар.

конф., Киев, 15–19 окт. 2007 г. – Киев: Академпериодика НАН Украины, 2007. – С. 467.

121

102.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Экспериментальное исследование строения многокомпонентных наноразмерных пленок, сформированных ионно-плазменными методами // Изв. вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. –

М.: Калвис, 2007. – № 1. – С. 53.

103.Antsiferov V.N., Kameneva A.L. Experimental study of the structure of multicomponent nanostructured coatings on the basis of Ti-Zr-N alloys formed by ionic plasma methods // Russian Journal of Non-Ferrous Metals. – New York: Allerton Press. – Vol. 48,

6. – 2007. – P. 488.

104.Каменева А.Л. Изучение процессов формирования пленок на основе Ti-Al-N в неравновесных условиях электродугового испарения // Высокие технологии в промышленности России: материалы IX Междунар. науч.-техн. конф., Москва, 11–13 сент. 2008 г. – М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ «Техномаш», 2008. – С. 430.

105.Louro C., Cavaleiro A., Dub S. [et al.] // J. Surf. Coat. Technol. – 2002. – № 161. – P. 111.

106.Microstructure and properties of low friction TiC-C nanocomposite coatings deposited by magnetron sputtering / M. Stüber, H. Leiste, S. Ulrich [et al.] // Surf. Coat. Technol. – 2002. – № 150. – P. 218.

107.Relationships between Hardness, Young’s Modulus and

Elastic Recovery in Hard Nanocomposite Coatings / J. Musil, F. Kunc, H. Zeman, H. Polakova // Surf. Coat. Technol. – 2002. –

154.– Р. 304–313.

108.Andrievski R.A., Kalinnikov G.V. Physical-mechanical and physical-chemical properties of thin nanostructured boride/nitride films // Surf. Coat. Techn. – 2001. – Vol. 142–144. – P. 573–578.

109.Изучение влияния подготовки модифицируемой поверхности перед процессом формирования наноструктурированного покрытия на величины адгезии и сплошности покрытия / А.Л. Каменева, Д.Ю. Демин, А.А. Журавлев [и др.] // Мо-

122

лодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион. конф. –

Березники, 2005. – С. 61–64.

110.Экспериментальное изучение свойств упрочняющих тонкопленочных покрытий на основе различных нитридов / А.Л. Каменева, Л.А. Трофимова, А.П. Оборин [и др.] // Молодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион. конф. –

Березники, 2005. – С. 67–71.

111.Каменева А.Л., Трофимов Е.Г. Многокомпонентные наноструктурированные тонкопленочные покрытия на основе сложных нитридов для упрочнения технологического инструмента // Народное хозяйство республики Коми: науч.-техн. журн. / Воркут. горн. ин-т. – Воркута; Сыктывкар; Ухта, 2005. –

Т. 14, № 2. – С. 370–373.

112.Каменева А.Л. Улучшение эксплуатационных свойств технологического инструмента, деталей машин и пар трения пу-

тем осаждения многофункциональных покрытий // Геология и полезные ископаемые Западного Урала: материалы регион.

науч.-практ. конф. – Пермь, 2006. – С. 230–231.

113. Нанесение упрочняющих покрытий на модернизированном оборудовании микроэлектроники / Ю.В. Панфилов, А.И. Беликов, И.В. Гладышев [и др.] // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). – М.: ОАО ЦНИТИ

«Техномаш», 2005. – С. 388–392.

114.Каменева А.Л. Влияние технологических и конструктивных особенностей источника плазмы на процесс формирования и стадии роста наноструктурированных покрытий на основе Ti-B-Si-N при магнетронном распылении // Вестник ПГТУ. Механика и технология материалов и конструкций. – Пермь, 2006. –

9. – С. 7–16.

115.Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Пленки алмаза и алмазоподобных материалов: формирование, строение и применение в электронике // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства электронной техники): моногр.

123

сб. / под ред. А.Ф. Белянина, М.И. Самойловича. – М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ «Техномаш», 2003. – С. 19–110.

116.Физика тонких пленок / под ред. Г. Хасса, Р.Э. Туна; пер. с англ. под ред. М.И. Елинсона, В.Б. Сандомирского. – М.:

Мир, 1967. – Т. I. – 396 с.

117.Алиджанов Э.К., Гребенюк В.Ф., Рудаков В.И. Сканирующая электронная микроскопия плазменных покрытий // Вакуумные технологии и оборудование: сб. докл. 6 Междунар.

конф. – Харьков, 2003. – С. 155158.

118.Бобров Г.В., Ильин А.А. Нанесение неорганических покрытий (теория, технология, оборудование). – М.: Интермет Инжиниринг, 2004. – 624 с.

119.Барвинок В.А., Богданович В.И. Физические основы

иматематическое моделирование процессов вакуумного ионноплазменного напыления. – М.: Машиностроение, 1999. – 309 с.

120.Физика тонких пленок / под ред. Г. Хасса, Р.Э. Туна; пер. с англ. под ред. М.И. Елинсона, В.Б. Сандомирского. – М.:

Мир, 1967. – Т. II. – 396 с.

121.Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Тонкие пленки алмазоподобных материалов как наноструктурированные системы // Наноматериалы: моногр. – М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ «Техно-

маш», 2006. – 241 с.

122.Андриевский Р.А. Синтез и свойства пленок фаз вне-

дрения // Успехи химии. – 1997. – Т. 66, № 1. – С. 57.

123.Трибомеханические свойства и структура нанокомпо-

зитных покрытий Ti1-xAlxN / В.П. Сергеев, М.В. Федорищева, А.В. Воронов [и др.] // Изв. Том. техн. ун-та. – 2006. – Т. 309,

№ 2. – С. 149–153.

124.Особенности формирования наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Н.Н. Дзбановский [и др.] // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIII Междунар. науч.-техн. конф., Москва, 6–8 сент. 2007 г. – М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ «Техномаш», 2007. – С. 22.

124

125.Messier R. // J. Vac. Sci. Technol. – 1986. – A 4. – Р. 490.

126.Иевлев В.М. Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учеб. пособие. – Воронеж: ИПЦ Воронеж. гос. ун-та, 2008. – 496 с.

125

Научное издание

КАМЕНЕВА Анна Львовна, КЛОЧКОВ Александр Юрьевич

ОСОБЕННОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПЛЕНОК С ЗАДАННЫМИ СВОЙСТВАМИ

Редактор и корректор Н.В. Бабинова

Подписано в печать 26.11.10. Формат 60×90/16.

Усл. печ. л. 7,875. Тираж 100 экз. Заказ № 257/2010.

Издательство Пермского государственного технического университета.

Адрес: 614990, г. Пермь, Комсомольский пр., 29, к. 113.

Тел. (342) 219-80-33.

126