книги / Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных плёнок с заданными свойствами
..pdf96.Изучение условий формирования многослойных тонкопленочных покрытий на основе Ti-Zr-N / А.Л. Каменева, Д.Ю. Демин, П.С. Гриднев [и др.] // Молодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион. конф., Березники, 2 марта 2005
г. – Березники, 2005. – С. 64.
97.Каменева А.Л., Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Изучение морфологических особенностей формирования покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N и Ti-B-Si-N, осажденных методами вакуумного испарения и магнетронного распыления // Оборудование
итехнологии термической обработки металлов и сплавов. Функциональные покрытия для повышения качества поверхностей изделий машиностроения: сб. докл. 7 Междунар. конф., Харьков, 2–6 окт. 2006 г. – Харьков: Контраст, 2006. – С. 47.
98.Каменева А.Л. Изучение свойств наноразмерных покрытий, наследуемых в процессе формирования // Конструкции из композиционных материалов. – М.: ФГУП «ВИМИ», 2006. –
№ 4. – С. 231.
99.Использование тонкопленочных покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N, TiZrON, TiBSiN для упрочнения инструмента из Р6М5, применяемого при обработке нержавеющих сталей / А.Л. Каменева, Л.А. Трофимова, С.В. Ничков [и др.] // Перспективные материалы / Ин-т металлургии и материаловедения РАН им. А.А. Байкова. – М., 2006. – № 6. – С. 80.
100.Изучение структуры наноразмерных покрытий на основе Ti-Zr-N на всех стадиях процесса вакуумно-дугового осаждения / В.Н. Анциферов, А.Л. Каменева, С.М. Вдовин [и др.] // Пленки и покрытия – 2007: тр. 8 Междунар. конф., СанктПетербург, 22–25 мая 2007 г. – СПб.: Изд-во С.-Петерб. техн.
ун-та, 2007. – С. 154.
101.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Исследование структуры и свойств ионно-плазменных мультислойных покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N, Ti-B-Si-N // HighMatTech: тр. междунар.
конф., Киев, 15–19 окт. 2007 г. – Киев: Академпериодика НАН Украины, 2007. – С. 467.
121
102.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Экспериментальное исследование строения многокомпонентных наноразмерных пленок, сформированных ионно-плазменными методами // Изв. вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. –
М.: Калвис, 2007. – № 1. – С. 53.
103.Antsiferov V.N., Kameneva A.L. Experimental study of the structure of multicomponent nanostructured coatings on the basis of Ti-Zr-N alloys formed by ionic plasma methods // Russian Journal of Non-Ferrous Metals. – New York: Allerton Press. – Vol. 48,
№6. – 2007. – P. 488.
104.Каменева А.Л. Изучение процессов формирования пленок на основе Ti-Al-N в неравновесных условиях электродугового испарения // Высокие технологии в промышленности России: материалы IX Междунар. науч.-техн. конф., Москва, 11–13 сент. 2008 г. – М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ «Техномаш», 2008. – С. 430.
105.Louro C., Cavaleiro A., Dub S. [et al.] // J. Surf. Coat. Technol. – 2002. – № 161. – P. 111.
106.Microstructure and properties of low friction TiC-C nanocomposite coatings deposited by magnetron sputtering / M. Stüber, H. Leiste, S. Ulrich [et al.] // Surf. Coat. Technol. – 2002. – № 150. – P. 218.
107.Relationships between Hardness, Young’s Modulus and
Elastic Recovery in Hard Nanocomposite Coatings / J. Musil, F. Kunc, H. Zeman, H. Polakova // Surf. Coat. Technol. – 2002. –
154.– Р. 304–313.
108.Andrievski R.A., Kalinnikov G.V. Physical-mechanical and physical-chemical properties of thin nanostructured boride/nitride films // Surf. Coat. Techn. – 2001. – Vol. 142–144. – P. 573–578.
109.Изучение влияния подготовки модифицируемой поверхности перед процессом формирования наноструктурированного покрытия на величины адгезии и сплошности покрытия / А.Л. Каменева, Д.Ю. Демин, А.А. Журавлев [и др.] // Мо-
122
лодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион. конф. –
Березники, 2005. – С. 61–64.
110.Экспериментальное изучение свойств упрочняющих тонкопленочных покрытий на основе различных нитридов / А.Л. Каменева, Л.А. Трофимова, А.П. Оборин [и др.] // Молодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион. конф. –
Березники, 2005. – С. 67–71.
111.Каменева А.Л., Трофимов Е.Г. Многокомпонентные наноструктурированные тонкопленочные покрытия на основе сложных нитридов для упрочнения технологического инструмента // Народное хозяйство республики Коми: науч.-техн. журн. / Воркут. горн. ин-т. – Воркута; Сыктывкар; Ухта, 2005. –
Т. 14, № 2. – С. 370–373.
112.Каменева А.Л. Улучшение эксплуатационных свойств технологического инструмента, деталей машин и пар трения пу-
тем осаждения многофункциональных покрытий // Геология и полезные ископаемые Западного Урала: материалы регион.
науч.-практ. конф. – Пермь, 2006. – С. 230–231.
113. Нанесение упрочняющих покрытий на модернизированном оборудовании микроэлектроники / Ю.В. Панфилов, А.И. Беликов, И.В. Гладышев [и др.] // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). – М.: ОАО ЦНИТИ
«Техномаш», 2005. – С. 388–392.
114.Каменева А.Л. Влияние технологических и конструктивных особенностей источника плазмы на процесс формирования и стадии роста наноструктурированных покрытий на основе Ti-B-Si-N при магнетронном распылении // Вестник ПГТУ. Механика и технология материалов и конструкций. – Пермь, 2006. –
№9. – С. 7–16.
115.Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Пленки алмаза и алмазоподобных материалов: формирование, строение и применение в электронике // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства электронной техники): моногр.
123
сб. / под ред. А.Ф. Белянина, М.И. Самойловича. – М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ «Техномаш», 2003. – С. 19–110.
116.Физика тонких пленок / под ред. Г. Хасса, Р.Э. Туна; пер. с англ. под ред. М.И. Елинсона, В.Б. Сандомирского. – М.:
Мир, 1967. – Т. I. – 396 с.
117.Алиджанов Э.К., Гребенюк В.Ф., Рудаков В.И. Сканирующая электронная микроскопия плазменных покрытий // Вакуумные технологии и оборудование: сб. докл. 6 Междунар.
конф. – Харьков, 2003. – С. 155−158.
118.Бобров Г.В., Ильин А.А. Нанесение неорганических покрытий (теория, технология, оборудование). – М.: Интермет Инжиниринг, 2004. – 624 с.
119.Барвинок В.А., Богданович В.И. Физические основы
иматематическое моделирование процессов вакуумного ионноплазменного напыления. – М.: Машиностроение, 1999. – 309 с.
120.Физика тонких пленок / под ред. Г. Хасса, Р.Э. Туна; пер. с англ. под ред. М.И. Елинсона, В.Б. Сандомирского. – М.:
Мир, 1967. – Т. II. – 396 с.
121.Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Тонкие пленки алмазоподобных материалов как наноструктурированные системы // Наноматериалы: моногр. – М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ «Техно-
маш», 2006. – 241 с.
122.Андриевский Р.А. Синтез и свойства пленок фаз вне-
дрения // Успехи химии. – 1997. – Т. 66, № 1. – С. 57.
123.Трибомеханические свойства и структура нанокомпо-
зитных покрытий Ti1-xAlxN / В.П. Сергеев, М.В. Федорищева, А.В. Воронов [и др.] // Изв. Том. техн. ун-та. – 2006. – Т. 309,
№ 2. – С. 149–153.
124.Особенности формирования наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Н.Н. Дзбановский [и др.] // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIII Междунар. науч.-техн. конф., Москва, 6–8 сент. 2007 г. – М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ «Техномаш», 2007. – С. 22.
124
125.Messier R. // J. Vac. Sci. Technol. – 1986. – A 4. – Р. 490.
126.Иевлев В.М. Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учеб. пособие. – Воронеж: ИПЦ Воронеж. гос. ун-та, 2008. – 496 с.
125
Научное издание
КАМЕНЕВА Анна Львовна, КЛОЧКОВ Александр Юрьевич
ОСОБЕННОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПЛЕНОК С ЗАДАННЫМИ СВОЙСТВАМИ
Редактор и корректор Н.В. Бабинова
Подписано в печать 26.11.10. Формат 60×90/16.
Усл. печ. л. 7,875. Тираж 100 экз. Заказ № 257/2010.
Издательство Пермского государственного технического университета.
Адрес: 614990, г. Пермь, Комсомольский пр., 29, к. 113.
Тел. (342) 219-80-33.
126