Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Твердотельная фотоэлектроника. Физические основы

.pdf
Скачиваний:
12
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
13.74 Mб
Скачать

3.10

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

221

Ограничимся рассмотрением сравнительно низких интенсивностей излуче­ ния (когда оптические свойства кристаллов еще не зависят от интенсивности и поглощенная энергия линейно связана с ней) и обсудим особенности по­ глощения и их связь с зонной структурой полупроводника более подробно.

Р и с . 3.10.1. Типичные спектры отражения и поглощения чистого (сплошные линии) и легированного (пунктирная линия) полупроводника [18]

3.10.1. Край фундаментального поглощения. Наибольший интерес для фотоэлектронных применений представляет резкий подъем коэффициента по­ глощения на границе III и IV диапазонов. Это так называемый край фундамен­ тального, или собственного, поглощения, обусловленный фотовозбуждением электронов из заполненной ими валентной зоны в зону проводимости с образо­ ванием в валентной зоне свободных дырок при превышении энергией фотонов hu> ширины запрещенной зоны полупроводника ё5.

Вероятность фотовозбуждения электронов из валентной зоны в зону прово­ димости в области края фундаментального поглощения может быть вычислена с помощью нестационарного квантового уравнения Шредингера, учитывающего

222

ПОЛУПРОВОДНИКИ

Гл. 3

взаимодействие электрона в кристалле с электромагнитной волной. Фотовозбуждение оказывается возможным только при соблюдении закона сохранения энергии и правил отбора, при выполнении которых матричный элемент пере­ хода в теории возмущений не обращается в нуль. Прежде всего, это закон сохранения волнового вектора или квазиимпульса.

Прямые переходы. В видимой и инфракрасной областях спектра волновой вектор фотона к = 2 п /\ (где А = 0,4ч-10 мкм) значительно меньше волново­ го вектора электрона у границы зоны Бриллюэна к = 2тг(а « 0,55 4-0,65 нм). Поэтому правилами отбора допускаются только вертикальные оптические пере­ ходы электронов на энергетической диаграмме <В(к) — без изменения волнового вектора (рис. 3.10.2). Такие переходы называются прямыми.

Кроме того, правила отбора налагают ограничения на симметрию волно­ вых функций электрона в его начальном и конечном состоянии. Так, если обе волновые функции четные, то пе­

 

реход невозможен.

При сложной

 

симметрии правила

отбора

уста­

 

навливаются с

помощью

теории

 

групп. Запрещены,

например,

пе­

 

реходы электронов из потолка ва­

 

лентной зоны, построенной на ос­

 

нове s-состояний изолированных

 

атомов, в зону проводимости, если

 

волновые функции ее дна образо­

 

ваны из d-состояний.

 

 

 

Показатель

поглощения

про­

 

порционален вероятности перехода

 

электрона из начального состояния

Р и с . 3.10.2. Прямой оптический переход из t-

в конечное и плотностям заполнен­

состояния валентной зоны в /-состояние зоны

ных начальных

и

свободных

ко­

проводимости при поглощении фотона с энерги­

нечных состояний. В изотропных

ей Нш

невырожденных

кристаллах с

па­

 

раболическими зонами плотности начальных и конечных состояний пропор­ циональны (S1/2. Если представить, что плотность состояний в одной из зон, например в валентной зоне, чрезвычайно велика (т * —> оо), то показатель по­ глощения оказывается пропорциональным только плотности состояний в зоне проводимости. Очевидно, что при уменьшении плотности состояний в валент­ ной зоне вероятность прямых переходов (без изменения волнового вектора) только уменьшается. В результате так называемая комбинированная плотность состояний для прямых переходов оказывается пропорциональной (Ни - (Bg)1^2, причем эффективная масса для комбинированной плотности состояний, вычис-

3.10

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

 

223

ленная из соотношения

 

h2j

 

 

 

 

 

 

 

h2k

2

1

1

hu - i s = (Sj - i s) + ii =

+

 

 

г

H---- г

 

 

2ml

2ml

 

 

 

ml

 

 

 

P

 

 

 

"'Р/

(здесь i n f

индексы начального и конечного состояний, <8, < 0) составляет

 

1

1

1

 

 

 

 

 

= —

+ —

 

 

 

 

 

т*

тп

т*

 

 

 

 

Учитывая также, что произведение мощности излучения, поглощенной в кристалле, на вычисленную вероятность перехода оказывается пропорциональ­ ным (Йи;)-1, окончательное выра­ жение для коэффициента погло­ щения при прямых разрешенных переходах записывается в виде

(hw -<Sg) 1/2

a in М = А х

hu

 

(3.10.1) где Ai « 2 • 104см- 1 эВ1/ 2 Отме­ тим, что А\ не зависит от ш и немного изменяется в зависимости от параметров полупроводника.

Для запрещенных прямых пе­ реходов вероятность перехода, ну­ левая при к = 0, возрастает про­ порционально к2 <8, и коэффици­ ент поглощения

 

 

 

P и с. 3.10.3. Теоретические

аппроксимации экс­

е*2п М

= А2------ —

й

периментально измеренного края поглощения для

 

riUJ

 

антимонида индия при 5 К

[7]. Кривая 1 соот­

к

1,3-104[см- 1 эВ1/2]х

ветствует выражению ahu =

A(hv -

Eg)1/ 2; кри­

 

 

 

вая

2 — выражению

ahv = Af(hu -

£ g)3/ 2; кри­

 

х —

(3.10.2)

вая

3

выражению

a h v = A"p

(плотность со­

 

стояний

р рассчитана

на основе

теории Кейна);

 

huj

 

кривая 4 проведена с учетом поправки на зависи­

Прямые переходы

обусловли­

мость матричного элемента от энергии. Экспери­

вают форму края фундаментально­

ментальные значения отмечены точками

го поглощения в прямозонных полупроводниках.

 

 

 

 

На

рис. 3.10.3 приведена спектральная зависимость коэффициента погло­

щения

в антимониде индия. При

<gg преобладают

прямые разрешенные

переходы, и коэффициент поглощения

резко возрастает

(на несколько поряд­

ков) с увеличением частоты. При больших Ни (более 0,3 эВ на рисунке) за­ висимость а (Ни - <gg) становится более пологой. Для объяснения эксперимен­

Р и с . 3.10.4. Непрямые оптические пере­ ходы из i-состояния валентной зоны в j- состояние зоны проводимости с поглоще­ нием или испусканием фонона hwф

224

ПОЛУПРОВОДНИКИ

Гл. 3

тальных данных на этом участке приходится учитывать не только уменьшение матричного элемента перехода, но и непараболичность зон.

В полупроводниках с прямозонной структурой велика вероятность и обрат­ ного поглощению процесса — излучательной рекомбинации.

Непрямые переходы. Если в полупроводнике главный минимум зоны прово­ димости находится недалеко от границы зоны Бриллюэна, то переход электрона из окрестности максимума валентной зоны в этот главный минимум связан с изменением волнового вектора электрона на величину порядка 2п/а. Такие переходы могут происходить с участием третьей частицы или квазичастицы, волновой вектор которой способен измениться на такую величину. В невы­ рожденных полупроводниках такие непрямые переходы наиболее вероятны с

поглощением или испусканием акусти­ ческих фононов с энергией hu>ф, много меньшей энергии фотона hu>. В сильно ле­ гированных кристаллах такой третьей ча­ стицей могут быть также атомы примеси или электроны.

Вероятности непрямых оптических переходов рассчитываются во втором при­ ближении теории возмущений и оказыва­ ются значительно меньше, чем вероятно­ сти прямых переходов, причем тем мень­ ше, чем дальше начальное г- и конечное /-состояние по энергиям.

Осуществляются непрямые оптиче­ ские переходы через промежуточное короткоживущее (виртуальное) состояние, при переходе электрона в которое за­ кон сохранения энергии не соблюдается: согласно соотношению неопределенности Гейзенберга AS A t ^ h. Фотон переводит

электрон из валентной зоны (с импульсом к, и энергией Si < 0) в проме­ жуточное состояние / в зоне проводимости с таким же волновым вектором (рис. 3.10.4). Затем возбужденный электрон взаимодействует с решеткой, ис­ пуская или поглощая фонон и переходя в конечное состояние с волновым век­ тором к/. Такой двухступенчатый переход с участием фонона возможен только при соблюдении законов сохранения энергии и импульса

Si + hu ± Ншф~S f

к,- ± кф = к/

Очевидно, что коэффициент поглощения при взаимодействии с фононом с энер­ гией Ьшф представляет собой сумму двух членов — с поглощением и с испус-

3.10

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

225

канием фонона. Оценим сначала коэффициент, обусловленный поглощением фонона.

При непрямых оптических переходах возможны переходы электрона из лю­ бого занятого в любое свободное состояние, лишь бы выполнялся закон со­ хранения энергии (в отличие от прямых, где начальное и конечное состояния имеют еще и одинаковый волновой вектор). Тогда комбинированная плотность состояний N (Ни) определяется интегралом по всем возможным парам состоя­ ний г, / , разделенным энергией Ни + Ниф, от произведения плотностей началь­ ных и конечных состояний

N(Hu)

—(йи/—<£е+Йи/ф)

о

(здесь по-прежнему <St < О, В — постоянная, не зависящая от ы).

Кроме

того,

вероятность

по­

глощения

фонона

пропорцио­

нальна

концентрации

фононов

Л/ф =

[ехр (Ниф/кТ) - I ] '1.

 

 

В

результате

коэффициент

погло­

щения для непрямых переходов с по­ глощением фонона приобретает вид

чАз (Ни - Sg + Ныф)2 Ни ехр(Ниф/ к Т ) - 1

 

 

(3 .1 0 .3 )

 

Учитывая, что

вероятность

ис­

 

пускания

фонона

пропорциональна

 

ЛГф + 1 , коэффициент поглощения для

Лсо, эВ

непрямых

переходов

с испусканием Р и с . 3.10.5. Край поглощения

излучения в

фонона

 

 

германии при температурах 77 и 300 К. Пе­

 

А4 (Ни - & й + Ниф) 2

региб на кривых при а = 102

см-1 указы­

 

вает на переход от непрямого поглощения к

016 ' '

Ни 1 — ехр {^Нил/кТ)

прямому поглощению

 

 

 

 

(3 .1 0 .4 )

 

а суммарный коэффициент поглощения с участием фононов одного типа

 

 

а н (Ни) = а а (Ни) + ае (Ни) .

(3 .1 0 .5 )

8-747

226 ПОЛУПРОВОДНИКИ Гл. 3

Зависимость у/ае {Ни) • Ни от Ни представляет собой прямую линию, пере­ секающую ось абсцисс при Ни = <Sg + Hu$. Прямая у/ал (Ни) Ни = / (Ни) пере­ секает ось абсцисс при Ни = - Hu$, а ее наклон с понижением температуры быстро уменьшается — при низких температурах количество фононов мало, и коэффициент а а {hu) мал.

В реальных кристаллах с двумя атомами в элементарной ячейке могут из­ лучаться и поглощаться 4 типа фононов (два акустических и два оптических). С учетом поглощения и испускания фононов с различной энергией на кри­ вой а {Ни), измеренной с высоким спектральным разрешением, при непрямых переходах может появиться большое число изломов.

На рис. 3.10.5 приведены спектральные кривые поглощения для германия. Видно, что край собственного поглощения менее резкий, чем в прямозонном материале. Интенсивность прямозонных переходов в германии, начинающихся при комнатной температуре при энергиях более 0,8 эВ, существенно больше по сравнению с непрямыми.

Коэффициент поглощения для запрещенных непрямых переходов получа­ ется из соотношений (3.10.3) и (3.10.4) после изменения показателя степени многочленов (Ни - <Sg ± Hu$) с квадрата на куб.

Таким образом, при непрямом поглощении основная часть энергии фотона передается электрону. При этом фонон отдает или принимает главным образом импульс, соответствующий изменению импульса электрона при возбуждении.

Экситоны. До сих пор не учитывали, что возбужденные в кристалле при поглощении кванта излучения электрон и дырка испытывают кулоновское

 

притяжение и могут вести себя как еди­

 

ная неравновесная квазичастица — экси-

 

тон, по свойствам во многом аналогичная

 

водородоподобной примеси. Размеры экси-

 

тона в полупроводниковом кристалле обыч­

 

но превышают размеры элементарной ячей­

 

ки (такой экситон называется экситоном

 

Ванье-Мотта), и воздействие кристалличе­

 

ской решетки на связанные между собой

Р и с . 3.10.6. Рассчитанные спектры по­

электрон и дырку учитывается заменой их

глощения для случая прямых перехо­

масс на эффективные и введением отно­

дов в простой зонной модели: I — без

сительной диэлектрической проницаемости

учета экситонных эффектов; 2 — с уче­

том экситонного пика п = 1, находяще­

ег. В результате внутренняя энергия эк-

гося ниже края собственного поглоще­

ситона <Вп = - Д ех/те2 (те = 1,2,3,...) и его

ния. Край поглощения указан верти­

радиус Дех = (тг/т ) (Доо/е2) определяют­

кальной стрелкой

 

ся ранее приведенными соотношениями для

водородоподобной примеси после замены т* на несколько большую эффектив­ ную массу экситона тг.

3.10 ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ 227

Однако, в отличие от водородоподобной примеси, экситон принадлежит все­ му кристаллу и может свободно перемещаться по кристаллу, а его кинетическая энергия определяется движением центра масс и пропорциональна к2х, где кех — волновой вектор экситона. Каждая из параболических зависимостей <S„ (fcex) с заданным п образует экситонную зону.

Из-за малости волнового вектора фотонов оптические переходы с образо­ ванием экситона возможны только при /гех = 0. При этом спектр собственного прямозонного поглощения с учетом экситонных эффектов включает серию ли­ ний Нш = Sg - Sex/n2.

Как и в атоме водорода, с ростом п интенсивность экситонных линий умень­ шается пропорционально 1/п 3, но плотность линий на единичный интервал энергии растет как п3 В результате в спектре прямозонного поглощения по­ лупроводников, как правило, появляется одна экситонная линия с п = 1 , а все остальные накладываются друг на друга, образуя сплошной спектр (пик 10 на рис. 3.10.1 и рис. 3.10.6). Сплошной спектр экситонного поглощения сохраня­ ется и при повышении температуры, когда пик пропадает.

При непрямых экситонных переходах с участием фононов резкие линии в спектре поглощения не возникают.

В полупроводниковых кристаллах существуют также связанные (локализо­ ванные в потенциальной яме дефекта решетки) экситоны с несколько меньшей энергией.

Экситон может исчезнуть в результате термического «довозбуждения» с об­ разованием свободных электрона и дырки, а также аннигиляции с излучением фотона или передачей энергии фононам кристаллической решетки.

При высоких температурах, значительной концентрации свободных носите­ лей заряда или ионизованных примесей кулоновское взаимодействие электрона

идырки подавляется.

3.10.2.Межзонные переходы. У полупроводников с тетраэдрической ко­ ординацией атомов в области энергии фотонов, заметно превышающих ширину запрещенной зоны (диапазон III на рис. 3.10.1), наблюдаются два интенсивных пика поглощения и отражения (пики 3 и 4 на рис. 3.10.1). Коэффициент погло­

щения достигает здесь значений 10506 см- 1 Максимумы комбинированной плотности состояний для этих межзонных переходов возникают, когда в неко­ тором интервале изменения волнового вектора энергетический зазор между валентной зоной и зоной проводимости остается постоянным — кривые £(к) для начальных и конечных состояний параллельны друг другу. Пик 4 обуслов­ лен переходами вблизи точки L в направлении [1 1 1 ] и соответствует энергиям <Si = 2,1 эВ для германия или 2,9 эВ для арсенида галлия. Пик 3 обусловлен переходами в направлении [100] и соответствует энергиям фотонов <S2 = 4,4 эВ для германия или 5,0 эВ для арсенида галлия.

У монокристаллов германия и кремния при энергиях, несколько больших <!>2> в спектрах поглощения и отражения нет тонкой структуры (рис. 3.10.7).

8*

228

ПОЛУПРОВОДНИКИ

Гл. 3

Это свидетельствует о близости их оптических свойств свойствам металлов. В этой области частот собственная частота упругих связей (пружин, связываю­ щих электроны с атомными остовами в решетке) значительно меньше частоты световых волн, и поведение электронов в заполненной валентной зоне подобно поведению несвязанных электронов в модели Лоренца.

Поэтому увеличение коэффициента преломления с уменьшением частоты вблизи пика поглощения <S2 можно в первом приближении оценить из соот-

Р и с. 3.10.7. Спектр отражения R (а), действительная (ei) и мнимая («г) части диэлектри_ ческой проницаемости и функция потерь энергии —Im e-1 для германия (б) (7)

Р и с . 3.10.8. Спектр отражения R (а), действительная (ei) и мнимая («г) части диэлектри­ ческой проницаемости и функция потерь энергии - I m e -1 для арсенида галлия (б) [7]

ношений для затухающих дипольных осцилляторов (см. раздел 2.6), но г,рИ числе валентных электронов на атом, равном четырем. Именно на резонансах при энергиях <Si и (В2 показатель преломления в полупроводниках достцГает значений в несколько единиц, характерных для области собственного погд0. щения, в которой показатель преломления изменяется уже мало. ЗначитедЬцое отражение от поверхности в видимой области спектра и обусловливает Ме_ таллический блеск большинства полупроводниковых кристаллов. Необходцмо однако иметь в виду близость <Si и <§2, приводящую к отклонению частотцых зависимостей п и к от кривых, рассчитанных в разделе 2.6.

3.10

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

229

Аналогичная ситуация имеет место и в других полупроводниках, например А3В5 (рис. 3.10.8), у которых в I диапазоне (рис. 3.10.1) наблюдается пик от­ ражения, отсутствующий у кремния и германия и несколько увеличивающий показатель преломления при низких частотах. Этот пик обусловлен перехода­ ми электронов из глубокой d-зоны. Структура спектров арсенида и фосфида галлия связывается с переходами из d-зоны галлия, а антимонида и арсенида индия — с переходами из d-зоны индия (у атомов мышьяка и сурьмы d-зоны лежат значительно глубже). В кремнии d-зона отсутствует, а германии она ле­ жит примерно на 30 эВ ниже максимума валентной зоны и практически не сказывается.

В халькогенидах свинца d-зона образована из d-зоны атомов свинца и рас­ положена ниже зоны проводимости на 24 эВ.

3.10.2.1. Плазменный резонанс. При взаимодействии излучения со «сво­ бодными» электронами в валентной зоне возникает интересное явление плаз­ менного резонанса. В ультрафиолетовой области спектра (диапазон II) из соот­ ношений раздела 2.6 при е 0 , и>о -4 0 (напомним, что в германии <S2 = 4,4 эВ)

и малых потерях —>■0) следует

е, = 2пх —^ 0.

Здесь huip = hyjN q2/ EQUI к, 16 эВ при N = 1,8 1029 м-3 (4 электрона на атом).

При и > uip

х и 0 и п изменяется с уменьшением частоты от единицы

к нулю. Тогда

при нормальном падении излучения коэффициент отражения

R = возрастает от нуля до 1 при уменьшении и> к и р (диапазон II на

рис. 3.10.1, рис. 3.10.7 и рис. 3.10.8). Следовательно, при достаточно большом угле падения излучения происходит его полное внутреннее отражение от твер­ дого тела в вакуум. Это явление используется в зеркальных рентгеновских объективах.

С приближением и> к wp длина волны излучения в материале А = 2жс/п стремится к бесконечности. При этом все валентные электроны, образующие с неподвижными атомными остовами нейтральную плазму, движутся под дей­ ствием внешнего поля электромагнитной волны вместе (в фазе). В этом случае колебания объемной плотности заряда и напряженности электромагнитного по­ ля в полупроводнике поддерживают друг друга. Однако при и < и р х > п, n RS 0 фазовый угол между векторами Ео и Н 0 равен 90°, и поэтому распро­ странения энергии излучения в полупроводнике не происходит: излучение от­ ражается от поверхности полупроводника полностью.

Из-за конечности времени релаксации (д ф 0) коэффициент отражения не достигает ни нулевого, ни единичного значений, а край отражения получается размытым.

230

ПОЛУПРОВОДНИКИ

Га. 3

Модель, приведенная в разделе 2.6, модифицируется для продольных плаз­ менных колебаний следующим образом. Если все электроны смещены на рас­ стояние х от атомных остовов, то электрическое поле Е возвращающей силы определяется вектором поляризации Е = -P /eo sr = N qx/e0 (напомним, что в диапазоне II ег = 1). Ускорение, вызываемое этим полем (в пренебрежении рас­ сеянием)

 

d2x

Nq2x

 

m —

= - q E = -

 

 

ео

Это соотношение описывает колебательное движение с собственной частотой

продольных колебаний нейтральной плазмы

 

 

Nq2

 

 

е0т

3.10.2.2.

Влияние температуры и давления. При увеличении температу­

ры край собственного поглощения полупроводников смещается в соответствии с температурным изменением ширины запрещенной зоны, вызванным расшире­ нием решетки и изменением электрон-фононного взаимодействия. Так, в герма­ нии, кремнии, соединениях А3В5 ширина запрещенной зоны с ростом темпера­ туры уменьшается. При температурах выше 80 К эта зависимость приближает­ ся к линейной с наклоном около - 4 • 10-4 эВ/град, ниже 80 К температурный коэффициент быстро уменьшается. В халькогенидах свинца (PbS, PbSe, PbTe), кристаллизующихся в решетку каменной соли, с увеличением температуры ши­ рина запрещенной зоны растет с коэффициентом +4 • 1 0 '4 эВ/град.

При наложении гидростатического давления (изотропное сжатие) у по­ лупроводников со структурой алмаза и цинковой обманки каждый минимум зоны проводимости смещается по отношению к вершине валентной зоны посвоему. При этом происходит смещение по частоте не только края поглощения, но и пиков отражения, характеризующихся более высокими энергиями Е х и Е2. Смещения минимумов зоны проводимости, находящихся в точках Г, X и L, относительно вершины зоны проводимости составляют приблизительно

Г

к = 0

 

^

=

12 10^6 эВ • бар-1

 

 

 

др

 

 

X

к = —

(100)

— = -1,5 • 10- 6 эВ • бар- 1

 

а

 

др

 

 

L

к = —

(1 1 1 )

^

=

5 • 10^е эВ • бар- 1

 

а

 

др

 

 

В результате при достаточно большом сжатии (204-60 кбар) прямозонный полупроводник может стать непрямозонным.