Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Твердотельная фотоэлектроника. Физические основы

.pdf
Скачиваний:
12
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
13.74 Mб
Скачать

3.10

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

231

В материалах с непрямыми переходами (кремний, фосфид галлия, антимонид алюминия) ширина запрещенной зоны медленно уменьшается с давлением. В халькогенидах свинца д&/др& - 8 10~6 эВ • бар-1

Одноосная или двухосная деформация вызывает более сложные эффекты вследствие изменения симметрии кристалла. Такая деформация снимает вы­ рождение зон при к = 0 и может создать тонкую структуру края поглощения.

3.10.2.3. Эффект Франца-Келдыша. Сильное электрическое поле также влияет на поглощение излучения в полупроводнике вблизи края фундамен­ тального поглощения (эффект Франца-Келдыша). При приложении сильного электрического поля становятся возможными межзонные оп­

тические переходы при энергиях фотонов, меньших ширины

 

 

запрещенной зоны. Такие переходы обусловлены туннельным

 

 

просачиванием фотовозбужденных электронов и дырок че­

 

 

рез треугольный барьер, образованный сильно наклоненной

 

 

вдоль направления электрического поля запрещенной зоной

 

 

(рис. 3.10.9). Вероятность туннелирования для треугольно­

 

 

го барьера выражается через интегралы Эйлера. Приближен­

Р и с . 3.10.9. Диа­

ное соотношение для коэффициента поглощения при энерги­

ях фотонов, близких к ширине запрещенной зоны <gg:

грамма

энергети­

ческих зон и оп­

 

В (<% - Нш)3/2'

тические

перехо­

а(и) =

ды в присутствии

exp

сильного

электри­

ческого поля

где Е — напряженность электрического поля, А и В — постоянные, завися­ щие от эффективных масс электрона и дырки. Когда энергия фотона меньше ширины запрещенной зоны, поглощение экспоненциально убывает. Для фото­ нов, энергия которых больше ширины запрещенной зоны полупроводника, за­ висимость коэффициента поглощения от напряженности электрического поля становится осциллирующей.

При малых коэффициентах поглощения в области его экспоненциального спада влияние электрического поля сводится к сдвигу края полосы поглощения в длинноволновую область, пропорциональному Е 2 (коэффициент пропорцио­ нальности для арсенида галлия ~10-15 эВ- 1см2).

Замечательная особенность эффекта Франца-Келдыша заключается в том, что индуцированная сильным электрическим полем фотогенерация электронно­ дырочных пар происходит непосредственно в области максимального электри­ ческого поля.

3.10.3. Примесное поглощение. Фотовозбуждение (выброс электрона с донорного уровня в зону проводимости или захват электрона из валент­ ной зоны на акцепторный уровень — переходы 2С и 2V на рис. 3.10.10) и фотоионизациЯ (переход электронов и дырок на возбужденные состо­ яния примеси — Зд и За на рис. 3.10.10) мелких примесей проявляют­

232

 

ПОЛУПРОВОДНИКИ

 

 

Гл. 3

ся при низких температурах, когда кТ < <Вд,<§а

и <ga — энергия иони­

зации

примесей) и примеси термически

не ионизованы. На рис. 3.10.11

 

 

 

 

показан спектр оптического погло­

 

 

 

щения мелкого водородоподобного

 

 

 

акцептора (бор в кремнии). Так

 

 

 

как плотность состояний в пара­

 

 

 

болической валентной зоне возрас­

 

 

 

тает

пропорционально квадратно­

 

 

 

му корню из энергии, а плотность

 

 

 

заряда примеси убывает с характе­

 

 

 

ристической длиной 1 / 2аа, в спек­

 

 

 

тре поглощения а (Ни)

наблюда­

 

 

 

ется

максимум

при Ни ~ 1,4<Ва

и

 

 

 

последующий спад. При этом ко­

 

 

 

эффициент поглощения

а (Ни)

в

 

 

 

максимуме прямо пропорционален

 

 

 

концентрации

акцепторов Na

и

 

 

 

уменьшается с увеличением энер­

 

 

 

гии ионизации <§а и эффективной

 

 

 

массы дырок в валентной зоне.

 

 

 

 

При Ни <&а на рис. 3.10.11 на­

Р и с .

3.10.10. Оптические

переходы с участием

блюдается серия узких линий, обу­

мелких примесей [18]

 

словленных переходами примеси в

 

 

 

возбужденное состояние — ее фо­

тоионизацией без генерации свободных дырок.

Аналогичные спектры поглощения (например, пик 13 на рис. 3.10.1) наблю­ даются и для мелких свободных доноров.

Фотонейтрализация мелких примесей (например, фотоиндуцированный пе­

реход

электрона с

мелкого

акцептора

в

зону

проводимости

 

переходы

 

 

 

 

Ь

и

li

на

рис. 3.10.10)

проявляется в

 

 

 

 

виде ступеньки на краю основной полосы

 

 

 

 

поглощения — 12 на рис. 3.10.1.

 

 

 

 

 

Наконец,

примесное

 

поглощение,

 

 

 

 

обусловленное

глубокими

неводородо­

 

 

 

 

подобными

примесями,

возмущающий

 

 

 

 

потенциал

которых локализован вблизи

 

 

 

 

центра, а волновые функции «разма­

 

 

 

 

заны»

 

в

/г-пространстве,

проявляется

Р и с .

3.10.11. Спектр

примесного

погло­

обычно

в

виде бесструктурных полос,

щения акцепторного бора в кремнии при

простирающихся

от энергий

фотонов,

4,2 К

 

 

 

соответствующих

энергии

оптической

ионизации этих примесей, до края собственного поглощения. В качестве глу­ боких примесей обычно выступают элементы с валентностью, отличающейся

3.10

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

233

от валентности атомов полупроводника более чем на единицу, и с несколькими зарядовыми состояниями.

Если концентрация мелкой примеси велика и образуется примесная зона, сливающаяся с зоной разрешенных значений энергии, а кристалл перекомпен-

Р и с . 3.10.12. Распределение носителей в сильно компенсированном полупроводнике [18]

сирован примесью другого типа, (рис. 3.10.12), то спектр фотонейтрализации примеси сливается со спектром собственного поглощения. Переходы в образу­ ющиеся из-за флуктуаций концентрации примесей «хвосты» плотности состоя­ ний называют квазимежзонными переходами.

3.10.4. Поглощение на кристаллической решетке. У полупроводниковых бинарных соединений с заметной долей ионной связи в инфракрасной области спектра на частоте, соответствующей энергии поперечного оптического фоно­ на в центре зоны Бриллюэна hu>t, наблюдается интенсивная полоса поглоще­ ния — однофононный резонанс (8 на рис. 3.10.1). В соответствии с моделью затухающих дипольных осцилляторов при малых потерях (раздел 2.6) пику поглощения соответствует пик коэффициента отражения, достигающего 90% в узком спектральном диапазоне от u t до частоты продольного оптического фонона u>i- Излучение в этом диапазоне называют остаточными лучами. Диа­ пазон остаточных лучей представляет собой область аномальной дисперсии: коэффициент преломления полупроводникового материала на частотах и < u t больше, чем вблизи края фундаментального поглощения. При частотах ш > u>i коэффициент отражения проходит через минимум.

В этом случае резонансная частота много меньше, чем в диапазоне II, по­ скольку число электрических диполей уже не 4 на атом, а один на 2 атома в эле­ ментарной ячейке, причем сила связи соответствует доле ионной компоненты.

234

ПОЛУПРОВОДНИКИ

Гл. 3

Справа и слева от полосы 8 в спектре поглощения могут возникать более слабые линии 14-17, обусловленные испусканием или поглощением нескольких фононов под действием кванта излучения.

Кристаллы германия и кремния содержат подобно алмазу два одинаковых атома в элементарной ячейке, поэтому дипольный момент у них отсутствует и

Р и с . 3.10.13. Спектральные зависимости показателя преломления полупроводников при 300 К [47]

процессы поглощения излучения с участием одного фонона запрещены. Резких полос поглощения, приписываемых однофононному резонансу, не обнаружено и в спектрах поглощения сплавов германий — кремний.

На рис. 3.10.13 представлены спектральные зависимости показателей пре­ ломления ряда полупроводников при 300 К. Разрывы в зависимости п (А) со­ ответствуют областям аномальной дисперсии (остаточных лучей) при однофо­ нонном поглощении излучения в кристаллах с долей ионной связи.

В случае твердых растворов более сложного, чем бинарный, состава зависи­ мость диэлектрической проницаемости от частоты имеет не одну, а несколько резонансных особенностей

£ (w) —£0о + ' fj, 3

где fj = Nje2/{eomjuf.) и u t] — сила и резонансная частота j - го осциллятора. Экспериментальные спектры отражения твердого раствора GaAs-AlAs с двумя максимумами при промежуточных составах показаны на рис. 3.10.14.

3.10

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

235

 

Бинарные соединения, кристаллизующиеся в гексагональную решетку, так­

же обладают двумя полосами остаточных лучей.

 

 

Излучение остаточных полос, по-видимому, представляет лучший способ

измерения эффективной доли ионной связи в кристаллах.

 

 

Взаимодействие фотона одновременно с несколькими фононами значитель­

но менее вероятно, чем однофононный резонанс. Однако это слабое по отно-

 

 

 

<8, мэВ

60

50

40

зо

Р и с . 3.10.14. Экспериментальные спектры отражения твердого раствора арсенида галлия — арсенида алюминия различного состава

шению к полосе остаточных лучей поглощение позволяет с большой точностью оценить энергию фононов в различных точках зоны Бриллюэна.

Спектры отражения и поглощения сильно легированных полупроводников оказываются значительно измененными даже в отсутствие компенсации при­ месей. Край фундаментального поглощения смещается в коротковолновую об­ ласть, а в длинноволновой появляется поглощение, растущее с увеличением длины волны. Эти изменения обусловлены двумя причинами — так называемым эффектом Бурштейна-Мосса и поглощением на свободных носителях заряда. Наконец, в IV спектральном диапазоне при не слишком большом коэффициенте поглощения наблюдается плазменный резонанс на свободных носителях заря­ да: коэффициент отражения с уменьшением частоты проходит через минимум и резко приближается к 100%.

236

ПОЛУПРОВОДНИКИ

Гл.

3.10.5. Эффект Бурштейна-Мосса. Эффект Бурштейна-Мосса наиболее ярко проявляется в полупроводниках n-типа с малой эффективной массой элек­ тронов и заключается в увеличении оптической ширины запрещенной зоны с ростом легирования. В этом случае зона проводимости характеризуется ма­ лой плотностью состояний, так что при увеличении концентрации электронов все уровни вблизи дна зоны оказываются занятыми, и поглощаемые фотоны должны перебрасывать электроны на более высокие уровни. Для материала n-типа с изотропными параболическими зонами коэффициент поглощения при вырождении

-1

а (Ни) = ао(1ьш) 1 + ехр /(SF — <$>с (к) ) V кТ

где ло (ftw) — коэффициент поглощения в невырожденном полупроводнике. На рис. 3.10.15 в качестве примера представлены спектры поглощения п-

типа антимонида индия при 130 К вблизи края фундаментального поглощения

Р и с . 3.10.15. Спектры поглощения в n-InSb (эффект Бурштейна-М осса и поглощение на свободных носителях) при 130 К. Толщины исследованных пластин приведены в мкм

(диапазон концентраций от 6,6 1013 до 6 • 1018 см~3). Изменение оптической ширины запрещенной зоны превышает 0,3 эВ.

3.10

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

237

В случае многодолинной зоны, состоящей из М эквивалентных эллипсои­ дов, концентрация электронов равномерно распределяется между М эллипсо­ идами, и край основного поглощения сдвигается в коротковолновую сторону слабее, чем при М = 1 . Очевидно, что и в полупроводниках p-типа с боль­ шей эффективной массой и плотностью состояний эффект Бурштейна-Мосса выражен слабее.

3.10.6. Поглощение на свободных носителях тока. Поглощение на сво­ бодных носителях тока проявляется, когда энергия фотонов мала по сравнению с шириной запрещенной зоны. По своему механизму такое поглощение анало­ гично возникновению сопротивления в проводниках или выделению в них теп­ ла при протекании электрического тока. Под действием электрического поля электромагнитной волны носитель заряда ускоряется, то есть увеличивает свою кинетическую энергию, которая превращается в тепло в результате рассеяния носителей заряда на колебаниях кристаллической решетки или примесях. Оче­ видно, что в полупроводниках переход электрона или дырки из одного разре­ шенного состояния в другое в пределах одной долины при поглощении фотона может быть только непрямым — свободные носители не поглощают излучение без взаимодействия с третьей частицей или квазичастицей.

При классическом рассмотрении поглощения излучения свободными элек­ тронами используется соотношение (2.6.14), в котором снова отсутствует сла­ гаемое, соответствующее возвращающей силе, то есть и>о = 0. Кроме того, учи­ тывая, что электроны не вполне свободны (как это было бы в вакууме), вместо их массы в соотношении (2.6.14) необходимо использовать эффективную массу.

Если к кристаллу приложено постоянное электрическое поле, то соотноше­ ние (2.6.14) переходит в

*d2x * dx

т 7 ? + т я Л = - '1Е-

Проинтегрируем это соотношение по времени на интервале Г, во много раз превышающем время рассеяния. Получим

Т

+ [™*gx]l = -q E T .

о

Первый член обращается в ноль во все моменты времени, соответствую­ щие столкновениям, то есть не увеличивается с ростом Т Величина [а:]^ —

расстояние, прошедшее

носителем за время Т,

а оно, очевидно, равно цЕ Т

Следовательно, гп*дЕцТ

qET, или д = q/цтп*

Но так как согласно опреде­

лению подвижность /I = qr/m*, то 1 /д = т — время релаксации.

С учетом того, что ш0 = 0 и 1/д = т, соотношения (2.6.17) и (2.6.18) преоб­ разуются в

£г ~ £УВЧ = П2 - X2 ~ <ГгВЧ - ~<^р l + J 2 ^ 2 ’

(3 .1 0 .6 )

238

ПОЛУПРОВОДНИКИ

 

Гл. 3

 

£,W = 2п н и = Wp---- —T 7T-z.

(3.10.7)

 

v 1 +

WZT*

 

Соотношение (3.10.7) может быть представлено в виде

qNfi

1

1

 

еоевч 1 + ш2т2

ео^вч 1 + w2r2(3.10.8)

так как коэффициент поглощения аш= 2хш/с

 

 

 

 

Из уравнения (3.10.8) следует, что на

низких

частотах

(w -> 0)

=

= <г/ео£вч~0' и коэффициент поглощения излучения пропорционален электро­ проводности кристалла на постоянном токе. Однако, в инфракрасном диапа­ зоне при длинах волн менее сотни микрон шт > 1 , и из соотношений (3.10.7) и (3.10.8) следует

Ng2

1 _

АГА2?3

тп*ео£вчспш2 т

(3.10.9)

4тг2с3пе0евчм(т *)2

Таким образом, классическая теория предсказывает, что коэффициент по­ глощения на свободных носителях тока пропорционален концентрации носи­ телей N и квадрату длины волны А2. Поглощение в левой части рис. 3.10.15 действительно увеличивается с ростом длины волны излучения и концентрации примесей.

Соотношение (3.10.9) после замены индексов может быть распространено и на поглощение свободными дырками.

Из соотношения (3.10.7) следует, что на зависимость коэффициента погло­ щения от длины волны излучения решающее влияние оказывает механизм рас­ сеяния энергии свободными носителями заряда. Однако классическая теория может быть использована только при энергиях фотонов, меньших кТ Кван­ товые расчеты приводят к следующим частотным зависимостям коэффициента поглощения:

при рассеянии на акустических фононах

при рассеянии на оптических фононах

при рассеянии на ионах примеси

3.10

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

239

На рис. 3.10.16 приведены экспериментальные кривые поглощения на свободных носителях na(hu>) в антимониде индия n-типа с концентрацией но-

Р и с . 3.10.16. Зависимость na(hu) для антимонида индия n-типа в области поглощения на свободных носителях

Рис . 3.10.17. Плазменный край в спектрах отражения n-InSb при комнатной температуре

сителей от 4 • 1016 до 6 • 1018 см-3 В исследованном диапазоне концентраций показатель степени изменяется от 1,3 до 2,7.

Для спектрального диапазона IV на рис. 3.10.1 из соотношений (3.10.6) и (3.10.7) при малом затухании = 1 —>0) следует

 

 

ы*

£ г - £гВЧ = п 2 -

X 2 - £ ГВЧ =

------ T i

6iOJ = 2n,x,w —)■0.

ur

 

При частоте, когда {и>р/ш)2 = еВч -

1. er = n = 1

и коэффициент отражения

стремится к нулю (точка 5 на рис. 3.10.1). При несколько меньшей частоте w = Wp/v/ёвч : ^ Nq2/ (£0£гт) = шр/пвч имеем п х 0, и коэффициент от­ ражения становится близким к единице (точка б на рис. 3.10.1). Так же, как в диапазоне II на рис. 3.10.1, в полупроводнике происходят плазменные колеба­ ния.

Т а б л и ц а

3.10.1. Параметры

ряда элементарных

и бинарных полупроводниковых материалов, применяемых

в фотоэлектронике

(Г = 300 К)

[47]

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

П одвиж ность,

 

 

 

 

£ g , эВ

 

ео

Температура

см 2/(В*с)

Эф фективная

масса

М атериал

П ериод реш етки,

Еоо

Т = 3 00 К

 

 

нм

 

плавления,

°С

 

 

 

 

Г = 3 0 0 К

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

электрон

дырка

электрон

дырка

Ge

0 ,5 6 5 7 5

0 ,8 0 5

н

16,0

936

 

3 6 0 0

1 8 0 0

0 ,2 2

0 ,3 0

Si

0 ,5 4 3 0 7

1,11

н

11,67

1 4 1 0

 

1 5 0 0

450

0 ,9 7

0 ,5 0

С (алм аз)

0 ,3 5 6 6 8

5 ,4 7

 

5 ,6 4

 

1 8 0 0

1 2 0 0

0 ,2

0 ,2 5

A lA s

0 ,5 6 6 2 2

3 ,0 3 (2,22)

8 ,1 6

9 ,9 5

> 1 6 0 0

 

0 ,1 5

0 ,7 9

G aA s

0,5 6 5 3 1

1,4 3 5

п

10,88

12,73

1 2 8 0

 

9 7 0 0

420

0 ,0 7

0 ,4 8

G aP

0 ,5 4 5 0 5

2 ,3 2

н

9 ,0 9

11,28

1 3 5 0

 

175

75

0 ,8 2

0 ,6 0

InSb

0 ,6 4 7 8 7

0 ,1 8 5

п

15,29

17,23

525

 

8 2 0 0 0

1 2 5 0

0 ,0 1 4

0 ,4 0

InAs

0 ,6 0 5 8 3

0 ,3 6 0

п

12,35

15,81

9 42

 

3 3 0 0 0

460

0 ,0 2

0 ,4 0

InP

0 ,5 8 6 8 7

1,345

п

9 ,5 5

12,65

1 0 5 5

 

3 4 0 0

150

0 ,0 8

0 ,6 4

Z nS (гекс)

0 ,5 4 0 6 0

3 ,6 0

 

5 ,10

8 ,3 0

1 8 5 0

 

165

5

0 ,4 0

CdTe

0 ,6 4 7 7 0

1,50

 

7,18

9 ,6 4

1 0 9 8

 

650

60

 

PbS

0 ,5 9 4

0,41

 

1 1 1 4

 

640

800

0 ,1 7 (0 ,3 1 )

0 ,1 8

P bSe

0 ,6 1 2

0 ,1 7

 

1 0 6 5

 

1 2 0 0

850

0 ,1 7 (0 ,3 1 )

0 ,1 3

PbTe

0 ,6 4 6

0,31

 

30

9 05

 

2 1 0 0

840

0 ,1 3 (0 ,3 9 )

0 ,1 5

CdS (гекс)

2,58

 

5,4

1750

 

340

50

0,21

0 ,8

ПОЛУПРОВОДНИКИ

СО