книги / Оборудование для производства полупроводниковых диодов и триодов

ходятся воздуховоды 6 вытяжной вентиляции, через которые происходит отсос паров от ванн никелирования и промывки. Воздуховоды и два бортовых отсоса изготовлены из вини­ пласта, что предохраняет их от коррозии и значительно увеличивает срок службы.

Панель управления 4 расположена на пе­ редней части станины. 'На ней размещены кнопки управления и сигнальные лампочки. Ручки кранов для подачи деионизованной во­ ды в водяные рубашки ванн никелирования и в ванну промывки расположены на перед­ ней панели 3. Ручки кранов для подачи деио­ низованной воды к установке и слива остав­ шейся воды из ванн промывки расположены внутри станины.

Бнутри станины 8 расположены две ванны никелирования, ванна промывки, смеситель­ ный бак 9 и система трубопроводов. Ванна никелирования 7 емкостью 10 л состоит из каркаса и кожуха водяной рубашки. Внутрен­ няя и наружная стороны ванны покрыты фто­ ропластом. Температура воды в водяной ру­ башке поддерживается автоматически термо­ реле и двумя нагревателями. В корпус нагре­ вателя 1 встроены четыре трубчатых нагрева­ тельных элемента. Для увеличения срока службы трубопроводов, а также предотвраще­

ния образования накипи водяные рубашки» ванн заполняются деионизованной водой. Она заливается один раз и в процессе работылишь добавляется в небольших количествах, для поддержания необходимого объема.

Вода поступает в водяные рубашки ванн, никелирования 2 и 8 (рис. 12-2) из магистра-

Рис. 12-2. Схема трубопроводов установки химического никелирования.

Рис. 12-3. Принципиальная электрическая схема установ­ ки химического никелирования.

ли по трубопроводам через вентили /, II и III. Уровень воды в рубашках ванн определяется по указателям уровня 1 и 9. При переполне­ нии водяных рубашек вода по трубопроводам через приспособления для перекачки агрес­ сивных сред 3 и 7 и конусы 4 и 6 сливается в сборную емкость. Промывка приборов в про­ точной воде производится в ванне 5.

Деионизованная вода из магистрали посту­ пает в ванну промывки 5 по трубопроводу че­ рез вентили I, IV и нагреватель 10. При пере­ полнении ванны вода по трубопроводу сли­ вается в смесительный бак. Оставшаяся в ван­ не вода сливается по трубопроводу и крану V в смесительный бак 11, расположенный внут­ ри станины.

На рис. 12-3 приведена принципиальная электрическая схема установки. Установка включается выключателем Ву, расположенным на левой боковой стенке стола. О наличии на­ пряжения сигнализирует лампа Лу. Нагрева­ тели воды водяных рубашек ванн никелиро­ вания включаются тумблерами В3 и 5 6. Тем­ пература воды поддерживается автоматиче­

ским термореле (ТР-200) Л , Ре и магнитными пускателями Р3, Р9.

После загрузки кассеты с приборами в ван­ ны никелирования привод периодически вклю­ чается тумблером В2 (В5) через реле времени

В зависимости от типа полупроводникового прибора применяются различные методы окраски. Наиболее распространены окраска окунанием и обливанием непрерывной струей.

На рис. 12-4 показана конструкция агрега­ та для окраски диодов обливанием непрерыв­ ной струей и их сушки (рис. 12-4). Агрегат обслуживается одним оператором и окраши­ вает 1 800 приборов в час. Технологический процесс осуществляется в следующей после­ довательности. Предварительно обезжиренные приборы загружаются в вибробункер 1, отку­ да поступают в узел загрузки 2. Здесь проис­ ходит рихтовка выводов, после чего приборы роторным укладчиком помещаются в носите­ ли транспортирующей цепи 5. При движении приборы проходят через камеру, где окраши­ ваются непрерывно циркулирующей струей. Окрашенные приборы попадают в узел сбра­ сывания краски 12, где им сообщается враща­ тельное движение вокруг собственной оси, и слой покрытия становится равномерным бла­ годаря удалению лишней краски под действи­ ем центробежных сил. Далее приборы попа­ дают в камеру терморадиационной сушки 4, где сушатся в течение 26 мин при температу­ ре 120±10°С. При выходе из нее приборы по­ падают в приемный бункер.

Основные узлы агрегата — узел загрузки 2, узел окраски 13, узел сбрасывания краски 12, камера сушки 4, транспортирующая цепь с но­ сителями 5, привод 15, станина 16, панель управления 17. На верхней плите станины размещены вибробункер 1, узлы загрузки, окраски и сбрасывания краски, а внутри ее — привод агрегата. Вибробункер служит для ориентации диодов и подачи их по направляю­ щим в узел загрузки. (Назначение узла — рих­ товка верхних и нижних выводов прибора с последующей загрузкой в носители транс­ портирующей цепи.

Приборы, находящиеся в направляющих, перемещаются ведущим диском к узлу рих­ товки, где при движении по направляющим сегмента происходит рихтовка выводов. Далее приборы попадают на роторный укладчик 3,

производящий поштучную загрузку в носители транспортирующей цепи.

Ведущий диск узла загрузки получает вра­ щение от нижнего ведущего блока через две пары конических шестерен. Привод узла за­ грузки осуществляется от электродвигателя главного привода 15 через редуктор и цепную передачу.

Транспортирующая цепь перемещает при­ боры в узел окраски. Он состоит из шестерен­ чатого насоса 14 с электродвигателем, ван­ ночки для сбора краски, а также трубопрово­ дов подачи и слива краски. Узел сбрасыва­ ния краски состоит из ведущего блока и че­ тырех ведомых роликов. Ведущий блок полу­ чает вращение от главного привода через ре­ дуктор и две пары конических шестерен и двух приводных ремней круглого сечения.

Камера сушки представляет собой метал­ лический каркас, имеющий двойную метал­ лическую обшивку и дверцы для свободного доступа к деталям и механизмам, расположен­ ным внутри камеры. Дверцы снабжены элек­ трической блокировкой, которая снимает на­ пряжение, подводимое к нагревательным эле­ ментам при открывании одной из них.

Сушка приборов производится при помощи термоэлементов 7, расположенных между вер­ тикальными ветвями цепи. Температура в ка­ мере сушки контролируется и регулируется терморегулятором с контактным термометром 8, установленным на боковой панели камеры. Для натяжения транспортирующей цепи слу­ жит устройство 10, а также две звездочки 9.

Пары растворителя вытягиваются через патрубок, расположенный в верхней части ка­ меры. Количество отсасываемого воздуха ре­ гулируется заслонкой 6 через систему рычагов от механизма управления заслонкой 11. Для уменьшения теплоотдачи и поддержания тем­ пературы сушки постоянной каркас покрыва­ ется теплоизоляцией.

Станина 16 и каркас камеры сушки соеди­ няются болтами. В левой верхней части ста­ нины находится пульт управления агрегатом. На нем расположены кнопки включения глав­ ного привода, привода шестеренчатого насоса, механизма окраски и амперметр, контроли­ рующий силу тока в термоэлементах.

12-4. МАРКИРОВКА

При производстве полупроводниковых при­ боров наибольшее распространение получил так называемый офсетный метод нанесения маркировочного клейма. Кроме того, при изго­ товлении микроминиатюрных приборов при­ меняется кодовый способ маркировки.

а) б)

Рис. 12-5. Нанесение маркировочного клейма на поверх­ ность приборов.

Существует более 20 способов нанесения маркировочного клейма, в том числе прямой,, плоский, трафаретный и др. [Л. 42].

В зависимости от конструкции приборовклеймо может наноситься на торец корпуса,, его боковую поверхность и т. д. (рис. 12-5). При нанесении клейма резиновый ролик обка­ тывается по поверхности корпуса прибора и ставит соответствующую маркировку.

Полуавтомат маркировки, сушки и лаки­ ровки торцевого клейма (рис. 12-6) имеет мар­ кировочную карусель с 24 гнездами, в которыевручную вставляются триоды. Над каруселью расположен механизм 41 маркировки, имею­ щий систему роликов, которые обеспечивают растирку краски и ее подачу от ванночки до последнего ролика, производящего маркиров­ ку. Карусель 12, непрерывно вращаясь, пере­ мещает установленные в ее гнезда приборы к маркировочному ролику. За две позиции до маркировки рычагом 10 прибор фиксируется в гнезде карусели. Затем маркировочный ро­ лик, обкатываясь по торцу прибора, наносит соответствующее клеймо.

После маркировки, при набегании ролика на кулачок, рычаг 10 поднимается и прибор перемещается с карусели в направляющие вибролотка 11. В конце вибролотка приборы попадают в направляющие спирального вибро­ транспортера камеры сушки 16. По спирали приборы движутся в течение 30 мин при тем­ пературе 80—120° С. В конце последнего витка спирали приборы падают в тару и вставляют­ ся в гнезда 24-позиционной лакировочной ка­ русели, над которой установлен механизм на­ несения лака 19. Процесс идентичен марки­ ровке.

Основные узлы полуавтомата: механизм маркировки 41 с вибролотком, камера сушки 13 с вибротранспортером, механизм лакиров­ ки 19 с вибролотком, станина 1, приводы ка­ руселей маркировки и лакировки и панель управления 36.

Над маркировочным резиновым роликом 9 расположен сменный ролик-клише & Все ва­ лы роликов крепятся в корпусе 5 с помощью шариковых подшипников и втулок 3. Зазоры между последними шестью роликами регули-