книги / Оборудование для производства полупроводниковых диодов и триодов
..pdfРис. 21-7. Рост производительности труда.
^пл — планируемый рост; |
А.— рост, обеспечиваемый примене |
нием новой техники при |
сроках ввода ее в эксплуатацию за |
2 и 5 лет. |
|
зе выпуска основных изделий, а также прогнозирование необходимых затрат труда и денежных средств на вы пуск этого оборудования.
Для полупроводниковой промышленности, как и для некоторых других отраслей, на современном этапе характерны противоречивые тенденции: рост массово сти и быстрая сменяемость объектов производства. Если раньше для массового производства была харак терна стабильность выпускаемой продукции в течение не менее 10 лет, то сейчас объекты производства каче ственно изменяются в течение 3—5 лет, а иногда и за более короткий срок. Поэтому необходима не только особо тщательная оценка применимости сложившихся методов автоматизации, но и оценка прогрессивности новой техники с учетом фактора времени и роста про изводительности труда (Л. 39].
Для того чтобы обеспечить рост производительно сти труда, новая техника должна быть более произ водительной при меньшем количестве обслуживающих рабочих, более экономичной в эксплуатации и мини мальной по стоимости. Особое значение для полупро водникового производства имеет повышение качества выпускаемых приборов и выхода годных приборов, до стигаемые при внедрении техники. Самые высокие тех нико-экономические показатели новой техники могут обеспечить ее прогрессивность только при своевремен ных сроках ввода в эксплуатацию. При затягивании сроков внедрения новой техники возможны случаи, когда она не обеспечит заданных темпов роста произ водительности труда, т. е. морально устареет еще в про цессе освоения, хотя формально и может быть быстро окупаемой. На рис. 21-7 {Л. 39] приведены кривая роста производительности, обеспечиваемого применением но вой техники, при одинаковых технико-экономических показателях, но с различными сроками проектирования и освоения, а также кривая для планируемого роста производительности труда. Как видно из рисунка, при менение новой техники при вводе ее в эксплуатацию через два года обеспечивает быстрое превышение пла нируемого в отрасли роста производительности труда. Очевидно, что моральный срок старения этой техники определяется продолжительностью ее эксплуатации
в течение /УМакс лет. Срок п лет, в течение которого новая техника достигает уровня заменяемой техники, имеет смысл как срок окупаемости затрат на механи зацию, поэтому при Ь=2 новая техника будет не толь ко прогрессивной, но и быстро окупаемой. Если же сроки ввода в эксплуатацию новой техники будут рас тянуты до 5 лет (Х =5), то новая техника ни на одном отрезке времени не обеспечит заданных темпов роста производительности труда. Несмотря на некоторую условность, данный пример наглядно иллюстрирует зна чение ускорения сроков ввода в эксплуатацию новых средств механизации и автоматизации производства.
При создании и внедрении нового технологического оборудования следует выявлять основные пути повыше ния производительности труда, пути развития техники, механизации и автоматизации производства. Повыше ние производительности труда путем уменьшения числа рабочих, непосредственно занятых в процессе производ ства, связано с проблемой комплексности механизации и автоматизации, которая должна решаться во всех звеньях производственного процесса и в первую оче редь там, где техническая вооруженность труда ниже, а затраты ручного труда выше. Однако этот путь имеет ограниченные возможности повышения производитель ности труда, так как при сохранении достигнутого уров ня производительности оборудования экономия живого труда имеет тенденцию к убыванию.
Другой путь |
повышения |
производительности тру |
да — уменьшение |
затрат труда |
при повышении произ |
водительности машин. Этот путь требует разработки новых прогрессивных технологических процессов и со здания высокопроизводительного оборудования. Новые прогрессивные технологические процессы могут созда ваться только при условии совершенствования уже вы пускаемых или разработки принципиально новых по лупроводниковых приборов. Значительный рост произ водительности оборудования обеспечивают принципи ально новые методы обработки полупроводниковых ма териалов синтетическими алмазами на операциях резки слитков, шлифовки, полировки и разрезки пластин; групповая технология получения р-я-переходов метода ми планарно-эпитаксиальной технологии с применением фотолитографии; методы бескорпусной герметизации приборов обволакиванием и заливкой эпоксидными смо лами и герметизации в пластмассовые корпуса, а также многие другие новые технологические процессы. В связи с миниатюризацией приборов и их элементов комплекс ная механизация и автоматизация возможны только на базе новой технологии (которую называют иногда
«машинной» |
технологией). |
|
|
Третий |
путь |
повышения производительности |
тру |
да сокращение |
затрат овеществленного труда, |
кото |
рое достигается при снижении стоимости оборудования. Снижение стоимости может быть достигнуто стандарти зацией и унификацией механизмов, узлов и деталей машин и совершенствованием технологии их производ ства.
Рассмотренные в настоящей главе направления и порядок проведения работ далеко не исчерпывают всех вопросов, связанных с механизацией и автоматизацией производства полупроводниковых приборов. Однако учет изложенных соображений должен помочь при ре шении конкретных задач.
ЛИТЕРАТУРА
1.Автоматические линии в машиностроении, изд-во «Машиностроение», 1967.
2.Б о р е с к о в Г. К., С л и и ь к о М. Г., Катали тическая очистка газов от примесей кислорода, «Хими ческая промышленность», 1956, № 2.
3. Б р а у н л и |
1\. А., |
Статистические |
исследования |
||
в производстве, перевод |
с |
англ., Изд-во иностр. лит., 1949. |
|||
4. Б р у к В. |
А., |
Га р ш е н и н В. |
В., |
К у р н о |
|
с о в А. И., Производство |
полупроводниковых |
приборов, |
|||
изд-во «Высшая школа», |
1968. |
|
|
5. В а л и т о в Р. А. и др., Измерения параметров полупроводниковых триодов, изд-во Харьковского уни верситета, 1960.
6. |
Г р н с с |
б а х |
Р., Теория |
и практика |
ионн |
||
обмена, |
Изд-во |
иностр. лит., 11963. |
|
|
|
||
7. |
Г у д |
К. X., |
М а к о л Р. |
Э., |
Системотехника. |
||
Введение в |
проектирование больших |
систем, |
перевод |
сангл., изд-во «Советское радио», 1962.
8.ГОСТ 8032-56. Предпочтительные числа и ряды предпочтительных чисел.
9.Д а н и л и н Б. С., Вакуумное и
пленок, изд-во «Энергия», 1967.
10. Д е м ь я н ю к |
Ф. С., |
Технологические основы |
||
поточно-автоматизированного |
производства, |
изд-во |
||
«Высшая школа», 1965. |
|
|
|
|
11. «Дэнси дзайрё», |
1965, |
т. 2, Л1* 2, стр. |
19—26. |
|
12. З е л и к. май |
Г. |
А. и |
др., Полупроводниковые |
кремниевые диоды и триоды. Технология производства, изд-во «Энергия», 1964.
13. К а с т а л ь с к и и А. А., Проектирование уста новок для химического обессоливания воды, изд-во
«Строительство |
и |
архитектура», 1964. |
|
14. К а ц м а н |
Я- А., Полупроводниковые плоскост |
||
ные маломощные триоды, Госэнергоиздат, 1960. |
|||
15. К а б а н о в |
А. Н., К а ф а ф о в |
А. А., М и х а й |
|
л о в с к и й Г. |
А., |
Электроннолучевая |
установка типа |
ЭЛУРО для прецизионной сварки, пайки и размерной обработки, «Автоматическая сварка», 1967, № 3.
16. К л у с о в И. А. и др., Автоматические роторные линии, их применение и оптимальная производитель
ность, |
«Механизация |
|
и |
автоматизация |
производства», |
|||||||
1967 |
№ 11. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
17. |
К л я ч к о |
В. А.. Ионный обмен |
и его |
примене |
||||||||
ние, сборник статей, Изд-во АН СССР, 1959. |
|
|||||||||||
18. |
К о л о с о в |
А. |
|
А. |
и |
др., |
Полупроводниковые |
|||||
твердые |
схемы, |
йзд-во |
|
«Советское |
радио», |
1965. |
||||||
19. |
К р а с и л о в |
А. |
В., |
Т р у т к о |
А. |
Ф., |
Методы |
|||||
расчета транзисторов, изд-во «Энергия», 1964. |
|
|||||||||||
20. |
К у п р и я н о в |
И. Г1., |
Технологическая |
гигиена |
на предприятиях зарубежной электронной промышлен ности. изд-во «Созс-ское радио», 1967.
21. К у р н о с е в А. И., Ю д и н В. В., Технология
производства полупроводниковых приборов, изд-во «Судостроение», 1965.
22. Л е в и и С. Н.. Основы полупроводниковой ми кроэлектроники, перевод с англ., изд-во «Советское ра дио». 1966.
23. М а с л о в А. А., |
Электронные |
полупроводнико |
||||||||||||||
вые приборы, изд-во «Энергия», 1967. |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
24. Н а з а р е н к о |
О. |
К., И с т о м и |
и |
Е. |
И., |
Л о к |
||||||||||
ши н |
В. Е., |
Электроннолучевая |
сварка, |
изд-во |
«Маши |
|||||||||||
ностроение», |
1966. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
25. Н а н а в а т и |
|
|
Р а д ж е н д р а |
|
П., |
|
Введение |
|||||||||
в полупроводниковую |
|
электронику, |
перевод |
с |
англ., |
|||||||||||
изд-во «Связь», 1965. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
26. Н о с о в |
Ю. Р., |
Полупроводниковые импульсные |
||||||||||||||
диоды, изд-во «Советское радио», 1965. |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
27. П а р н е с Л. Г., |
Механизация |
и |
автоматизация |
|||||||||||||
изготовления |
элементов |
радиоаппаратуры, |
Госэнергоиз |
|||||||||||||
дат, |
1963. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
28. П а с ы н к о в |
|
В. |
В., |
Ч и р к и н |
Л. |
К , |
Ши 1 1- |
|||||||||
к о в |
А. Д., |
Полупроводниковые |
приборы, |
изд-во |
«Выс |
|||||||||||
шая школа», |
1966. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
29. П р е с с |
Ф. П., |
Фотолитография, |
изд-во |
«Энер |
||||||||||||
гия», |
1968. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
30. Производство |
полупроводниковых |
приборов, пе |
||||||||||||||
ревод с англ., Оборонгиз, 1962. |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
31. Р о с с о ш и и с к и й |
А. |
А., Т а б е л е в |
В. |
Д ., |
||||||||||||
Комбинированный |
способ |
микросварки |
|
давлением, |
||||||||||||
«Автоматическая сварка», 1967, № 11. |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
32. С м и р н о в |
А. |
С., |
Предпочтительные |
числа |
и |
|||||||||||
их практическое применение, Изд-во |
стандартов, 1965. |
|||||||||||||||
33. С м и т |
Р., |
Полупроводники, |
перевод |
с |
англ., |
|||||||||||
Изд-во иностр. лит., 1962. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
34. С п и р и д о н о в |
|
Н. С., |
В е р т о г р а д о в |
В. И., |
||||||||||||
Дрейфовые транзисторы, изд-во «Советское |
радио»,. |
|||||||||||||||
1964. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
35. Т и х о н о в |
Ю. |
Н., |
Технология |
изготовления |
германиевых и кремниевых диодов и триодов, изд-во
«Энергия», 1964. |
|
|
|
|
36. «Физика |
и |
химия |
обработки |
1967,. |
№ 4, стр. 25—34, 71—80. |
|
|
||
37. Х а р б е н к о |
М. Г., Ультразвук в машинострое |
|||
нии, изд-во «Машиностроение», 1966. |
|
|||
38. Ш а й в |
Дж. |
Н., |
Физические свойства |
и кон |
струкции полупроводниковых приборов, перевод с англ.,. Госэнергоиздат, 1963.
39. Ш а у м я н Г. А. и др., Автоматизация произ водственных процессов, изд-во «Высшая школа», 1967.
40. Экономическое обоснование выбора параметри ческих и размерных рядов в стандартах и нормалях.
Рекомендации РЗ-63, ВНИИНМАШ и |
ВНИИС, 1966. |
|
41. «Экспресс-информация», серия |
«Электроника»» |
|
ВИНИТИ, |
1964— 1966. |
|
42. Ю |
д и и Д. Б., Г о л ь ш т е й н |
Е. Г., Задачи и |
методы линейного программирования, изд-во «Совет ское радио», 1961.
43. 3 а х Ь и О., |
Мойегп МеИЫ з Гог М агктд Ме- |
1а1г, «Ме1а1 НшзИ», |
1963, III, р. 97. |
44.«5егшсоп(1ис1ог Ргос1ис15», 1963, 6, № 2, р. 23,25.
45.«5егтсопс1ис1ог Ргодис1&», 1965, 6, № 3, р. 38,63.
46.«ЗеписопдисЬг Ргос1ис15», 1966, 9, '№ 8, р. 23.
47.«Е1ес1готк Ие\У5», 1965, № 495, р. 400.
48.«ОрИк», 1964, № 8, р. 4. 5.
О Г Л А В Л Е Н И Е
Предисловие |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
3-2. |
Изготовление |
металлических |
деталей |
|
|
3^ |
||||||||||||
Введение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
3- |
3. Изготовление металлостеклянных узлов кор |
|
||||||||||||||
В-1. |
Развитие |
|
производства полупроводниковых |
|
|
пуса |
ч е т в е р т а я . |
|
............................................41 |
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
приборов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 Г л а в а |
|
|
Изготовление |
деталей |
|
||||||||||||
В-2. |
|
Полупроводниковые приборы. Элементы кон |
|
|
сплавного перехода и других элементов по |
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
струкций |
|
основных |
типов |
полупроводнико |
4 |
|
лупроводникового |
прибора |
|
|
|
|
|
43 |
|||||||||||||||||
|
|
вых |
диодов |
и триодов |
|
|
|
|
|
|
4-1. Общие сведения |
|
|
|
. . |
|
|
|
|
43 |
|||||||||||||
В-3. |
Типовые |
технологические схемы производ |
|
4-2. Оборудование |
для |
изготовления |
шариковых |
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
ства полупроводниковых диодов и триодов. |
|
|
электродов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
43 |
|||||||||||||||||
|
|
Назначение |
основных |
|
технологических |
опе |
8 |
4- |
3. Оборудование |
для |
получения |
электродных |
|
||||||||||||||||||||
В-4. |
раций |
|
|
|
к |
полупроводниковому оборудо |
|
выводов |
Оборудование |
для |
очистки |
и |
45. |
||||||||||||||||||||
Требования |
12 |
Г л а в а |
|
п я т а я . |
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
ванию |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
технохимической обработки деталей и кор |
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
пусов приборов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
45 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
Ч А С Т Ь |
I |
|
|
|
|
|
|
5- |
1. Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
45 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5-2. Оборудование |
для |
обезжиривания, |
травле |
|
|||||||||||||||
ОБОРУДОВАНИЕ |
ДЛЯ |
ИЗГОТОВЛЕНИЯ |
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||
|
|
ния, |
промывки и сушки |
деталей |
|
|
46 |
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
ПЛАСТИН |
И |
КРИСТАЛЛОВ |
|
|
|
5-3. Оборудование |
для |
очистки |
деталей в |
ва |
|
|||||||||||||||||||
Г л а в а |
п е р в а я . |
Оборудование |
для |
механиче |
|
|
кууме и в поле тлеющего разряда |
|
|
48 |
|||||||||||||||||||||||
|
5-4. |
Оборудование для |
нанесения электрохимиче |
|
|||||||||||||||||||||||||||||
|
|
ской обработки |
и измерения |
электрофизиче |
|
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
ских |
покрытий |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
40 |
||||||||||||||||||
|
|
ских параметров германия и кремния |
|
|
14 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
1-1. Сведения |
о |
технологии механической |
обра |
14 |
|
|
|
|
Ч А С Т Ь |
III |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
ботки |
германия |
и кремния |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
ОБОРУДОВАНИЕ |
|
ДЛЯ |
ПОЛУЧЕНИЯ |
|
|
||||||||||||||||||||
1-2. Оборудование для ориентации моиоюристал- |
14 |
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
1-3. |
|
лических слитков германия и кремния |
|
|
|
|
|
ПЕРЕХОДОВ |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
Оборудование |
для |
резки |
полупроводнико |
19 |
Г л а в а |
|
ш е с т а я . |
Оборудование |
для создания |
|
||||||||||||||||||||||
|
|
вых |
материалов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
1-4. Оборудование для шлифовки и полировки |
|
|
р-п-переходов и невыпрямляющих контактов |
55 |
|||||||||||||||||||||||||||||
|
|
пластин |
и |
кристаллов |
|
|
|
|
|
|
23 |
6-1. |
Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
55 |
||||||||||
1-5. |
Оборудование для измерения электрофизи |
|
6-2. Оборудование |
для |
получения |
сплавных |
пе |
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
ческих |
параметров |
полупроводниковых |
ма |
|
|
реходов |
|
|
. . . |
|
|
|
. . . |
|
56 |
||||||||||||||||
|
|
териалов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
25 |
6-3. |
Оборудование |
для |
получения |
диффузионных |
|
|||||||||||
1- |
|
6. Сортировка |
кристаллов |
и |
пластин |
по |
тол |
|
|
переходов |
|
|
|
|
|
|
. |
|
|
|
60 |
||||||||||||
|
|
щине . |
|
|
|
|
|
. |
|
|
|
|
|
травления, |
29 |
6-4. |
Оборудование для получения шлифов |
|
63 |
||||||||||||||
Г л а в а |
в т о р а я . |
Оборудование для |
|
6- |
5. Оборудование для эпитаксиального наращи |
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
промывки |
|
и |
сушки |
пластин |
и |
кристаллов |
|
|
вания |
|
|
. . |
|
|
|
. |
|
|
63 |
||||||||||||
2- |
|
1. Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
32 |
Г л а в а |
|
с е д ь м а я . |
Оборудование для |
очистки |
|
||||||||||||||||
2-2. |
|
Оборудование |
для |
химического |
травления |
|
|
и |
защиты переходов |
|
|
|
|
|
|
65 |
|||||||||||||||||
|
|
пластин |
и |
кристаллов |
|
|
|
|
|
|
|
33 |
7- |
1. Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
66 |
||||||||||
2- |
|
3. Оборудование |
для |
|
сушки |
пластин |
|
кри |
|
7-2. |
Оборудование |
для |
травления |
|
пром |
|
|
||||||||||||||||
|
|
сталлов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
37 |
|
переходов |
для |
|
|
. |
|
|
|
. |
по |
66 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
7-3. Оборудование |
нанесения |
защитных |
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Ч А С Т Ь |
|
II |
|
|
|
|
|
|
|
крытий на переходы |
|
|
|
|
|
. |
. |
70 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
7- |
4. |
Оборудование |
для |
сушки |
|
защитного |
слоя |
72 |
||||||||||
ОБОРУДОВАНИЕ |
ДЛЯ |
|
ИЗГОТОВЛЕНИЯ |
|
Г л а в а в о с ь м а я . |
Оборудование |
для |
получе |
|
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
ДЕТАЛЕЙ |
и |
|
у з л о в |
|
|
|
|
|
ния переходов методом планарной техноло |
73 |
|||||||||||||||||||
|
п о л у п р о в о д н и к о в ы х |
ПРИБОРОВ |
|
|
|
гии |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
8-1. Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
73 |
||||||||||||||||||||
Г л а в а |
т р е т ь я . |
Оборудование |
для |
изготовле |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
8-2. |
Оборудование для получения окисных пленок |
74 |
||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
ния |
деталей и |
узлов |
корпуса |
|
|
|
|
39 |
8-3. |
Оборудование |
для |
фотолитографии |
|
76 |
|||||||||||||||||
3- |
|
1. Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
39 |
8-4. |
Изготовление |
прецизионных |
|
фотошаблонов |
80 |
1ва
|
|
|
|
|
|
Ч А С Т Ь |
IV |
|
|
|
|
|
|
|
Г л а в а п я т н а д ц а т а я . |
|
Оборудование |
для |
|
||||||||||||||
|
|
ОБОРУДОВАНИЕ |
ДЛЯ |
|
СБОРКИ |
|
|
|
климатических |
|
испытаний |
|
|
|
|
|
137 |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
15-1. Общие сведения |
|
|
|
. |
|
|
|
|
|
137 |
||||||||||||||||||
|
|
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ |
ПРИБОРОВ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
15-2. Оборудованиедля |
термовлагоиспытаний |
|
138 |
||||||||||||||||||||||||||
Г л а в а д е в я т а я . |
Оборудование |
для |
сборки |
|
15-3. Оборудование для -испытания приборов при |
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
элементов приборов |
|
|
|
|
|
|
|
|
82 |
|
повышенном л |
пониженном |
|
давлении |
141 |
||||||||||||||||
9-1. Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
82 |
Г л а в а ш е с т н а д ц а т а я . |
Оборудование |
для |
|
||||||||||||||||||
9-2. Оборудование для |
создания |
микроклимата |
82 |
|
испытаний |
на |
надежность и |
стабильность |
141 |
||||||||||||||||||||||||
9-3. |
Оборудование |
для |
сборки |
переходов |
в |
кас |
84 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
9-4. |
сеты перед сплавлением |
|
|
|
|
электрод |
|
|
|
|
Ч А С Т Ь |
VI |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
Оборудование |
|
для |
присоединения |
|
ВСПОМОГАТЕЛЬНОЕ |
ОБОРУДОВАНИЕ |
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
ных выводов к переходу методом контактной |
86 |
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
9-5. |
микросварки |
|
для |
|
|
|
|
. . . . |
|
Г л а в а с е м н а д ц а т а я . |
Оборудование |
|
для |
|
|||||||||||||||||||
Оборудование |
|
присоединения |
электрод |
86 |
|
очистки |
сред |
и |
контроля |
их |
параметров |
146 |
|||||||||||||||||||||
|
|
ных выводов термокомпрессией |
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
для лужения |
17-1. |
Общие |
сведения |
|
|
|
|
. . . . |
|
|
|
146 |
|||||||||||||||||||
Г л а в а д е с я т а я . |
Оборудование |
92 |
17-2. |
Оборудование |
для |
централизованной |
очист |
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
и |
напайки |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ки воды |
|
. |
. |
|
|
|
|
|
|
|
|
147 |
||||||
1С-1. Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
92 |
17-3. |
Финишная |
очистка воды |
|
. . . . |
|
|
|
150 |
|||||||||||||
10-2. |
Оборудование для |
напайки |
кристалла |
|
|
92 |
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
17-4 |
Оборудование |
для |
очистки |
и |
осушки |
газов |
153 |
||||||||||||||||||||||||
10- |
|
3. Оборудование |
для |
облуживання |
выводов |
95 |
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
Г л а в а |
о д и н н а д ц а т а я . |
Оборудование |
для |
|
|
|
|
|
Ч А С Т Ь |
VII |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
герметизации |
полупроводниковых |
приборов |
98 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
11- |
|
1. Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
98 |
|
ЛИНИИ |
ДЛЯ |
ПРОИЗВОДСТВА |
|
|
|
|
|||||||||||||
11-2. Оборудование |
|
для |
холодной |
сварки |
|
|
98 |
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ д и о д о в |
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
11 -3. Оборудование для электроконтактной сварки |
100 |
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||
11- |
|
4. Оборудование |
для |
контроля |
герметичности |
|
|
|
|
|
И |
ТРИОДОВ |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
полупроводниковых |
приборов |
|
|
|
|
по |
101 |
Г л а в а в о с е м н а д ц а т а я . |
Основные понятия |
|
|||||||||||||||||||||
Г л а в а д в е н а д ц а т а я . |
Оборудование для |
104 |
|
и классификация линий. Типовые элементы |
и |
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
крытия, |
маркировки и |
упаковки |
приборов |
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
устройства, |
характеризующие |
|
линии |
|
|
|
158 |
|||||||||||||||||||||||
12- |
|
1. Общие |
сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
104 |
18-1. Общие сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
158 |
|||||||||
12-2. |
Оборудование |
|
для |
химического |
никелирова |
104 |
16-2. Межоперационная |
тара, применяемая |
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
ния . |
. . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ниях |
|
. . |
|
|
|
|
|
. |
|
|
|
160 |
|||||
12-3. Оборудование |
|
для |
окраски |
приборов |
|
|
106 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
18-3. Межоперационный |
транспорт |
|
линии |
|
|
|
161 |
|||||||||||||||||||||||
12- |
4. Маркировка |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
108 |
18-4. Управление линиями |
|
|
|
|
|
|
|
|
164 |
|||||||||
42-5. |
|
Оборудование |
|
для |
упаковки |
|
|
|
|
|
112 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
18- |
5. Построение |
линий |
|
|
|
|
|
|
|
|
164 |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Г л а в а |
д е в я т н а д ц а т а я . |
Поточные и |
|
ком |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
Ч А С Т Ь |
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
плексно-механизированные |
|
линии для |
|
изго |
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
товления диодов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
165 |
|||||||||
|
ОБОРУДОВАНИЕ |
ДЛЯ |
КОНТРОЛЯ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
19-1. Общие сведения |
|
. |
|
|
|
|
|
|
165 |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
И |
ИСПЫТАНИЯ |
|
|
|
|
|
|
19-2. Комплексно-механизированная |
|
|
|
|
|
165 |
|||||||||||||||
Г л а в а т р и н а д ц а т а я . |
Оборудование |
|
для |
|
|
сборки импульсных диодов |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
19-3. Комплексно-механизированная |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
контроля |
параметров |
|
полупроводниковых |
114 |
|
сборки диодов |
типа Д226 |
|
|
|
. |
|
|
|
167 |
|||||||||||||||||
|
приборов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
19-4. Комплексно-механизированная линия для из |
|
|||||||||||||||||
13- |
1. Общие |
сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
114 |
|
готовления диодов типа Д214, Д215 |
и |
|
||||||||||||||||
13-2. Измерители параметров |
|
|
|
|
|
|
|
115 |
|
Д231—Д234 |
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
. . |
168 |
||||||||||||
13-3. Классификационное оборудование |
|
|
|
119 |
Г л а в а д в а д ц а т а я . |
Линии для |
производства |
|
|||||||||||||||||||||||||
13- |
4. Разбраковочное |
оборудование |
|
|
|
|
127 |
|
транзисторов по планарной технологии |
|
|
|
171 |
||||||||||||||||||||
Г л а в а ч е т ы р н а д ц а т а я . |
Оборудование |
для |
133 |
Г л а в а |
д в а д ц а т ь |
п е р в а я . |
Основные |
на |
|
||||||||||||||||||||||||
|
механических испытаний |
|
|
|
|
|
|
|
|
правления механизации и автоматизации про |
|
||||||||||||||||||||||
14- |
1. Общие |
сведения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
133 |
|
изводства |
полупроводниковых |
приборов |
173 |
|||||||||||||||
14-2. |
Оборудование |
для |
создания |
ударных |
нагру |
134 |
21-1. Основные технологические задачи и принци |
|
|||||||||||||||||||||||||
|
зок |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
пы механизации и автоматизации |
|
. |
|
173 |
||||||||||||
14-3. |
Оборудование для |
создания |
вибоационных и |
134 |
21-2. Основы комплексной механизации и автома |
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
центробежных |
нагрузок |
|
|
|
|
|
|
|
|
тизации |
производства |
|
|
|
|
|
|
|
|
175 |
||||||||||||
14-4. |
Оборудование |
|
для |
регистрации |
короткого |
|
21-3. Научные |
основы методов создания средств |
|
||||||||||||||||||||||||
|
замыкания и обрывов во время механиче |
135 |
|
механизации |
и |
автоматизации |
производства |
178 |
|||||||||||||||||||||||||
|
ских |
испытаний |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Литература |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
182 |