книги / Оборудование для производства полупроводниковых диодов и триодов

Г Л А В А Д Е В Я Т А Я

ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СБОРКИ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИБОРОВ

9-1. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

вывести из строя всю систему электронных

Сборочные операции при изготовлении по­

устройств.

Участки сборки полупроводниковых прибо­

лупроводниковых приборов можно

подразде­

ров,

как правило,

оснащаются

типовым

обо­

лить на следующие виды:

1) сборка элементов

рудованием.

Базовые

элементы

сборочных

прибора в

многоячейные

кассеты;

2) сборка-

установок — столы

и

скафандры — являются

присоединение

токоотводов

к

переходу;

универсальными и используются как для

руч­

3)

сборка-монтаж перехода

с установкой

его

ных,

так и для

механизированных

операций.

ь

корпус

прибора;

4)

сборка-герметизация

В универсальных

скафандрах

могут выпол­

прибора *.

няться операции

присоединения электродных

Сборка элементов прибора в многоячейные

выводов к переходу, сборка и настройка пере­

кассеты применяется

для

повышения

произ­

ходов, герметизация приборов холодной свар­

водительности

операций,

выполняемых

груп­

кой, контрольные операции и т. д.

повым

методом,

как,

например, для

проведе­

Оборудование,

применяемое для

обеспече­

ния сплавления,

диффузионно-сплавных про­

ния

микроклимата

при

сборке

электронных

цессов, для групповой пайки

и др.

приборов, можно

разделить на

две

группы:

Операции сборка-присоединение токоотво­

дов к переходу и сборка-монтаж перехода

с

при

1) оборудование с обеспыленным воздухом

установкой

его

в корпус

прибора

являются

температуре

и влажности,

равными

или

наиболее трудоемкими технологическими опе­

близкими по величине температуре и влаж­

рациями, требующими высокой квалификации

ности

помещения,

в

котором

производится

операторов

и

высокоточных

исполнительных

изготовление

приборов.

По

конструкции

это

механизмов.

оборудование

представляет

собой монтажные

столы с открытым проемом для рук, оснащен­

ные специальными

фильтрующими

обеспыли­

9-2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СОЗДАНИЯ

вающими устройствами;

МИКРОКЛИМАТА

2)

оборудование с обеспыленной и осушен­

Большинство

сборочных процессов

прово­

ной

воздушной или газовой

средой, изолиро­

ванной от атмосферы производственного поме­

дится

в газовой

среде с заданными

парамет­

щения. По конструкции

это

оборудование —

рами,

так

как

попадание

влаги

или

частиц

полностью

герметизированные

скафандры

пыли на рабочую поверхность прибора

можег

с

перчатками,

оснащенные

специальными

* Оборудование для сборки-монтажа и сборкн-гер-

шлюзовыми устройствами, через которые по­

метизации рассматривается в гл. 10 и 11.

даются изделия и материалы.

/ — мгла- 2 — контактная площадка прибора;

3 —наконечник

для

подачи прополокн; 4 —проволока;

5 — траверса;

6 — капиллярный

наконечник; 7 — ножницы;

8 —рабочая

игла:

9—поддерживающая

игла; 10 —горелка;

// — пнлка.

ные узлы: правый 6 и левый 2 микромаиипуля-

6)

выполнение

операции

термокомпресси­

торы, механизм подачи проволоки 4, механизм

онной

сварки прижатием

вывода иглой

подачи иглы 5,

микроскоп МБС-1 (7), нагре­

к эмиттерной площадке;

вательную колонку 5, блок питания и термо­

7)

наложение вывода на траверсу;

регулятор 9.

8)

приварка вывода к торцу траверсы;

Операции выполняются в следующей по­

9)

отрезка проволоки вывода иглой;

следовательности:

10)

повторение операций 2 и 9 для токоот-

1) ручная загрузка ножки прибора в верх­

вода,

присоединяемого к базовой площадке,

нюю часть

нагревательной колонки;

и другой траверсы;

2) подача проволоки с помощью кнопки

11) съем.

управления

к месту сварки;

ипулятором на

эмиттерную площадку;

а)

б)

в)

г)

5) наводка

иглы правым манипулятором

на эмиттерную

площадку;

Рис. 9-10.

Схемы подвода тепла в зону сварки.

Производительность

установки — более

5

(/—II) и другие элементы схемы. Напряжение

сварок в 1 мин.

12 в со вторичной обмотки трансформатора

Микроманипулятор (рис. 9-12) имеет чаш­

(III—IV) через кнопку

/С«1

подается

на дви­

ку и тягу 2, верхние 6 и нижние 5

салазки,

гатель М привода подачи проволоки. Тумбле­

перемещающиеся соответственно в двух на­

ром В3 включается

нагреватель

иглы

Эи

правлениях в горизонтальной плоскости. Дви­

Конечным включателем В4 включается реле Ри

жение вверх-вниз обеспечивается

тягой

3

уменьшающее освещенность в момент начала

через рычажную

систему 4.

Усилие

нажатия

сварки. Нагреватель ножки Э2 включается

иглы в момент сварки создается регулируе­

тумблером Въ. Нагрев иглы регулируется

мым грузом. Левый и правый манипуляторы

вручную сопротивлением Ри нагрев ножки

закрепляются на стойках, установленных на

(автоматически)— прибором

ИЛ2.

основании — массивной плите.

Нажатием кнопки Кн{ оператор включает

Проволока подается через дюзу к месту

электродвигатель М привода подачи проволо­

приварки резиновыми роликами. Нижний ро­

ки. После выдвижения проволоки на опреде­

лик имеет привод от электродвигателя ДСМ.

ленную длину (4—5 мм) оператор опускает

Кнопка управления

двигателем расположе­

кнопку Кни и после настройки опускается

на на чашке привода манипулятора. При

игла. При ее соприкосновении с проволокой

сварке подогревается

как игла

(100—300°С),

замыкается

конечный

выключатель

В4 и

от­

так и ножка (200—400° С).

принципиальная

ключается реле Ри которое своими нормально­

На рис. 9-13

приведена

открытыми (НО) контактами включает реле

электрическая схема установки. При включе­

времени Р2, а нормально-закрытыми

(НЗ) —

нии

тумблера

напряжение

сети

подается

включает

лампу

подсветки

микроскопа

Л 3

на

первичную обмотку

трансформатора

Трх

вполнакала

для

сигнализации

о

начале