книги / Оборудование для производства полупроводниковых диодов и триодов
..pdf
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
транзистора на пост разгрузки. Регистры сдви |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
га построены на феррит-траизисторных ячей |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ках. Блок обработки информации в соответ |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ствии с введенной в него программой и на |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
основании |
поступившей |
в |
него |
информации |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
вырабатывает команду в механизм рассорти |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ровки 4, который направляет транзистор в тот |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
или иной приемный бункер 5. |
|
составляется |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Программа |
классификации |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
на основании технических условий и наносит |
||||||||||||
Рис. 13-8. Функциональная схема блока контроля вели |
ся на две программные карты в виде отвер |
||||||||||||||||||||||||
чины |
1— аэ. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
стий, пробитых в необходимых местах. Карты |
||||||||||||
ванно загружаются оператором в подключаю |
накладываются на программные панели СЛУ, |
||||||||||||||||||||||||
и в гнезда этих панелей, совпадающие с от |
|||||||||||||||||||||||||
щие головки 3. Последние установлены на ка |
верстиями в картах, вставляются штепселя. |
||||||||||||||||||||||||
русели 10 и совершают совместно с ней старт- |
Синхронизация работы всех измерительных |
||||||||||||||||||||||||
стопное движение, благодаря чему каждая |
блоков осуществляется через СЛУ от контак |
||||||||||||||||||||||||
подключающая |
головка |
обходит |
поочередно |
тов, замыкаемых кулачками 1, вращающимися |
|||||||||||||||||||||
все |
измерительные |
посты. |
Измерительный |
синхронно с каруселью. |
|
|
|
|
рассорти |
||||||||||||||||
пост |
состоит |
из |
пробника |
2, |
измерительного |
Для |
повышения достоверности |
||||||||||||||||||
и режимных блоков 9. |
|
|
|
|
|
|
|
ровки в классификаторе предусмотрен перио |
|||||||||||||||||
Пробники установлены над каруселью. Не |
дический автоматический самоконтроль. Для |
||||||||||||||||||||||||
посредственно к их контактам, расположенным |
проведения самоконтроля из СЛУ в измери |
||||||||||||||||||||||||
на нижней торцевой части, во время остановки |
тельные блоки через определенное количество |
||||||||||||||||||||||||
карусели подключаются выводы транзисторов. |
тактов подается сигнал, обеспечивающий под |
||||||||||||||||||||||||
В пробниках размещены входные цепи и |
ключение на вход блока эталонных напряже |
||||||||||||||||||||||||
устройства |
|
измерительных |
блоков, |
которые |
ний, которые соответствуют выходной инфор |
||||||||||||||||||||
должны быть приближены к объекту измере |
мации 1 или 0. |
Появление на |
выходе какого- |
||||||||||||||||||||||
ния для обеспечения помехоустойчивости и |
либо измерительного блока 0 вместо 1 или 1 |
||||||||||||||||||||||||
уменьшения влияния паразитных утечек и ре |
вместо 0 свидетельствует о его неисправности. |
||||||||||||||||||||||||
активностей. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Счетно-логическое устройство также подвер |
||||||||||||||
В каждом измерительном блоке происхо |
гается |
самоконтролю; |
|
проверяется |
правиль |
||||||||||||||||||||
дит сравнение величины определенного пара |
ность передачи и обработки информации. При |
||||||||||||||||||||||||
метра испытуемого транзистора с установлен |
обнаружении неисправности СЛУ или измери |
||||||||||||||||||||||||
ным заранее граничным значением этого па |
тельного блока |
классификатор |
останавливает |
||||||||||||||||||||||
раметра. Результаты сравнения в форме дво |
ся, а на световом табло указываются харак |
||||||||||||||||||||||||
ичного кода |
|
(1 — измеренная величина больше |
тер отказа |
(блок или СЛУ) |
и номер отказав |
||||||||||||||||||||
граничного |
значения, |
0 — измеренная величи |
шего блока. |
|
|
|
установлены |
электро |
|||||||||||||||||
на меньше |
граничного значения) |
передаются |
На |
классификаторе |
|||||||||||||||||||||
для запоминания в один из регистров сдвига 6 |
механические счетчики типа СЭИ-1, подсчиты |
||||||||||||||||||||||||
счетно-логического устройства (СЛУ) 8. За |
вающие количество транзисторов в каждой |
||||||||||||||||||||||||
поминание |
|
необходимо |
в |
связи |
с |
тем, |
что |
группе, |
общее |
количество |
рассортированных |
||||||||||||||
рассортировка проводится по результатам из |
транзисторов, количество транзисторов, |
имею |
|||||||||||||||||||||||
мерения всех параметров. |
|
|
посту соответст |
щих |
отрицательный |
результат |
контроля по |
||||||||||||||||||
Каждому |
измерительному |
любым |
шести |
измерительным |
постам. |
|
|||||||||||||||||||
вует свой регистр сдвига. По мере движения |
В большинстве измерительных блоков клас |
||||||||||||||||||||||||
испытуемого транзистора от одного измери |
сификатора |
используется |
компенсационный |
||||||||||||||||||||||
тельного поста к другому информация о нем |
метод измерения, благодаря чему не предъяв |
||||||||||||||||||||||||
накапливается |
в регистрах |
и одновременно |
ляется жестких требований к стабильности |
||||||||||||||||||||||
перемещается в них от входа к выходу. Дли |
коэффициента усиления и линейности усили |
||||||||||||||||||||||||
на (емкость) регистров неодинакова; она чис |
телей. Этот метод рассмотрен ниже на при |
||||||||||||||||||||||||
ленно равна номеру измерительного поста, к |
мере использования его для контроля вели |
||||||||||||||||||||||||
которому |
относится регистр |
(счет |
ведется |
от |
чины 1—ао (рис. 13-8). Испытуемый транзи |
||||||||||||||||||||
поста разгрузки, которому присваивается но |
стор |
включается |
по |
схеме |
с |
|
общей |
базой, |
|||||||||||||||||
мер 0). Такое устройство регистров сдвига |
в эмиттер подается переменный ток синусои |
||||||||||||||||||||||||
обеспечивает синхронную выдачу всей инфор |
дальной формы низкой частоты /0, амплитуда |
||||||||||||||||||||||||
мации об испытуемом транзисторе в блок об |
которого выбирается такой, чтобы не выхо |
||||||||||||||||||||||||
работки |
информации |
7 |
к |
моменту |
прихода |
дить |
за |
пределы |
линейного |
участка |
характе* |
ристики. Падение напряжения на измеритель ном сопротивлении 1#„
/Л гам = '( 1 — О о) ^'э^и-
При неизменной величине тока эмиттера это выражение можно записать в виде
Уты—'{1— (Хо) /С м ,
где /См — масштабный коэффициент.
Сопротивление резистора _/?г выбирается таким, чтобы обеспечить режим генератора то ка в цепи питания эмиттера. В этом случае при изменении входного сопротивления испы туемых транзисторов в широких пределах ток эмиттера будет меняться незначительно.
На первичную обмотку трансформатора Тр подается с одной стороны (У1ШЬ а с другой —
эталонное напряжение |
величина которого |
определяет граничное |
значение параметра. |
Фаза напряжения на вторичной обмотке транс форматора принимает два значения: 0 и 180° в зависимости от знака разности 1/тм— Уэт- Каждому значению фазы соответствуют опре
деленная полярность выходного напряжения фазового детектора и определенное состояние электронного реле (0 или 1), которое переда ется в СЛУ при опросе. Таким образом, в СЛУ передается информация в виде 0 или 1, означающая, что величина 1—ао испытуе мого транзистора меньше или больше гранич ного значения.
Требуемая величина граничного значения может устанавливаться путем изменения со противления /?эт1 в делителе, задающем С/ЭтНа оси этого переменного сопротивления уста новлен лимб со шкалой, отградуированной
ввеличинах 1—ао.
Вкачестве режимных блоков в классифи каторе используются стабилизаторы напряже
ния и тока, стабилизированные генераторы импульсного тока, генераторы низкой и высо кой частоты. В режимных блоках предусмо трена возможность регулировки выходных напряжений и токов.
Устройство транспортировки транзисторов, кинематическая схема которого приведена на рис. 13-9, работает следующим образом. Все
Рис. 13-9. Кинематическая схема универсального классификатора маломощных транзисторов.
механизмы приводятся в движение от распре делительного вала 24. Вращение на распреде лительный вал передается от электродвига теля 1 через клиноременную передачу 42 и червячный редуктор (червяк 39 и червячное колесо 23). В передаче от электродвигателя к распределительному валу установлен ряд вспомогательных элементов: предохранитель ная муфта 43, муфта свободного хода 41, до пускающая только одностороннее вращение привода, электромагнитный тормоз 40, кото рый включается при выключении электродви гателя.
На распределительном валу 24 установле ны торцевой кулачок 20, поводок мальтийского механизма 21, коническая шестерня редуктора 37 и кулачки 38.
При вращении торцевого кулачка 20 один раз за его оборот поднимается и опускается рейка 11, которая поворачивает две вал-ше стерни 10 (одну непосредственно, а другую че рез рейку 9). На вал-шестернях установлены эксцентрики 6, которые, поворачиваясь, под нимают и опускают диск 7. Когда диск опу щен, рычаги 4 занимают такое положение, при котором выводы испытуемых транзисторов, установленных в подключающие головки 12, прижаты к контактам пробников 3. При подъ еме диска 7 рычаги 4, поворачиваясь, отсоеди няют выводы транзисторов от контактов проб ников.
Рычаги 4 установлены на карусели 5, кото рая совершает старт-стопное вращательное движение. Карусель поворачивается в тот мо мент, когда диск 7 поднят. Старт-стопное дви жение карусели осуществляется при помощи мальтийского механизма, поводок 21 которого вращается вместе с распределительным валом 24 и поворачивает мальтийский крест 22. На одном валу с крестом установлена безлюфтовая шестерня 8, которая находится в зацепле нии с шестерней карусели.
Транзисторы разгружаются и рассортиро вываются на группы на специальном посту. Когда рычаг 4 приходит на этот пост и его плечо с подключающей головкой поднимается вверх, головка испытуемого транзистора вхо дит в вилку рычага разгрузки 14. К этому вре мени стакан на рычаге 31 устанавливается под лоток 13. Рычаг 14 приводится в движение от вала 25 через шестерни 19 и 18, кулачок 17, рычаг 16 и тягу 15. При повороте рычага 14 транзистор вынимается из подключающей го ловки и под действием собственного веса па дает через лоток 13 в стакан на рычаге 31. После этого рычаги 31 и 32, которые через шестерни 29 и 28, шток-рейку 27 и кулачок 26 связаны с валом 25, начинают движение и
КМ
идут -до включившегося электромагнита 30; рычаг 32 открывает дно стакана и транзистор выпадает в один из бункеров 33.
Число электромагнитов и бункеров соот ветствует количеству классификационных групп. Электромагниты включаются сигнала ми из СЛУ.
Вал 25 приводится в движение от распре делительного вала 24 через редуктор 37, шар нирные муфты 36, вал 35 и редуктор 34. Ку лачки 38 при вращении распределительного вала 24 периодически включают и выключают микропереключатели, благодаря чему форми руются электрические сигналы, которые через СЛУ используются для синхронизации работы всех устройств классификатора. В конструк ции полуавтомата предусмотрен рычаг 2 ава рийной остановки.
Основные технические данные классифика тора: производительность до 1 200 транзисто ров в час; максимальное количество измери тельных постов 30; максимальное количество групп рассортировки 14; максимальная часто та сигналов при измерении высокочастотных параметров 20 мгц.
Полуавтомат классификации маломощных транзисторов. Полуавтомат, функциональная схема которого приведена на рис. 13-10, имеет механизм транспортировки конвейерного типа, конструктивно совмещенный с измерительны ми и режимными блоками и СЛУ. Испытуемые транзисторы ориентированно загружаются в подключающие головки 12 (для загрузки от ведено четыре поста), которые установлены на цепном конвейере 3. Конвейер, совершая стартстопное движение, перемещает подключающие головки от одного измерительного поста к дру гому. Контроль параметров происходит во время остановки конвейера. Измерительные блоки И1—И17 установлены над местами остановок подключающих головок так, что к контактным шинам, прикрепленным к ниж ней части измерительных блоков, прижимают ся щетки подключающих головок. На первом измерительном посту (блок И1) контролирует ся правильность ориентации испытуемых тран зисторов; в случае неправильной ориентации происходит выгрузка в бункер Б\. На следую щих 14 измерительных постах (блоки И2— И15) осуществляется контроль параметров, причем в случае выявления брака на любом из этих постов транзистор выгружается в бун кер этого же поста (Б2—Б15). Одновременно с отбраковкой измерительные посты могут по сылать информацию о результатах контроля в счетно-логическое устройство.
На двух постах (блоки И 16 и И17) одно временно осуществляются контроль парамет-
ров и выделение |
первых классификационных |
перед первым постом загрузки, |
когда ролик |
||||
групп (бункера Б16 и Б17). Следующие восемь |
рычага наезжает на копир 13. |
|
|
||||
постов |
(бункера Б18—Б25) |
классификацион |
Блоки питания П1—П4, расположенные на |
||||
ные; здесь транзисторы направляются в один |
последних постах (бункера Б22—Б26), не име |
||||||
из бункеров в зависимости от результатов кон |
ют контактных шин, поэтому испытуемые тран |
||||||
троля на измерительных постах И2—И 17. |
зисторы к ним не подключаются. Эти блоки |
||||||
Транзистор, дошедший до |
последнего поста, |
используются в качестве режимных. |
|
||||
обязательно разгружается в бункер Б26. Сюда |
Счетно-логическое устройство состоит из |
||||||
попадает группа так называемых |
неразбрако- |
регистров сдвига 1, избирателей программы 2 |
|||||
ванных транзисторов. К ней относятся те при |
и выходных усилителей У. Количество регист |
||||||
боры, у которых значения параметров или со |
ров равно числу классификационных групп. |
||||||
четания параметров таковы, что невозможно |
Емкость (количество разрядов каждого реги |
||||||
отнести их ни к одной из классификационных |
стра) определяется количеством шагов, кото |
||||||
групп, предусмотренных техническими услови |
рое необходимо сделать подключающей голов |
||||||
ями, в том числе и к группе «брак». |
ке от первого поста до поста разгрузки |
той |
|||||
Для |
разгрузки |
транзисторов |
необходимо |
классификационной группы, к которой отно |
|||
повернуть рычаг 11, который до поступления |
сится данный регистр. |
|
|
||||
команды на разгрузку удерживался в верти |
Регистры сдвига построены на феррит-тран- |
||||||
кальном |
положении защелкой. |
Последняя |
зисторных ячейках. Регистры двухтактные; это |
||||
освобождает рычаг 11 при срабатывании |
означает, что каждый разряд состоит из двух |
||||||
электромагнита от сигналов с измерительного |
ячеек (нечетной и четной). Для сдвига инфор |
||||||
блока на отбраковочных постах (бункера Б1— |
мации на один разряд, соответствующий одно |
||||||
Б15) и от сигналов со СЛУ на классификаци |
му циклу, необходимо подать два тактовых |
||||||
онных постах (бункера Б16—Б25). На послед |
•импульса: первый на нечетные |
ячейки, |
вто |
||||
ний пост всегда подается сигнал |
разгрузки. |
рой— на четные. Эмиттеры транзисторов |
чет |
||||
Рычаг 11 возвращается в исходное положение |
ных ячеек каждого разряда подключены к об |
щему проводу питания через гнезда избирате |
штепсель в одно из гнезд А, Б, В, Г горизон |
||||||||||||||||||||
лей программы и контакты выходных реле со |
тального ряда, |
соответствующего |
регистру |
||||||||||||||||||
ответствующих измерительных |
блоков. |
данной |
классификационной |
группы. |
Выбор |
||||||||||||||||
|
Одинаковые разряды всех регистров соеди |
гнезда зависит от того, какое граничное зна |
|||||||||||||||||||
няются через гнезда одного набирателя про |
чение соответствует |
данной |
классификацион |
||||||||||||||||||
граммы с одним измерительным блоком. Та |
ной группе. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
ким образом, количество избирателей про |
Если результат контроля |
по |
какому-либо |
||||||||||||||||||
граммы равно числу измерительных блоков. |
параметру безразличен для какой-нибудь |
||||||||||||||||||||
Набиратель программы состоит из десяти го |
классификационной группы, то в гнездо О го |
||||||||||||||||||||
ризонтальных (в соответствии с числом реги |
ризонтального ряда, соответствующего регист |
||||||||||||||||||||
стров) и пяти вертикальных рядов гнезд, каж |
ру этой группы, вставляется штепсель. В этом |
||||||||||||||||||||
дое из которых состоит из двух изолированных |
случае независимо от состояния выходных кон |
||||||||||||||||||||
друг от друга контактов, нижнего и верхнего. |
тактов код 1 будет проходить. Рассортировка |
||||||||||||||||||||
В гнездо вставляется штепсель, который пере |
испытуемых транзисторов происходит следую |
||||||||||||||||||||
мыкает эти контакты. Вертикальные ряды |
щим образом: первым до выхода может дойти |
||||||||||||||||||||
гнезд обозначены буквами О, Л, Б, В, Г Ниж |
импульс 1, если он сохранился в регистре, со |
||||||||||||||||||||
ние контакты всех |
гнезд |
ряда |
О |
соединены |
ответствующем бункеру Б16 (регистр обозна |
||||||||||||||||
с общим проводом питания. Нижние контакты |
чен на |
схеме |
Б16). В этом |
случае |
импульс |
||||||||||||||||
гнезд каждого ряда А\ Б, В, Г соединены меж |
с выхода регистра через усилитель |
включает |
|||||||||||||||||||
ду собой и через четыре пары контактов изме |
электромагнит выгрузки и испытуемый транзи |
||||||||||||||||||||
рительного блока подключаются к общему |
стор разгружается в бункер Б16. Если на вы |
||||||||||||||||||||
проводу питания. Таким образом, из каждого |
ходе |
регистра |
Б16 |
импульс 1 |
отсутствует, |
||||||||||||||||
блока может быть выведена информация, соот |
испытуемый транзистор переместится на сле |
||||||||||||||||||||
ветствующая четырем |
граничным |
значениям |
дующий пост и станет возможной |
разгрузка |
|||||||||||||||||
параметра. Верхние |
контакты гнезд |
каждого |
в бункер Б17 «при наличии |
1 на выходе регист |
|||||||||||||||||
горизонтального ряда соединены между собой |
ра Б17. |
Разгрузка |
в последующие |
бункеры |
|||||||||||||||||
и подключены к эмиттеру транзистора четной |
происходит |
аналогично. |
Такая |
|
программа |
||||||||||||||||
ячейки соответствующего регистра. |
|
|
классификации называется «программой с при |
||||||||||||||||||
Обмотки записи первых ячеек регистров со |
оритетом. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
единены с шиной второго тактового импульса, |
На |
|
классификаторе установлены |
электро |
|||||||||||||||||
благодаря чему в эти ячейки в каждом цикле |
|
||||||||||||||||||||
механические счетчики типа СЭИ-1, подсчиты |
|||||||||||||||||||||
поступает импульс. Будем считать, что наличию |
|||||||||||||||||||||
вающие число транзисторов — рассортирован |
|||||||||||||||||||||
импульса соответствует код 1, отсутствию — 0. |
|||||||||||||||||||||
ных, |
забракованных |
или |
годных, |
«в |
каждой |
||||||||||||||||
Тогда можно сказать, что в первые ячейки всех |
|||||||||||||||||||||
группе, забракованных по каждому «параметру. |
|||||||||||||||||||||
регистров записывается |
вторым |
тактовым им |
|||||||||||||||||||
Большая часть измерительных блоков, при |
|||||||||||||||||||||
пульсом |
1. Код продвинется во вторую ячейку |
||||||||||||||||||||
меняемых в полуавтомате, построена «по прин |
|||||||||||||||||||||
первым |
тактовым |
импульсом, |
если |
контакт |
|||||||||||||||||
ципу |
усиления |
сигнала, |
пропорционального |
||||||||||||||||||
в измерительном блоке И1 не отключил эмит |
|||||||||||||||||||||
контролируемому параметру. На выходе таких |
|||||||||||||||||||||
тер |
(здесь имеется в виду, что блок И1 исполь |
||||||||||||||||||||
блоков установлены стрелочные приборы типа |
|||||||||||||||||||||
зуется для контроля какого-либо |
параметра, |
||||||||||||||||||||
М24, шкала которых отградуирована в едини |
|||||||||||||||||||||
а не для |
проверки |
ориентации). Код |
1 будет |
||||||||||||||||||
цах измеряемого параметра. |
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
двигаться от входа к выходу регистра до тех |
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
пор, пока из какого-нибудь измерительного |
Механизм |
транспортировки |
транзисторов |
||||||||||||||||||
блока не поступит запрещающий сигнал (раз |
работает следующим образом: старт-«стопное |
||||||||||||||||||||
мыкание выходных контактов). |
|
|
|
движение цепного конвейера 3 осуществляет |
|||||||||||||||||
Такой сигнал означает, что величина пара |
ся от приводной звездочки 10, которая вместе |
||||||||||||||||||||
метра испытуемого транзистора больше (мень |
с улитой 9 образует червячно-цевочную пару. |
||||||||||||||||||||
ше) граничного значения, установленного для |
Улита сидит на одном валу 5 с колесом чер |
||||||||||||||||||||
классификационной |
группы, которой |
соответ |
вячного редуктора б, червяк которого через ре |
||||||||||||||||||
ствует данный регистр, и транзистор не может |
менную передачу 8 связан с валом электро |
||||||||||||||||||||
быть направлен в эту группу. Код 1 дойдет до |
двигателя 7. Для синхронизации работы СЛУ |
||||||||||||||||||||
выхода регистра, если ни один измерительный |
и измерительных блоков используются контак |
||||||||||||||||||||
блок не выдаст в регистр запрещающий сиг |
ты, включаемые кулачками 4. |
|
показан |
на |
|||||||||||||||||
нал. Для того чтобы результат контроля како |
Внешний |
вид полуавтомата |
|||||||||||||||||||
го-либо параметра «влиял на выбор определен |
рис. 13-11. Полуавтомат |
имеет |
отсек 1 |
для |
|||||||||||||||||
ной |
классификационной |
группы, |
необходимо |
СЛУ, блоки питания 2, измерительные блоки |
|||||||||||||||||
в набирателе «программы, относящемся к бло |
3, счетчики СЭИ-1 4, подключающие головки |
||||||||||||||||||||
ку, |
измеряющему |
этот |
параметр, |
вставить |
5, бункера 6. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
эти |
же |
импульсы |
по |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
ступают на вход 3-раз- |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
рядного двоичного счет |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
чика |
|
Сч5, |
который |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
управляет |
дешифрато |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
ром Дш. |
|
|
|
выра |
|
|
|
|
|
|
|
||||
Дешифратор |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
батывает |
семь синхро |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
импульсов 1—7, назна |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
чение которых следую |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
щее: |
|
|
. подключение зон |
|
|
|
|
|
|
||||||
1) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
дов |
через |
коммутатор |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
Км2 к |
измерительному |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
блоку ИБ1; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
2) подключение зон |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
дов |
к |
измерительному |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
блоку ИБ2\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
3) |
подключение зон |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
дов |
к |
измерительному |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
блоку ИБЗ\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
4) |
подключение зон |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
дов |
к блоку |
проверки |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
контактов |
|
БПК, |
|
на |
Рис. 13-15. Функциональная схема установки для |
контроля параметров транзистор |
|||||||||
растающий |
фронт это |
ных структур |
на пластине. |
|
|
|
|
||||||||
го импульса |
перебра |
положение, соответст |
|
|
|
|
|||||||||
сывает |
триггер ТЗ |
в |
««1ПШШШШШ1ШШШШПЛПШШПЛЛ |
||||||||||||
вующее |
|
обесточенному |
состоянию |
электро |
|||||||||||
магнита Эм1; происходит подъем зондов; |
ЛугиА. |
- |
- |
-- |
|||||||||||
5) команда на срабатывание электромагни |
|||||||||||||||
та маркировочной головки Эм2 через вентиль |
тч\_ |
|
|
|
|||||||||||
Вн5, |
если хотя бы один из |
измерительных |
|
|
— 1_п_ги* |
||||||||||
блоков выдаст сигнал брака через собиратель |
|
|
|||||||||||||
ную схему Сб4\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
6) и 7) проводится самоконтроль правиль |
|
|
|
|
|||||||||||
ности работы |
измерительных |
блоков, нара |
|
|
|
|
|||||||||
стающий фронт импульса 7 через собиратель |
|
|
|
|
|||||||||||
ную схему СбЗ перебрасывает триггер Т4 в по |
|
|
|
|
|||||||||||
ложение, запрещающее |
прохождение |
импуль |
|
|
|
|
|||||||||
сов через вентиль Вн4, |
чем |
обеспечивается |
|
|
|
|
|||||||||
выработка |
только |
семи |
синхроимпульсов. |
|
|
|
|
||||||||
Нарастающий фронт синхроимпульса 7 пе |
|
|
|
|
|||||||||||
ребрасывает также триггер Т2, который от |
|
|
|
|
|||||||||||
крывает вентили Вн1 и Вн2. |
Через |
вентиль |
|
|
|
|
|||||||||
Вн2 питание подключается к шаговому двига |
&Т- |
|
|
|
|||||||||||
телю ШД1. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Импульсы с выхода вентиля Вн1 поступают: |
Эн5 |
|
|
|
|||||||||||
а) |
через коммутатор Км1 на один из вхо |
|
|
|
|||||||||||
дов блока управления шаговыми двигателями |
ив; |
|
|
|
|||||||||||
БУ, который вырабатывает на каждый вход |
гг' |
|
|
|
|||||||||||
ной импульс шесть мощных, сдвинутых во вре |
|
|
|
||||||||||||
мени |
импульсов |
питания обмоток шагового |
Вн1 |
|
|
|
|||||||||
двигателя ШД1; происходит перемещение по |
06~ |
|
|
|
|||||||||||
оси У; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
б) на вход трехразрядного двоично-деся |
|
|
|
|
|||||||||||
тичного счетчика Сч1—СчЗ. |
|
|
Рис. 13-16. Временная диаграмма работы установки для |
||||||||||||
Вентиль Вн1 будет открыт до тех пор, пока |
|||||||||||||||
контроля параметров |
транзисторных |
структур |
на пла |
||||||||||||
трехразрядный |
счетчик .не переполнится. При |
стине. |
|
|
|
переполнении одновибратор Ов выдаст им пульс, который:
а) перебросит триггер Т2 в положение, за прещающее прохождение импульсов через Вн1\ шаговый двигатель ШД1 остановится;
б) запишет в трехразрядный счетчик об ратным кодом число, набранное десятичными избирателями Н61—НбЗ\
в) через схему задержки Сз запишет еди ницу в младший разряд трехразрядного счет чика, что образует в этом счетчике дополни тельный код находящегося в нем числа;
г) через собирательную схему С62 перебро сит триггеры ТЗ и Т4, в результате чего зонды опустятся и начнется выработка синхроим пульсов, т. е. цикл измерения параметров но вой транзисторной структуры.
Таким образом, количество импульсов, проходящих через вентиль Вн1, равно числу, установленному избирателями Н61—НбЗ. Один импульссоответствует повороту вала шагового двигателя на один угловой шаг и по ступательному перемещению каретки на один линейный шаг (в установке этот шаг равен 10 мкм). Набиратели градуируются в микро нах: Н61 в десятках, Н62 в сотнях, НбЗ в ты сячах микрон, и требуемый шаг по пластине (расстояние между соседними транзисторными структурами) задается установкой избирате лей в определенное положение. Например, для установки шага 0,75 мм необходимо избира тель Н61 установить в положение — 5, Н62 в положение — 7, НбЗ в положение — 0.
Для перемещения каретки по оси X нажи мается кнопка «Пуск X». Триггер 77 перебра сывается в положение, разрешающее прохож дение импульсов через вентиль Вн1 и откры вающее вентиль ВнЗ, через который подается питание на шаговый двигатель ШД2.
Для предотвращения случайного опуска ния зондов на пластину во время перемещения предметного столика, что может привести к поломке зондов или порче пластины, преду смотрена блокировка. Она осуществляется следующим образом: когда один из триггеров (Г/ или Т2) находится в положении, откры вающем вентиль Вн1, на триггер ТЗ через ин вертор НЕ и диод Д подается уровень, удер живающий его в положении, соответствую щем отключению электромагнита Эм1, т. е. поднятым зондам.
Вентили Вн2 и ВнЗ необходимы для того, чтобы подавать на шаговые двигатели напря жение только на время движения, так как по дача напряжения на невращающийся двига тель приводит к перегреву его обмоток.
Измерительные блоки и блок проверки контактов подключаются к зондам поочеред
но на время действия первых четырех синхро импульсов. Непосредственно измерение осуще ствляется во второй половине синхроимпуль са, что обеспечивается подачей в измеритель ные блоки синхронизирующей серии СО. Сдвиг -измерения дает -возможность исключить влияние на -результат измерения переходных процессов в момент подключения зондов к блокам. Блок проверки контактов ВПК прове ряет наличие электрического соединения меж ду зондами и выводами транзисторной струк туры и отсутствие короткого замыкания меж ду зондами. Проверка проводится в два так та:
1) база и эмиттер транзисторной структу ры соединены; -на коллекторе должно быть на пряжение питания, так как транзистор заперт; 2) в базу -подается ток, обеспечивающий насыщение; на коллекторе должно быть оста
точное напряжение.
Если эти условия не выполняются хотя бьг в одном такте, блок проверки вырабатывает импульс, который через собирательную схему СбЗ перебрасывает триггер Т4 в положение, запрещающее прохождение импульсов через: вентиль Вн4, т. е. прекращается выработка синхроимпульсов. Вырабатывается световой сигнал «Нет контакта». При этом не произой дет маркировки и перемещения каретки, так ка-к не будет синхроимпульсов 5—7. Если на пластине будет отсутствовать транзисторная структура или в ней произойдет короткое за мыкание, оператор, убедившись в правильно сти размещения зондов, подает команду на маркировку и перемещает каретку на один шаг. Для ввода команд оператором в установ ке (внутри скафандра) имеется пульт управ ления.
Самоконтроль правильности работы изме рительных блоков проводится во время син хроимпульсов 6 и 7 подключением на входы измерительных блоков вместо транзисторной структуры сопротивлений или напряжений, со здающих сигналы, эквивалентные отклонени ям измеряемого параметра на ± 10% от за данной величины. Измерительные блоки в со ответствии с заданными отклонениями должны вырабатывать сигнал «годен» и «брак». В слу чае неисправности любого измерительногоблока вырабатывается световой и звуковой сигналы и измерения автоматически прекра щаются.
В описываемой установке контролируются параметры /1<0, /:,о и |Зо, но возможен контроль других параметров, измеряемых на постоян ном токе или низкой частоте, для чего необ ходимо установить соответствующие измери тельные блоки.