Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Оборудование для производства полупроводниковых диодов и триодов

..pdf
Скачиваний:
3
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
13.07 Mб
Скачать

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

транзистора на пост разгрузки. Регистры сдви­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

га построены на феррит-траизисторных ячей­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ках. Блок обработки информации в соответ­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ствии с введенной в него программой и на

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

основании

поступившей

в

него

информации

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

вырабатывает команду в механизм рассорти­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ровки 4, который направляет транзистор в тот

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

или иной приемный бункер 5.

 

составляется

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Программа

классификации

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

на основании технических условий и наносит­

Рис. 13-8. Функциональная схема блока контроля вели­

ся на две программные карты в виде отвер­

чины

1— аэ.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

стий, пробитых в необходимых местах. Карты

ванно загружаются оператором в подключаю­

накладываются на программные панели СЛУ,

и в гнезда этих панелей, совпадающие с от­

щие головки 3. Последние установлены на ка­

верстиями в картах, вставляются штепселя.

русели 10 и совершают совместно с ней старт-

Синхронизация работы всех измерительных

стопное движение, благодаря чему каждая

блоков осуществляется через СЛУ от контак­

подключающая

головка

обходит

поочередно

тов, замыкаемых кулачками 1, вращающимися

все

измерительные

посты.

Измерительный

синхронно с каруселью.

 

 

 

 

рассорти­

пост

состоит

из

пробника

2,

измерительного

Для

повышения достоверности

и режимных блоков 9.

 

 

 

 

 

 

 

ровки в классификаторе предусмотрен перио­

Пробники установлены над каруселью. Не­

дический автоматический самоконтроль. Для

посредственно к их контактам, расположенным

проведения самоконтроля из СЛУ в измери­

на нижней торцевой части, во время остановки

тельные блоки через определенное количество

карусели подключаются выводы транзисторов.

тактов подается сигнал, обеспечивающий под­

В пробниках размещены входные цепи и

ключение на вход блока эталонных напряже­

устройства

 

измерительных

блоков,

которые

ний, которые соответствуют выходной инфор­

должны быть приближены к объекту измере­

мации 1 или 0.

Появление на

выходе какого-

ния для обеспечения помехоустойчивости и

либо измерительного блока 0 вместо 1 или 1

уменьшения влияния паразитных утечек и ре­

вместо 0 свидетельствует о его неисправности.

активностей.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Счетно-логическое устройство также подвер­

В каждом измерительном блоке происхо­

гается

самоконтролю;

 

проверяется

правиль­

дит сравнение величины определенного пара­

ность передачи и обработки информации. При

метра испытуемого транзистора с установлен­

обнаружении неисправности СЛУ или измери­

ным заранее граничным значением этого па­

тельного блока

классификатор

останавливает­

раметра. Результаты сравнения в форме дво­

ся, а на световом табло указываются харак­

ичного кода

 

(1 — измеренная величина больше

тер отказа

(блок или СЛУ)

и номер отказав­

граничного

значения,

0 — измеренная величи­

шего блока.

 

 

 

установлены

электро­

на меньше

граничного значения)

передаются

На

классификаторе

для запоминания в один из регистров сдвига 6

механические счетчики типа СЭИ-1, подсчиты­

счетно-логического устройства (СЛУ) 8. За­

вающие количество транзисторов в каждой

поминание

 

необходимо

в

связи

с

тем,

что

группе,

общее

количество

рассортированных

рассортировка проводится по результатам из­

транзисторов, количество транзисторов,

имею­

мерения всех параметров.

 

 

посту соответст­

щих

отрицательный

результат

контроля по

Каждому

измерительному

любым

шести

измерительным

постам.

 

вует свой регистр сдвига. По мере движения

В большинстве измерительных блоков клас­

испытуемого транзистора от одного измери­

сификатора

используется

компенсационный

тельного поста к другому информация о нем

метод измерения, благодаря чему не предъяв­

накапливается

в регистрах

и одновременно

ляется жестких требований к стабильности

перемещается в них от входа к выходу. Дли­

коэффициента усиления и линейности усили­

на (емкость) регистров неодинакова; она чис­

телей. Этот метод рассмотрен ниже на при­

ленно равна номеру измерительного поста, к

мере использования его для контроля вели­

которому

относится регистр

(счет

ведется

от

чины 1—ао (рис. 13-8). Испытуемый транзи­

поста разгрузки, которому присваивается но­

стор

включается

по

схеме

с

 

общей

базой,

мер 0). Такое устройство регистров сдвига

в эмиттер подается переменный ток синусои­

обеспечивает синхронную выдачу всей инфор­

дальной формы низкой частоты /0, амплитуда

мации об испытуемом транзисторе в блок об­

которого выбирается такой, чтобы не выхо­

работки

информации

7

к

моменту

прихода

дить

за

пределы

линейного

участка

характе*

ристики. Падение напряжения на измеритель­ ном сопротивлении 1#„

/Л гам = '( 1 — О о) ^'э^и-

При неизменной величине тока эмиттера это выражение можно записать в виде

Уты—'{1— (Хо) /С м ,

где /См — масштабный коэффициент.

Сопротивление резистора _/?г выбирается таким, чтобы обеспечить режим генератора то­ ка в цепи питания эмиттера. В этом случае при изменении входного сопротивления испы­ туемых транзисторов в широких пределах ток эмиттера будет меняться незначительно.

На первичную обмотку трансформатора Тр подается с одной стороны (У1ШЬ а с другой —

эталонное напряжение

величина которого

определяет граничное

значение параметра.

Фаза напряжения на вторичной обмотке транс­ форматора принимает два значения: 0 и 180° в зависимости от знака разности 1/тм— Уэт- Каждому значению фазы соответствуют опре­

деленная полярность выходного напряжения фазового детектора и определенное состояние электронного реле (0 или 1), которое переда­ ется в СЛУ при опросе. Таким образом, в СЛУ передается информация в виде 0 или 1, означающая, что величина 1—ао испытуе­ мого транзистора меньше или больше гранич­ ного значения.

Требуемая величина граничного значения может устанавливаться путем изменения со­ противления /?эт1 в делителе, задающем С/ЭтНа оси этого переменного сопротивления уста­ новлен лимб со шкалой, отградуированной

ввеличинах 1—ао.

Вкачестве режимных блоков в классифи­ каторе используются стабилизаторы напряже­

ния и тока, стабилизированные генераторы импульсного тока, генераторы низкой и высо­ кой частоты. В режимных блоках предусмо­ трена возможность регулировки выходных напряжений и токов.

Устройство транспортировки транзисторов, кинематическая схема которого приведена на рис. 13-9, работает следующим образом. Все

Рис. 13-9. Кинематическая схема универсального классификатора маломощных транзисторов.

механизмы приводятся в движение от распре­ делительного вала 24. Вращение на распреде­ лительный вал передается от электродвига­ теля 1 через клиноременную передачу 42 и червячный редуктор (червяк 39 и червячное колесо 23). В передаче от электродвигателя к распределительному валу установлен ряд вспомогательных элементов: предохранитель­ ная муфта 43, муфта свободного хода 41, до­ пускающая только одностороннее вращение привода, электромагнитный тормоз 40, кото­ рый включается при выключении электродви­ гателя.

На распределительном валу 24 установле­ ны торцевой кулачок 20, поводок мальтийского механизма 21, коническая шестерня редуктора 37 и кулачки 38.

При вращении торцевого кулачка 20 один раз за его оборот поднимается и опускается рейка 11, которая поворачивает две вал-ше­ стерни 10 (одну непосредственно, а другую че­ рез рейку 9). На вал-шестернях установлены эксцентрики 6, которые, поворачиваясь, под­ нимают и опускают диск 7. Когда диск опу­ щен, рычаги 4 занимают такое положение, при котором выводы испытуемых транзисторов, установленных в подключающие головки 12, прижаты к контактам пробников 3. При подъ­ еме диска 7 рычаги 4, поворачиваясь, отсоеди­ няют выводы транзисторов от контактов проб­ ников.

Рычаги 4 установлены на карусели 5, кото­ рая совершает старт-стопное вращательное движение. Карусель поворачивается в тот мо­ мент, когда диск 7 поднят. Старт-стопное дви­ жение карусели осуществляется при помощи мальтийского механизма, поводок 21 которого вращается вместе с распределительным валом 24 и поворачивает мальтийский крест 22. На одном валу с крестом установлена безлюфтовая шестерня 8, которая находится в зацепле­ нии с шестерней карусели.

Транзисторы разгружаются и рассортиро­ вываются на группы на специальном посту. Когда рычаг 4 приходит на этот пост и его плечо с подключающей головкой поднимается вверх, головка испытуемого транзистора вхо­ дит в вилку рычага разгрузки 14. К этому вре­ мени стакан на рычаге 31 устанавливается под лоток 13. Рычаг 14 приводится в движение от вала 25 через шестерни 19 и 18, кулачок 17, рычаг 16 и тягу 15. При повороте рычага 14 транзистор вынимается из подключающей го­ ловки и под действием собственного веса па­ дает через лоток 13 в стакан на рычаге 31. После этого рычаги 31 и 32, которые через шестерни 29 и 28, шток-рейку 27 и кулачок 26 связаны с валом 25, начинают движение и

КМ

идут -до включившегося электромагнита 30; рычаг 32 открывает дно стакана и транзистор выпадает в один из бункеров 33.

Число электромагнитов и бункеров соот­ ветствует количеству классификационных групп. Электромагниты включаются сигнала­ ми из СЛУ.

Вал 25 приводится в движение от распре­ делительного вала 24 через редуктор 37, шар­ нирные муфты 36, вал 35 и редуктор 34. Ку­ лачки 38 при вращении распределительного вала 24 периодически включают и выключают микропереключатели, благодаря чему форми­ руются электрические сигналы, которые через СЛУ используются для синхронизации работы всех устройств классификатора. В конструк­ ции полуавтомата предусмотрен рычаг 2 ава­ рийной остановки.

Основные технические данные классифика­ тора: производительность до 1 200 транзисто­ ров в час; максимальное количество измери­ тельных постов 30; максимальное количество групп рассортировки 14; максимальная часто­ та сигналов при измерении высокочастотных параметров 20 мгц.

Полуавтомат классификации маломощных транзисторов. Полуавтомат, функциональная схема которого приведена на рис. 13-10, имеет механизм транспортировки конвейерного типа, конструктивно совмещенный с измерительны­ ми и режимными блоками и СЛУ. Испытуемые транзисторы ориентированно загружаются в подключающие головки 12 (для загрузки от­ ведено четыре поста), которые установлены на цепном конвейере 3. Конвейер, совершая стартстопное движение, перемещает подключающие головки от одного измерительного поста к дру­ гому. Контроль параметров происходит во время остановки конвейера. Измерительные блоки И1И17 установлены над местами остановок подключающих головок так, что к контактным шинам, прикрепленным к ниж­ ней части измерительных блоков, прижимают­ ся щетки подключающих головок. На первом измерительном посту (блок И1) контролирует­ ся правильность ориентации испытуемых тран­ зисторов; в случае неправильной ориентации происходит выгрузка в бункер Б\. На следую­ щих 14 измерительных постах (блоки И2И15) осуществляется контроль параметров, причем в случае выявления брака на любом из этих постов транзистор выгружается в бун­ кер этого же поста (Б2Б15). Одновременно с отбраковкой измерительные посты могут по­ сылать информацию о результатах контроля в счетно-логическое устройство.

На двух постах (блоки И 16 и И17) одно­ временно осуществляются контроль парамет-

ров и выделение

первых классификационных

перед первым постом загрузки,

когда ролик

групп (бункера Б16 и Б17). Следующие восемь

рычага наезжает на копир 13.

 

 

постов

(бункера Б18—Б25)

классификацион­

Блоки питания П1П4, расположенные на

ные; здесь транзисторы направляются в один

последних постах (бункера Б22Б26), не име­

из бункеров в зависимости от результатов кон­

ют контактных шин, поэтому испытуемые тран­

троля на измерительных постах И2И 17.

зисторы к ним не подключаются. Эти блоки

Транзистор, дошедший до

последнего поста,

используются в качестве режимных.

 

обязательно разгружается в бункер Б26. Сюда

Счетно-логическое устройство состоит из

попадает группа так называемых

неразбрако-

регистров сдвига 1, избирателей программы 2

ванных транзисторов. К ней относятся те при­

и выходных усилителей У. Количество регист­

боры, у которых значения параметров или со­

ров равно числу классификационных групп.

четания параметров таковы, что невозможно

Емкость (количество разрядов каждого реги­

отнести их ни к одной из классификационных

стра) определяется количеством шагов, кото­

групп, предусмотренных техническими услови­

рое необходимо сделать подключающей голов­

ями, в том числе и к группе «брак».

ке от первого поста до поста разгрузки

той

Для

разгрузки

транзисторов

необходимо

классификационной группы, к которой отно­

повернуть рычаг 11, который до поступления

сится данный регистр.

 

 

команды на разгрузку удерживался в верти­

Регистры сдвига построены на феррит-тран-

кальном

положении защелкой.

Последняя

зисторных ячейках. Регистры двухтактные; это

освобождает рычаг 11 при срабатывании

означает, что каждый разряд состоит из двух

электромагнита от сигналов с измерительного

ячеек (нечетной и четной). Для сдвига инфор­

блока на отбраковочных постах (бункера Б1

мации на один разряд, соответствующий одно­

Б15) и от сигналов со СЛУ на классификаци­

му циклу, необходимо подать два тактовых

онных постах (бункера Б16—Б25). На послед­

•импульса: первый на нечетные

ячейки,

вто­

ний пост всегда подается сигнал

разгрузки.

рой— на четные. Эмиттеры транзисторов

чет­

Рычаг 11 возвращается в исходное положение

ных ячеек каждого разряда подключены к об­

щему проводу питания через гнезда избирате­

штепсель в одно из гнезд А, Б, В, Г горизон­

лей программы и контакты выходных реле со­

тального ряда,

соответствующего

регистру

ответствующих измерительных

блоков.

данной

классификационной

группы.

Выбор

 

Одинаковые разряды всех регистров соеди­

гнезда зависит от того, какое граничное зна­

няются через гнезда одного набирателя про­

чение соответствует

данной

классификацион­

граммы с одним измерительным блоком. Та­

ной группе.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ким образом, количество избирателей про­

Если результат контроля

по

какому-либо

граммы равно числу измерительных блоков.

параметру безразличен для какой-нибудь

Набиратель программы состоит из десяти го­

классификационной группы, то в гнездо О го­

ризонтальных (в соответствии с числом реги­

ризонтального ряда, соответствующего регист­

стров) и пяти вертикальных рядов гнезд, каж­

ру этой группы, вставляется штепсель. В этом

дое из которых состоит из двух изолированных

случае независимо от состояния выходных кон­

друг от друга контактов, нижнего и верхнего.

тактов код 1 будет проходить. Рассортировка

В гнездо вставляется штепсель, который пере­

испытуемых транзисторов происходит следую­

мыкает эти контакты. Вертикальные ряды

щим образом: первым до выхода может дойти

гнезд обозначены буквами О, Л, Б, В, Г Ниж­

импульс 1, если он сохранился в регистре, со­

ние контакты всех

гнезд

ряда

О

соединены

ответствующем бункеру Б16 (регистр обозна­

с общим проводом питания. Нижние контакты

чен на

схеме

Б16). В этом

случае

импульс

гнезд каждого ряда А\ Б, В, Г соединены меж­

с выхода регистра через усилитель

включает

ду собой и через четыре пары контактов изме­

электромагнит выгрузки и испытуемый транзи­

рительного блока подключаются к общему

стор разгружается в бункер Б16. Если на вы­

проводу питания. Таким образом, из каждого

ходе

регистра

Б16

импульс 1

отсутствует,

блока может быть выведена информация, соот­

испытуемый транзистор переместится на сле­

ветствующая четырем

граничным

значениям

дующий пост и станет возможной

разгрузка

параметра. Верхние

контакты гнезд

каждого

в бункер Б17 «при наличии

1 на выходе регист­

горизонтального ряда соединены между собой

ра Б17.

Разгрузка

в последующие

бункеры

и подключены к эмиттеру транзистора четной

происходит

аналогично.

Такая

 

программа

ячейки соответствующего регистра.

 

 

классификации называется «программой с при­

Обмотки записи первых ячеек регистров со­

оритетом.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

единены с шиной второго тактового импульса,

На

 

классификаторе установлены

электро­

благодаря чему в эти ячейки в каждом цикле

 

механические счетчики типа СЭИ-1, подсчиты­

поступает импульс. Будем считать, что наличию

вающие число транзисторов — рассортирован­

импульса соответствует код 1, отсутствию — 0.

ных,

забракованных

или

годных,

«в

каждой

Тогда можно сказать, что в первые ячейки всех

группе, забракованных по каждому «параметру.

регистров записывается

вторым

тактовым им­

Большая часть измерительных блоков, при­

пульсом

1. Код продвинется во вторую ячейку

меняемых в полуавтомате, построена «по прин­

первым

тактовым

импульсом,

если

контакт

ципу

усиления

сигнала,

пропорционального

в измерительном блоке И1 не отключил эмит­

контролируемому параметру. На выходе таких

тер

(здесь имеется в виду, что блок И1 исполь­

блоков установлены стрелочные приборы типа

зуется для контроля какого-либо

параметра,

М24, шкала которых отградуирована в едини­

а не для

проверки

ориентации). Код

1 будет

цах измеряемого параметра.

 

 

 

 

 

двигаться от входа к выходу регистра до тех

 

 

 

 

 

пор, пока из какого-нибудь измерительного

Механизм

транспортировки

транзисторов

блока не поступит запрещающий сигнал (раз­

работает следующим образом: старт-«стопное

мыкание выходных контактов).

 

 

 

движение цепного конвейера 3 осуществляет­

Такой сигнал означает, что величина пара­

ся от приводной звездочки 10, которая вместе

метра испытуемого транзистора больше (мень­

с улитой 9 образует червячно-цевочную пару.

ше) граничного значения, установленного для

Улита сидит на одном валу 5 с колесом чер­

классификационной

группы, которой

соответ­

вячного редуктора б, червяк которого через ре­

ствует данный регистр, и транзистор не может

менную передачу 8 связан с валом электро­

быть направлен в эту группу. Код 1 дойдет до

двигателя 7. Для синхронизации работы СЛУ

выхода регистра, если ни один измерительный

и измерительных блоков используются контак­

блок не выдаст в регистр запрещающий сиг­

ты, включаемые кулачками 4.

 

показан

на

нал. Для того чтобы результат контроля како­

Внешний

вид полуавтомата

го-либо параметра «влиял на выбор определен­

рис. 13-11. Полуавтомат

имеет

отсек 1

для

ной

классификационной

группы,

необходимо

СЛУ, блоки питания 2, измерительные блоки

в набирателе «программы, относящемся к бло­

3, счетчики СЭИ-1 4, подключающие головки

ку,

измеряющему

этот

параметр,

вставить

5, бункера 6.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

эти

же

импульсы

по­

 

 

 

 

 

 

 

ступают на вход 3-раз-

 

 

 

 

 

 

 

рядного двоичного счет­

 

 

 

 

 

 

 

чика

 

Сч5,

который

 

 

 

 

 

 

 

управляет

дешифрато­

 

 

 

 

 

 

 

ром Дш.

 

 

 

выра­

 

 

 

 

 

 

 

Дешифратор

 

 

 

 

 

 

 

батывает

семь синхро­

 

 

 

 

 

 

 

импульсов 1—7, назна­

 

 

 

 

 

 

 

чение которых следую­

 

 

 

 

 

 

 

щее:

 

 

. подключение зон­

 

 

 

 

 

 

1)

 

 

 

 

 

 

 

 

дов

через

коммутатор

 

 

 

 

 

 

 

Км2 к

измерительному

 

 

 

 

 

 

 

блоку ИБ1;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2) подключение зон­

 

 

 

 

 

 

 

дов

к

измерительному

 

 

 

 

 

 

 

блоку ИБ2\

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3)

подключение зон­

 

 

 

 

 

 

 

дов

к

измерительному

 

 

 

 

 

 

 

блоку ИБЗ\

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4)

подключение зон­

 

 

 

 

 

 

 

дов

к блоку

проверки

 

 

 

 

 

 

 

контактов

 

БПК,

 

на­

Рис. 13-15. Функциональная схема установки для

контроля параметров транзистор­

растающий

фронт это­

ных структур

на пластине.

 

 

 

 

го импульса

перебра­

положение, соответст­

 

 

 

 

сывает

триггер ТЗ

в

««1ПШШШШШ1ШШШШПЛПШШПЛЛ

вующее

 

обесточенному

состоянию

электро­

магнита Эм1; происходит подъем зондов;

ЛугиА.

-

-

--

5) команда на срабатывание электромагни­

та маркировочной головки Эм2 через вентиль

тч\_

 

 

 

Вн5,

если хотя бы один из

измерительных

 

 

1_п_ги*

блоков выдаст сигнал брака через собиратель­

 

 

ную схему Сб4\

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6) и 7) проводится самоконтроль правиль­

 

 

 

 

ности работы

измерительных

блоков, нара­

 

 

 

 

стающий фронт импульса 7 через собиратель­

 

 

 

 

ную схему СбЗ перебрасывает триггер Т4 в по­

 

 

 

 

ложение, запрещающее

прохождение

импуль­

 

 

 

 

сов через вентиль Вн4,

чем

обеспечивается

 

 

 

 

выработка

только

семи

синхроимпульсов.

 

 

 

 

Нарастающий фронт синхроимпульса 7 пе­

 

 

 

 

ребрасывает также триггер Т2, который от­

 

 

 

 

крывает вентили Вн1 и Вн2.

Через

вентиль

 

 

 

 

Вн2 питание подключается к шаговому двига­

&Т-

 

 

 

телю ШД1.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Импульсы с выхода вентиля Вн1 поступают:

Эн5

 

 

 

а)

через коммутатор Км1 на один из вхо­

 

 

 

дов блока управления шаговыми двигателями

ив;

 

 

 

БУ, который вырабатывает на каждый вход­

гг'

 

 

 

ной импульс шесть мощных, сдвинутых во вре­

 

 

 

мени

импульсов

питания обмоток шагового

Вн1

 

 

 

двигателя ШД1; происходит перемещение по

06~

 

 

 

оси У;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

б) на вход трехразрядного двоично-деся­

 

 

 

 

тичного счетчика Сч1СчЗ.

 

 

Рис. 13-16. Временная диаграмма работы установки для

Вентиль Вн1 будет открыт до тех пор, пока

контроля параметров

транзисторных

структур

на пла­

трехразрядный

счетчик .не переполнится. При

стине.

 

 

 

переполнении одновибратор Ов выдаст им­ пульс, который:

а) перебросит триггер Т2 в положение, за­ прещающее прохождение импульсов через Вн1\ шаговый двигатель ШД1 остановится;

б) запишет в трехразрядный счетчик об­ ратным кодом число, набранное десятичными избирателями Н61НбЗ\

в) через схему задержки Сз запишет еди­ ницу в младший разряд трехразрядного счет­ чика, что образует в этом счетчике дополни­ тельный код находящегося в нем числа;

г) через собирательную схему С62 перебро­ сит триггеры ТЗ и Т4, в результате чего зонды опустятся и начнется выработка синхроим­ пульсов, т. е. цикл измерения параметров но­ вой транзисторной структуры.

Таким образом, количество импульсов, проходящих через вентиль Вн1, равно числу, установленному избирателями Н61НбЗ. Один импульссоответствует повороту вала шагового двигателя на один угловой шаг и по­ ступательному перемещению каретки на один линейный шаг (в установке этот шаг равен 10 мкм). Набиратели градуируются в микро­ нах: Н61 в десятках, Н62 в сотнях, НбЗ в ты­ сячах микрон, и требуемый шаг по пластине (расстояние между соседними транзисторными структурами) задается установкой избирате­ лей в определенное положение. Например, для установки шага 0,75 мм необходимо избира­ тель Н61 установить в положение — 5, Н62 в положение — 7, НбЗ в положение — 0.

Для перемещения каретки по оси X нажи­ мается кнопка «Пуск X». Триггер 77 перебра­ сывается в положение, разрешающее прохож­ дение импульсов через вентиль Вн1 и откры­ вающее вентиль ВнЗ, через который подается питание на шаговый двигатель ШД2.

Для предотвращения случайного опуска­ ния зондов на пластину во время перемещения предметного столика, что может привести к поломке зондов или порче пластины, преду­ смотрена блокировка. Она осуществляется следующим образом: когда один из триггеров (Г/ или Т2) находится в положении, откры­ вающем вентиль Вн1, на триггер ТЗ через ин­ вертор НЕ и диод Д подается уровень, удер­ живающий его в положении, соответствую­ щем отключению электромагнита Эм1, т. е. поднятым зондам.

Вентили Вн2 и ВнЗ необходимы для того, чтобы подавать на шаговые двигатели напря­ жение только на время движения, так как по­ дача напряжения на невращающийся двига­ тель приводит к перегреву его обмоток.

Измерительные блоки и блок проверки контактов подключаются к зондам поочеред­

но на время действия первых четырех синхро­ импульсов. Непосредственно измерение осуще­ ствляется во второй половине синхроимпуль­ са, что обеспечивается подачей в измеритель­ ные блоки синхронизирующей серии СО. Сдвиг -измерения дает -возможность исключить влияние на -результат измерения переходных процессов в момент подключения зондов к блокам. Блок проверки контактов ВПК прове­ ряет наличие электрического соединения меж­ ду зондами и выводами транзисторной струк­ туры и отсутствие короткого замыкания меж­ ду зондами. Проверка проводится в два так­ та:

1) база и эмиттер транзисторной структу­ ры соединены; -на коллекторе должно быть на­ пряжение питания, так как транзистор заперт; 2) в базу -подается ток, обеспечивающий насыщение; на коллекторе должно быть оста­

точное напряжение.

Если эти условия не выполняются хотя бьг в одном такте, блок проверки вырабатывает импульс, который через собирательную схему СбЗ перебрасывает триггер Т4 в положение, запрещающее прохождение импульсов через: вентиль Вн4, т. е. прекращается выработка синхроимпульсов. Вырабатывается световой сигнал «Нет контакта». При этом не произой­ дет маркировки и перемещения каретки, так ка-к не будет синхроимпульсов 5—7. Если на пластине будет отсутствовать транзисторная структура или в ней произойдет короткое за­ мыкание, оператор, убедившись в правильно­ сти размещения зондов, подает команду на маркировку и перемещает каретку на один шаг. Для ввода команд оператором в установ­ ке (внутри скафандра) имеется пульт управ­ ления.

Самоконтроль правильности работы изме­ рительных блоков проводится во время син­ хроимпульсов 6 и 7 подключением на входы измерительных блоков вместо транзисторной структуры сопротивлений или напряжений, со­ здающих сигналы, эквивалентные отклонени­ ям измеряемого параметра на ± 10% от за­ данной величины. Измерительные блоки в со­ ответствии с заданными отклонениями должны вырабатывать сигнал «годен» и «брак». В слу­ чае неисправности любого измерительногоблока вырабатывается световой и звуковой сигналы и измерения автоматически прекра­ щаются.

В описываемой установке контролируются параметры /1<0, /:,о и |Зо, но возможен контроль других параметров, измеряемых на постоян­ ном токе или низкой частоте, для чего необ­ ходимо установить соответствующие измери­ тельные блоки.