Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Электронно-лучевая сварка и смежные технологии

..pdf
Скачиваний:
12
Добавлен:
20.11.2023
Размер:
12.91 Mб
Скачать

обеспечивать сканирование электронного пучка по задан­ ной траектории.

Э лектронны й прожектор является высокоточным узлом и требует тщательной сборки и эксплуатации [39]. Оптималь­ ные межэлектродные рассто­

яния для

получения м акси ­

 

м ал ьны х

зап асом 20% )

 

токов электронного пучка в

 

сварочных пушках типа ЭЛА

 

(60 кВ -6 0

кВт) приведены в

 

табл. 9, а в сварочных пушках

 

типа У Л 119 —

на рис. 22 и в

 

табл. 10.

 

изолирования

 

С истем а

 

предназначена для обеспече­

 

ния надежной работы электрон­

 

ного прожектора, катодный узел

 

которого находится под высо­

 

ким потенциалом, и абсолютной

 

безопасности для обслуживаю­

 

щего персонала. Эта система

Рис. 21. Гэометрия электронного

включает высоковольтный кера­

прожектора сварочной пушки ПЛ100

мический или стеклянный изоля­

(класса 60 кВ -6 0 кВт, термокатод с

тор (рис. 23), являющийся одно­

косвенным подогревом), разработанная

временно несущим элементом

в И Э С им. Е. О. Патона: 1 катод; 2

прикатодный электрод; 3 анод; 1=7 м м

для катодного узла, вспомога­

для dK = 4,2 мм; 1= 7,8 м м для dH= 5 ,2 мм

тельный изолятор между высо­

 

ковольтным изолятором и ме­ таллическим корпусом электронной пушки, герметичный узел

масляной изоляции высоковольтного ввода питания электронного про­ жектора.

Система охлаждения служит для отвода теплоты, выделяющейся:

в катодном блоке при подогреве катода;

на аноде и лучепроводе из-за оседания части электрон­

ного потока; ■ на нижнем фланце электронной пушки из-за воздействия

излучения и паров из сварочной ванны.

В качестве охладителя обычно используют воду.

для электронно-лучевой сварки

51

Таблица 11. Характеристики основных классов электронных пушек

Класс

Ускоряющее

Максимальная

Основное назначение

 

напряжение, кВ

мощность

 

 

 

электронного

 

 

 

пучка, кВт

 

Низковольтный

20 -35

0,5 -1 5

Сварка в высоком вакууме;

 

 

 

прецизионная микросварка.

 

 

 

Сварка металлов толщиной

 

 

 

1 -30 мм

Средневольтный

50 -70

0,5 -6 0

Сварка в высоком вакууме и

 

 

 

форвакууме; прецизионная

 

 

 

микросварка. Сварка металлов

 

 

 

толщиной 0,1 -1 0 0 мм

Высоковольтный

100 -150

1,5-120

Сварка в высоком вакууме,

 

 

 

форвакууме и вне вакуума;

 

 

 

прецизионная микросварка.

 

 

 

Сварка металлов толщиной

 

 

 

0 ,1 -200 мм; вневакуумная

сварка металлов толщиной 1 -15 мм

Таблица 12. Технические характеристики малогабаритных свароч­ ных электронных пушек, разработанных в ИЭС им. Е. О. Патона

Параметр

 

Тип пушки

 

 

П Л -6 0

П Л -61

П Л -6 2

Ускоряющее

60

35

30

напряжение, кВ

 

 

 

Максимальная

15

3,5

3,0

мощность, кВт

 

 

 

Диапазон рабочих

10-120

10-120

10 -70

расстояний от пушки до

 

 

 

поверхности

 

 

 

свариваемого изделия,

 

 

 

мм

 

 

 

Размеры, мм:

 

 

 

длина

490

535

150

максимальный

98

72

76

поперечный размер

 

 

 

Масса, кг

8

5,5

2,5

52

Оборудование

Конструктивно катодный узел электронной пушки с системой изолирования составляют катодный блок, а анодный узел, системы фокусировки и отклонения — анодный блок. Эти блоки охлажда­ ются отдельно и являются разъемными элементами электронной пушки. При этом обеспечен доступ к катодному узлу электронной пушки для замены быстроизнашивающихся частей: катода и подо­ гревателя.

Термокатод сварочной электронной пушки работает в небла­ гоприятных условиях: пары из сварочной ванны постепенно отрав­ ляют его, а положительные ионы пара еще и ускоряются в элект­ ронном прожекторе и бомбардируют поверхность катода. Поэтому в сочетании с частой разгерметизацией сварочной камеры повер­ хность катода постепенно разрушается, падает его эмиссия и на­

рушается геометрия электрон­

 

 

 

 

н о го

п у чка .

С р о к

служ бы

 

 

 

А

катодов в зависимости от ре­

 

 

.2

ж им а их эксплуатации состав­

 

 

ляет 3-100 ч. Срок службы по­

 

 

 

,3

догревателя — в несколько

 

 

 

раз больше. Термокатоды сва­

 

1 1

 

А

рочных пушек изготавливают

 

 

 

^ 5

обычно из вольфрама, лантан-

 

 

 

 

борида (LaB6) и тантала, а по­

1

 

 

,.6

догреватели — из вольфрамо­

 

p

' i

 

 

вой или танталовой проволоки,

 

У

 

ш

либо танталовой ленты.

V ' '

'

 

 

Д ля

повы ш ения

с р о ка

 

 

 

L_

службы катодного узла иногда

 

 

 

в конструкцию сварочной пуш­

 

 

 

7

ки вводят вакуумный клапан

 

 

 

 

для герметичного отделения

 

 

 

 

внутренней полости катодного

 

 

 

 

блока от вакуумной

камеры

 

 

 

 

при

разгерметизации после­

 

 

 

 

дней и узел дифференциаль­

Рис. 22. Гэометр!1я электронного

 

ной откачки для подключения

прожектора сварочной пушки У Л -1 19

вакуумного насоса (рис. 24).

(30 к В —

15 кВт): 1 подогреватель;

Характеристики основных

2 — катодная вту.лка; 3 — гайка держателя

классов сварочных электрон­

катода; 4 — дерн(атель катода; 5 катод;

ных

п у ш е к

приведены в

6 — упрааляющий электрод (электрод

табл. 11.

Наиболее

ш ироко

Венельта); 7 — а/юд

 

 

 

 

 

 

для электронно-лучевой сварки

53

Таблица 13. Характеристики некоторых термокатодов для электронных пушек

Параметр

 

Катоды из LaB6:

 

W -ка то д

 

монокристал-

поликристал- с плазменным

 

 

лические

лические

покрытием

 

Рабочая температура,

1820

1820

1820

2800

К

 

 

 

 

Плотность тока

20

10

7

1

электронного пучка,

 

 

 

 

А/см2

 

 

 

 

Яркость, А/(см2-ср)

2 -Ю 6

5- 10s

5 -104

1 -104

Скорость испарения,

Э Ю '9

5-10-9

1,5-10-9

3-1 о-7

кг/(м 2-с)

 

 

 

 

Скорость разрушения

 

 

 

 

граней ионами А г ,

 

 

 

 

кг/(м 2 с):

 

 

 

 

<100>

5,35-10-9

1,4-10-*

1,4-10-*

0,7-10-«

<110>

8,30-10'®

 

 

 

<111>

8,50-10-9

 

 

 

Предельные размеры

Н=100-200,

Н = 2 -5 ,

Н = 1 -2 ,

Без

катодов, мм

D =0,3 -8

0 = 2 -1 2 0

D =10—150

ограничений

Примечание. Н — высота; D — диаметр.

Как известно, силу максимального тока электронного пучка определяет конструкция электроннооптической системы, и она до­ стигается в диодном режиме трехэлектродной сварочной пушки в области ограничения тока пространственным зарядом электронов. Насыщение тока электронного пучка достигается при мощности подогрева катода (рис. 26): 75 Вт — для поликристаллического ка ­ тода; 30 Вт — для монокристаллического катода.

Следовательно, эмиссионные свойства монокристаллических катодов лучше, чем у поликристаллических катодов, так ка к огра­ ничение силы тока пространственным зарядом электронов для м о­ нокристаллических катодов наступает при более низких темпера­ турах (рис. 27). Если ж е мощность подогрева для этих катодов равна, то температура эмиттирующей поверхности монокристал­ лического катода больше на 50-100 °С, чем для поликристалли­ ческого катода. Это объясняют более высокой теплопроводнос­ тью монокристалла.

56

Оборудование

Используя высокие эмис­

 

сионные свойства монокрис-

 

таллического катода, можно

 

увеличить запас по силе тока

 

электронного пучка и умень­

 

шить м ощ ность подогрева.

 

Это ведет к увеличению сро­

 

ка службы катода.

 

Просгранственныехаракгери-

 

стики электронного пучка изу­

 

чались с помощью резки тон­

 

ких стальных пластин. Угол

 

между пластиной и осью пуч­

 

ка составлял 35 -4 0 0. Диаметр

 

и угол сходимости электронно­

 

го пучка определяли по шири­

 

не резов на пластинах (рис. 28).

 

Видно, что угол сходимости

 

электронного пучка зависит от

 

тока электронного пучка. Угол

 

сходимости имеет экстремум

 

при силе тока электронного

 

пучка / = 150 мА: максимум —

Рис. 25. Устройство защиты электронной

для монокристаллического ка­

пушки от паров при сварке:

тода, минимум — для поли-

1 сварочная пушка; 2 изолятор;

кристаллического катода.

3 — диффузор; 4 сгусток

Диаметр электронного пуч­

низкотемпературной плазмы;

ка для монокристаллического

5 сварочная ванна; 6 электронный

пучок; 7 — элементы парогазового

катода меньше, чем для поли-

потока; 8 внутренний лучепровод

кристаллического катода. При

(коническая насадка)

одинаковых условиях полное

 

проплавление нержавеющей стали толщиной 20 мм достигается при /„^ = 1 1 0 мА для'монокри­

сталлического катода и при 1п(р)=120 мА для поликристаллического катода. Разность 1п(р~1п(т} увеличивается с увеличением глубины проплавления.

Испытания катодов при сварке показали, что срок службы моно­ кристаллического катода больше в 2 -4 раза, чем срок службы поликристаллического катода.

Эмитгирующая поверхность монокристаллического катода пос­ ле испытаний на долговечность имеет микроструктуру с минимальной

для электронно-лучевой сварки

57

шероховатостью и однород­ ный химический состав. На­ блюдаются единичные ямки травления квадратной формы в местах выхода дислокаций на поверхность катода, а так­ же группы ямок травления, ко­ торые расположены в линию вдоль границы субзерен. Плот­ ность дислокаций в монокри­ сталлах зависит от условий ро­ ста и м ож ет изм еняться в 100-1000 раз. Поэтому срок службы монокристаллических катодов при ионной бомбарди­ ровке во время электронно­ лучевой сварки зависит от со­ вершенства микроструктуры монокристаллов. Наилучшая микроструктура формируется в кристаллографическом направ­ лении <100>.

В поликристаллических ка ­ тодах после электронно-луче­ вой сварки имеется структурная неоднородность эмиттирующей поверхности. Увеличение шеро­ ховатости является следствием селективного разрушения гра­ ниц зерен и появлением пор вследствие ионной бомбарди­ ровки. Кроме того, возможны хлопьевидные выделения лег­ кой фазы. Очевидно, причиной таких выделений является из­ менение химического состава поликристаллического катода во время нагрева.

Нерегулярность эмиттиру­ ющей поверхности поликрис­ таллического катода ведет

58

Оборудование

к неоднородному распределению тока эмиссии. Соответственно электронный пучок имеет больший диаметр и во время сварки так­ ж е больший встречный ионный поток. Принимая во внимание пуль­ сации напряжения в электронной пушке, ясно, что имеет место нестабильная нерегулярность эмиттирующей поверхности. Это ве­ дет к однородному износу поликристаллического катода.

Монокристаллический катод имеет регулярную эмиттирующую поверхность. Встречный ионный поток фокусируется в пучок диа­ метром не более 0,3 мм. Узкое отверстие в катоде формируется

м едленно, но оставш аяся

 

 

 

 

часть катода обеспечивает не­

 

 

 

 

обходимые пространственные

 

 

 

 

и энергетические характеристи­

 

_____ V

,

 

ки электронного пучка.

 

 

 

2

Ч

 

Использование монокрис-

 

 

таллических лантанборидных

 

 

 

 

катодов в сварочных элект­

 

 

1300

1500 1700

ронных пушках позволяет:

 

 

и™, в

 

увеличить на 20-30% за­

0,04

 

 

 

 

 

 

пас силы тока электрон­

0,03

 

 

 

ного пучка;

 

 

 

ум е н ьш и ть д иам етр

е о,о2

 

 

 

электронного пучка;

0,01

 

 

 

увеличить на 15-20%

 

 

 

 

 

глубину проплавления

 

 

1300

1500

 

при сварке;

 

 

 

 

 

Ц », в

 

увеличить в 2 -4 раза

250

 

 

 

 

 

 

срок службы катода;

\

 

 

200

 

 

уменьшить нагрев де­

 

}

 

- 1-

 

талей электронной пуш­

р 150

ЧА N.

 

 

ки от подогревателя ка­

100

 

 

■ и*.

 

тода.

50

 

 

Отравление и восстанов­

 

 

 

- в

900 1100 1300 1500

17001900

ление эмиссии лантанбо-

 

 

 

 

ридного катода

Рис. 28. Зависимость глубины

Гексаборид лантана, как

проплавления h, угла сходимости а я

известно, сочетает высокую

электронного пучка и тока электронного

хим ическую устойчивость с

пучка 1П от напряжения Uynp

низкой работой выхода элек­

на управляющем электроде сварочной

пушки: 1 монокристаллический катод,

тронов. Существуют две точки

2 — поликристаллический катод

зрения на механизм термо-

для электронно-лучевой сварки

59

электронной эмиссии лантанборидного катода. Согласно одной из них, он представляет собой пленочный эмиттер с покрытием из сво­ бодного лантана. В такой модели работа выхода зависит от степе­ ни покрытия поверхности, т. е. от концентрации избыточных ато­ мов лантана, определяемой соотношением скоростей диффузии, испарения и химического связывания их активными газами. От­ равление пленочного катода может объясняться также адсорбци­ ей электроотрицательных газов поверх лантановой пленки.

Более убедительной представляется гипотеза о твердотельном характере эмиссии гексаборида лантана, по которой величина ра ­ боты выхода непосредственно связана со структурой эн е р ­ гетических уровней этого соединения. В этом случае нарушения кристаллической решетки, вызванные химическим взаимодействи­ ем гексаборида с остаточными газами, приведут к уменьшению эмиссии.

Исследования отравления лантанборидного катода показали, что кислородсодержащие газы и азот уменьшают эмиссию, если их парциальное давление превышает некоторую критическую ве­ личину, зависящую от температуры катода. Значения отравляю­ щего давления, полученные экстраполяцией экспериментальных данных, приведены в табл. 14. Результаты разных авторов удов­ летворительно согласуются между собой, единственное расхож ­ дение относится к воздействию водорода. По экспериментальным данным водород при температуре 1200-1400 °С практически не влияет на эмиссию вплоть до давлений примерно 10"2 Торр.

Однако в работе Букингема [89] показано, что напуск водорода при давлении 10-6 Торр в систему с накаленным катодом (1235 °С) приводит к уменьшению силы тока эмиссии в 2 -3 раза. Одновре­ менно в остаточной атмосфере появляются компоненты с м ассо­ выми числами 28-70. Это объясняется образованием газообраз­ ных гидридов бора и захватом свободны х атом ов лантана возникающими в кристаллической решетке вакансиями бора.

Из данных табл. 15 видно, что в остаточной атмосфере, состоя­ щей из кислородсодержащих газов, азота и водорода при давле­ нии меньше 10"4 Торр, отравление лантанборидного катода с тем ­ пературой 1400 °С и выше невозможно. Однако в ряде случаев падение и даже полную потерю эмиссии наблюдают и при высо­ кой температуре в хорошем вакууме (1400-1500 “ С ^ - г - Ю " 6 Торр). Как правило, это имеет место в вакуумных системах с резиновыми уплотнениями. Для изучения причин этого явления были выполне­ ны специальные исследования [1].

60

Оборудование