книги из ГПНТБ / Локальные методы анализа материалов

Определим

поправку

на флуоресценцию для никеля:

со<# = 0,365;

/•<*> =

8,25;

Q=0,5. 10,365 8 '

2 5 ~ 1

•

195

•

X

8,25

11,5

X ' " Э 0 / " ' 5

242-4,2 =

0,5.0,365-0,88.0,30-0,745 X

In 30/8,3

х0,72.242-4,2 = 26,2.

cNi

*

~cosec0

V

и

ln(H-o)

I

,

T pt

„

1 '

)

T Pt

0,25

159

0,123

3,98

9,6

0,40

0,25

0,65

0,5

177 '

0,074

2,77

8,6

0,48

0,26

0,74

0,75

213

0,031

1,60

7,15

0,60

0,29

0,89

V = [3,3.10"~6 . 30U G 2 ( 1 -

T P 1

] ~ ' = [ 6 , 5 5 - Ю - ' т ^ ] - 1 .

СПИСОК

ЛИТЕРАТУРЫ

1. Ш м е л е в

В. К-

Рентгеновское

аппараты.

Госэиергоиздат,

1949.

2.

Д м о х о в

с к н и

В. В.,

Р у д е р м а н

А. I I . Рентгенографи­

ческий справочник. Физматгиз, 1949.

3.

Г о д в и н

Р. Усп. физ. наук, 1970, т. 101, №3—4, с. 463, 697.

6. R u s s J. C. Special Technical

Publication

American Society

for Testing and Materials, 1971, № 485, p. 154.

7. Б о р о в с к и й

И. Б . Физические основы

рентгеноспектраль-

ных исследований. Изд-во МГУ, 1956.

8. Б л о х и н М. А. Физика

рентгеновских лучей.

Гостехтеорет--

издат, 1957.

9. "W і 11 г у D. В. V I International Congress

on X-ray

Optics and

Microanalysis, Osaka,

1972, p. 62.

10. L a b е г г і q u e - F r о 1 о w J.,

R a d v a n y i

R. J.

Phys. Ra­

dium, 1956, v. 17, p. 944.

11. H a g e d o o r n

H . R,

W a p s t a A. H .

Nucl.

Phys., 1960,

13.

G r e e n

M . Thesis Cambridge, 1962.

F i n k R.

W.,

T o p -

so n R. C. Rev. Mod. Phys., 1966. v. 38, p. 513.

14.

B e t h e

H . A. Ann. Physik, 1930, v. 5,

p. 325.

15.

W о r h і

n g t о n C. R., T o m l i n S.

G.

Proc.

Phys.

Soc,

1956, v. 69, p. 401.

16.

В e t h e H. A., A s h і k і п T. Exper. Nucl.

Physics, 1953, v. 1,

p. 252.

17.

W h i d d i n g l o n

R.

Proc.

Roy.

Soc,

1914,

v.

89,

p.

554.

18.

D e k k e r

A.

Solid

State

Phys.,

1958, v. 6, p. 251.

19.

С o s s l e 11

V. E.,

T h o m a s

R.

N. Proceeding

Symposium

on

X-ray Optics

and

X-ray

Microanalysis, Washington,

1964,

.1966,

p.

248.

20.

S p e n c e r

L. V.,

Fa

no

U.

Phys. Rev.,

1954,

v. 93,

p.

1172.

21.

G r e e n

M., C o s s l e t t

V.

E.

Proc. Phys. Soc,

1961,

v.

78,

23.

G r e e n

M.,

C o s s l e t t

V. E. Brit.

Jonr.

App.

Phys.,

1968,

v. I , p. 425.

24.

L e r a u x

J.

Adv. X-ray Analysis, 1963,

v.

5,

p.

156.

25.

1-І e i n r i c h

K. F. J. Proceeding Symposium

on

X-ray

Optics

and X-ray Microanalysis, Washington, 1968,

p.

268.

26.

H e і n r і с h

К. F. J. Proceeding Symposium

on

X-ray

Optics

and X-ray Microanalysis, Washington, 1966, p. 296.

27.

S t a i n e r

И. M . Bur. Mines. Inform. Circ,

1963,

№

81,

p.

66.

28.

K e l l y

Т.

K. Trans. Inst. Min. Met.,

1966,

v. 75,

p.

59.

29.

T h e i s e n

R. a. o. Microchem. Acta

Supp.,

1967,

v. 1,

p.

16.

30.

T h e і s e n

R., V o l l a t h

D. Tabellen

Massenschwachungkoef,

Dusseldorf, 1967.

31.

M e l r a r y

J.

N. a. o. Phys. Rev.,

1967,

v.

153, p.

307.

32.

IT e n к e B. L. Adven

X-ray Anal.,

1964,

v.

7,

p.

486.

33.

H e n k e

B. L., E l g i n

R. L. Adven

X-ray

Anal., 1970,

c.

13,

p. 639.

34.

G r a y

L. T„

W e r t '

C.

A. Adven

X-ray

Anal.,

1969,

v.

12.

37.

F i s h e r

R.

D. Spec. Public.

1963, №

349,

p.

81.

38.

IV International

Conferenc. Electron

Microscopy,

1958.

39.

Д е р - Ш в а р ц

Г.

Д.,

Г а й д у к о в

И.

С.

Радиотехника

и электроника,

1969, №

11, с. 2079.

40.

С а л т ы к о в

С. А. Стереометрическая

металлография.

Ме-

таллургиздат,

1958.

41.

C a s t a i n g

R.

Rev.

de

Metallur.,

1953,

v. 50,

p. 624.

42.

Б о р о в с к и й

И. В., И л ь и н

Н.

П.

ДАН

СССР,

1956,

т. 106,

№ 4, с.

655.

43.

P o o l

J.

В.

I l l

Europ.

Reg.

Conf.

Eledronmicrosc,

1964,

p. 439.

44.

F о n 11 і n

L. А. а. о. V

International

Congress on

X-ray

Op­

tics and

Microanalysis, Tubingen, 1969, p. 261.

45

К о en і g

D.

R.

Annual

Report

Stanford

University,

1966.

46.

В г о e r s A. N. J. Appl. Phys., 1967, v. 38, p.

1991.

47.

C r e w e

A. V. Quoterly

Rev. Biophys. 1970,

v. 3, p. 137.

^ ^ 4 8 .

Г л а з е р

В. Основы электронной оптики.

Гостехтеоретиздат,

49.

Б и р к е

Л.

Рентгеновский микроанализ

с

помощью элект­

ронного зонда. Металлургиздат,

1966.

50.

Д и ц м а н

С. А. Труды

ИМЕТ АН СССР,

вып. 15. Изд-во

АН СССР, 1963, с. 24.

15а*

2 31

53.

L о n g J. V. Phys. Meth.

Determinat. Mineralogy, L., 1967,

p. 215.

54.

Л e ii з e г а н т Э. Электронная микроскопия.

Изд-во «Мир»,

1969.

55.

С л у ц к а я

В. В. Тонкие

пленки в технике

СВЧ. Изд-во

1967.

56.

В а п с е А. Е., A l b e c А. Е. I I Nat. Conf. X-ray Microanal.,

1967. Boston, p. 32.

57.

В о r m a n n

P. Zs. Phys., 1941, v. 4, p. 157; 1950, v. 127, p. 297.

60.

B r o m m a n

J. I . , Y a t e s

G.

Phil.

Mag., 1968, v. 17, p.

195.

61.

Б о р о в с к и й И. Б., М а т ы

с к и н

В. И. ДАН СССР,

1970,

т. 192, с. 63.

62.

Б о р о в с к и ft И. Б., М а т ы с к п и

В. I I . В сб. «Аппаратура

и методы рентгеновского

анализа»,

вып. 9. Изд-во

«Машинострое­

ние», 1971, с. 201.

63.

D o l b y R. М. J. Sc. Instrum.,

1963, v. 40, p. 345.

64.

С a s t а і n g

R.,

Pishoir

I V International

Congress

on

X-ray Optics and X-ray Microanalysis, Paris, 1966,

p. 454.

67. В о р о в с к и

й И. Б., К о з л е

н к о в А. И. В сб. «Аппаратура

и методы рентгеновского

анализа»,

вып. 12. Изд-во

«Машинострое­

ние», 1972, с. 21.

68.

Сб. «Аппаратура

и методы

рентгеновского анализа», вып. 10.

Изд-во «Машиностроение», 1971.

69.

F г а п k е 1 R. S.,

A i t k i n

D. W. Appl. Spectrosc,

1970, v. 24,

p. 557.

70.

D o l b y

R. M . Proc. Phys. Soc,

1959, v. 73,

p. 81.

71.

В i r e s L. S.,

В a 11 A. Anal. Chem., 1963, p. 35.

72.

С M и p и о в

В. H., В а с и ч е в Б. I I . В

сб. «Аппаратура и

методы

рентгеновского

анализа», вып. 2. Изд-во

«Машиностроение»,

1967, с. 44.

73.

Б о р о в с к

и й

И. Б., Б л о х и и

М. А.

Рентгеноспектраль­

ний анализ. ГОНТИ, 1939.

74.

Л о с е в

H. Ф.

Флуоресцентный

рентгеиоспектральнын

ана­

лиз. Изд-во «Наука», 1968.

75.

B e t h e

H . А.,

а. о. Proc. Am. Phil. Soc,

1938, v. 78, p. 573.

76.

S p e n c e r

L. V. Phys. Rev.,

1955, v. 98, p. 1597.

77.

S h i m i z u

T. a.o. Japan

J

App. Phys.,

1970, v. 9 p. 1429.

78.

L e w i s

H. W. Phys. Rev.,

1950. v. 70, p. 526.

79.

V i g n e s A.,

G e z

G. Brit. J. App. Phys.

(J. Phys. D) , Ser. 2,

1968, v. 1, № 10, p. 1309.

80.

G r e e n

M . Proc. Phys. Soc,

1963, v. 82,

p. 204.

81.

B i s h o p

H. E. Proc Phys. Soc,

1965, v. 85.

p. 855.

82.

E r e n b e r g

Т. E,.

Francs

T. Proc. Phys. Soc,

1953,

v. 66,

p. 1057.

83.

E r e n b e r g

Т. E.,

K i n g

D. E.

N. Proc. Phys. Soc,

1963,

85.

K u l e n k a m p f

1-І.,

R u t

t i g e r

К.

Zs. Phys.,

1958,

v. 152,

p. 249.

86.

3 и г б а н

К.

н

др.

Электронная

спектроскопия.

Изд-во

«Мир», 1971.

87.

L e n a r d

P.,

Ann. d. Phys., 1903. v.

12, p. 714.

88.

H e i n r i c h K. F. J. Anal. Chemistry

D. NBS, № 250, 1963.

89.

D u n c u m b

P.,

Sheilds,

Proc.

Symp. Elestron

Microprobe,

N.—Y.,

1966, p. 284.

90.

D u p о и у

G. a. o. Compbe

Rend. Al . Sc. Frauses. 1963, v. 200,

92.

B l a n c h a r d

C,

F a n о

U . Phys.

Rev.,

1951, v. 82,

p.

767.

93.

N e l m s

A. T.

Circul. NBS, № 577, 1956. .

94.

S p r i n g e r

G.

Neue

Jahrbuch

Mineral.

Monatsh,

1967,

№ 9/10, p. 304.

95.

В l o c h

F.,

Zs. Physik,

1931, v. 81, p. 363.

96.

B e r g e r

M . I . , S e l t z e r

S. M . N. Ac. Sc. Nat. Res. Conn.

Publ., Washington,

1964, v. 1133, p. 205.

97. T h o m p s o n

T. J. Thesis

Univ. California. № 119,

1952.

98. W e b s t e r

D. L.,

C l a r k H.,

H a n s e n

W. W. Phys.

Rev.,

1931, v. 37, p. 115.

99.

B r a n d

Т. O. Ann. Phys.,

1931, v. 26, p. 380.

100.

K u l e n k a m p f

H.,

S p u r a

W.

Zs.

Phys.,

1954,

v.

137,

p. 416.

101.

B i s h o p

H . E.,

Brit. J.

Appl. Phys.

(ser.

2),

1968, v.

1,

p. 673.

102. Л и с т е н г а р т е н

M . А. Изв. АН

СССР,

OTH, серия

фи­

зическая, 1960, № 24, с. 1050.

103. И л ь и н

Н. П.,

Л о с е в а

Л . Е. Заводская

лаборатория,

1966, № 3 2 , с. 664.

104.

С о s s I е 11

V. Е.,

T h o m a s

R.

N.

Brit.

J.

Appl.

Phys.,

1964, v.

15, p. 235.

105.

B i c k h o f f

R. D. Hand

B. Physik

1958,

v. 34,

p. 88.

106.

D e r i a n T . C. Thesis Univ.,

Paris,

1963.

107.

T o p s o n

R. С. a. o. Phys.

Rev., 1964,

v.

133,

p. 381.

108.

B i s h o p

H. E. Brit. J. Appl. Phys.,

1968,

v. 1, p.

673.

109.

T h o m a s

P. M . Brit. J. Appl. Phys.,

1963, v. 14, p. 397.

110.

H e i n r i c h

K. F. J.,

1970,

Tech. Note,

№ 521.

111.

P h i l i b e r t

J. Spec. Tech.

Publ., 1963,

v. 339,

p.

3.

112. C a s t a i n g

R.

Deshamps

J.

Phys.

et

Rad.,

1955,

v.

16,

114. T h e і s e n

R. T. Quantitative Electron

Probe

Analysis,

Ber­

lin, 1965.

115. D u n c u m b

P.,

R e e d S.

I . B.

Quantitative

Electron

Pro­

be Microanalysis, 1968, № 298. p. 133.

116. P o o l e D.

M., T h o m a s

P.

M . J.

Inst.

Metals,

1969,

v. 90, p. 228.

117. M a r t i n

P.. M.,

P o o l e

D. M . Metallurgical Rev.,

1970,

v. 150, p. 19.

118. B o r o v s k y

I . В.,

R i d n i c k

В. I . Quantitative Electron

Probe Microanalysis, 1968, p. 35.

119. G r e e n M . Proc. Phys. Soc,

1964, v. 83, p. 435.

120. C a m p b e l l

W. J.,

B r o w m

T. D. Analyt. Chem.,

1968,

v. 40, p. 346.

121. Ш т р о Гі б є л ь

П.,

Б о р о в с к и й

И. Б. Физика

металлов

и металловедения, 1969, т. 28, вып. I , с. 57.

122. A n d e r s e n

С.

A.,

W і 11 г у

D.

В.

Brit.

J.

Appl.

Phys.,

1968. v. 1, p. 529.

123.

К у п р и я н о в а

Т. А.,

Л с з и и а

Л . В. В сб. «Аппаратура

и методы рентгеновского анализа», вып.

3.

Пзд-во

«Машинострое­

ние», 1968,

с. 75.

124.

R e e d

S.

I . В.

Brit.

J.

Appi.

Phys.,

1965.

v.

16,

p.

1913.

125.

H e n o c

J.

Thesis

Univ.

Paris,

1962

(655,

P. С М . ) .

126.

В i r k s

L.

S.,

J.

Appl.

Phys.,

1961,

v.

32,

p.

387.

127.

W i t t

г у

D.

В.

Univ.

S.

Calif.

Eng.,

Centre.

1962,

v.

84,

p.

204.

.128.

H e n o c

J.

Quantitative

Electron

Probe

Analysis,

1968,

№

298, p.

197.

129.

S p r i n g e r

G.

Neue

Jahrbuch

Mineral

Abhand

1967,

v. 106, p. 241.

130.

R e e d

S.

Т. В.,

M a s o n

P. К.

I I

Nat.

Conf. Electr.

Probe

Microanal.,

Boston,

1967,

p. 24.

131.

Z i b o l d

T. 0.,

O g i l v i e

R.

E.

Electron

Probe

Microana­

lysis, 1966,

J. Willy,

N. Y., p.

379.

132.

Б а т ы р е

в

В. А.,

Р ы д н н к

В. И.

Заводская

лаборато­

рия, 1970, № 6, с. 672.

133.

Б о р о в с к и й

И. Б.,

Р ы д н н к

В. И. Изв. АН

СССР,

се­

рия физическая,

1967,

т. 31, №

6, с.

1006.

134.

В i r k s

L.

S.,

S e e b o l d

R. Е.

Anal.

Chem.,

1968,

v.

33,

p.

687.

135.

К і г і a n е n k о

A.,

M a u r i c e

F.,

C a l a i s

D.

I l l

Inter­

national

Congress

on

X-ray Optics and Microanalysis,

1963,

p.

559.

136.

R e h m e

H .

Naturwissensch., 1966,

v.

53.

p.

329.

137.

C a s t a i n g

R.

Adven.

Electron

and

Electrophys.,

1961.

v. 13, p. 31.

138.

W i t t r y

O.

R. J. Appl. Phys., 1958,

v.

29,

p.

1453.

139.

R e e d

S.

Т.,

L o n g

J.

V. P.

International

Congress

on

X-ray Optics and

Microanalysis, N. Y., 1963,

p.

317.

140.

Л e в M . А.,

К у p а с о в

A. IT. В

сб. «Аппаратура

и

методы

рентгеновского

анализа»,

вып.

5.

Изд-во

«Машиностроение»,

1969,

с.

189.

141.

W e b s t e r

D„

H a n s e n .

Duveneck

Phys. Rev.,

1933,

v.

43,

p. 839.

142.

F i t z g e r a l d

R.,

K e i l

K., H e i n r i c h

K.

Science,

1968,

v. 159, p.

528.

143.

R u s s

J.

C,

K a b a y a

R.

Proc.

I I An.

Sc.

Micr.

Symp.

Chicago,

1969.

144.

R u s s

I . C.

Elec. Micros.

Soc.

Am.

V I I I Boston

(Moss.),

1971.

145. Z i b o l d

Т.

O.,

O g i l v i e

R.

E.

Anal.

Chem.,

1964,

v.

2,

p. 36.

'

"

146. Б о р о в с к и й

И. Б. и др. Труды

ИМЕТ

АН

СССР. Изд-во

АН

СССР,

1957,

вып. I I , с.

124.

147. R h і n n e s F. N. Amer. Soc. Met., 122,

1941.

148. P h i l i b e r t

J.,

A d d a

Y. С о т р .

Rend.,

1957,

v.

245,

p. 2507.

149. A d d a

Y.,

P h i l i b e r t

J.,

F e r r a g i

H .

Rev.

de

Met.,

150.

В о р о в с к и

ii

И.

В.,

М а р ч у к о в а

И. Д.

ДАН

СССР,

1959, т. 125, № 4 ,

с.

835.

151.

P e t e r s o n

N. L.,

O g i l v i e

R. Е. Trans. Met.

Soc.

А1МЁ,

1960, v. 2, p. 439.

152.

3 а й T В. Диффузия

в металлах. ИЛ,

1958.

153.

B a r d s

J. D. J. Nucl. Energy

P. A.,

1960, v.

11, p.

81.

154.

A d d a

Y.,

В a g e 1 і г

M.,

К і r і a n e n k о M .

С о т р .

Rend.,

1960. v. 250, p. 115.

155.

P h i l i b e r t

J.,

G a y

A.

S.,

Zs.

Metallkun.,

1965,

v.

56,

p. 841.

156.

В о р о в с к и

ii И. Б. и др. Труды

I I совещания

по

диаграм­

мам состояния. 1970. Изд-во «Наука», с. 278.

157.

К і г с а 1 d у

J.

S.

Trans.

Amer.

Soc.

Metals,

1959,

v.

51,

p. 218.

158.

К і г с a 1 d у

J.

S.,

В r o w a n L.

C.

Canad.

Met.

Quart.,

1963, v. 2, p. 89.

159.

Б о p о в с к и ii И. Б. и др. Физика

металлов

и

металловеде­

ние, 1966, т. 22, вып. 6, с.

849.

160.

Б о р о в с к и й

И.

Б. и др. Физика металлов

и

металло­

ведение, 1967, т. 24, вып. 3, с. 436.

161.

Б о р о в с к и й

И.

Б. и др. Физика металлов

и

металлове­

дение, 1970, т. 29, № 2, с. 309.

162.

P h i l i b e r t

J.,

A d d a Y.

Diffusuon

dan

les

Metaux

et

Alliages, Paris, v. 1,2. 1969.

163.

Б о р о в с к и й

И.

Б. и др. Процессы взаимной

диффузии

в сплавах. Изд-во «Наука»,

1973.

164.

Б о р о в с к и й

И.

Б.,

Д и ц м а н

С. А. ДАН

СССР, 1959,

166.

K i s s l i n g

R.

Nonmetalls inclusions

in

metals

and

Alloys,

1967—1969, v. 1, 2,

3.

167.

P h i l i b e r t

J.,

C r u s s a r d

C.

J.

Iron

Steel

Inst.,

1956,

v. 183,

p.

42.

168.

P h i l i b e r t

J„

B e a n

l i e n

C.

Rev.

d. Metal.,

1959,

v.

56,

p.

395.

169.

Е г о р

ш и н

а

Т. K-, Ma с л е н к о в

С. Б.

Заводская

лабо­

ратория, 1964, т. 30, № 1.

170.

С 1 а у t о n

D, а. о. J.

Inst. Met.,

1967, v. 90, p.

224.

171.

Б о р о в с к и й

И.

Б.,

И л ь и н

И.

П.

Заводская

лабора­

тория, 1957, № ю, с. 1234.

172.

C r u s s a r d

С.

J.,

P h i l i b e r t

J.

Rev.

Met,

1956,

v.

53,

p. 461.

173.

D e s c a m p s

J.,

P h i l i b e r t

J.

XX Congr.

ASM,

Paris,

1957.

_

6

( /

174.

В е р д и н е в с к и й

Г. В.

и

др. В

сб. «Аппаратура

и

мето­

ды рентгеновского анализа». Изд-во «Машиностроение»

1969,

вып. 5,

с.

226.

с.

175.

Б о р о в с к и й

И.

Б.

и

др.

Кристаллография,

1962,

т.

7,

602.

176.

Д и ц м а н

С. А.

и

др. Изв. АН

СССР,

серия-

физическая,

1968,

т.

32, с.

1130.

177.

W i t

t r y

D.,

K u s e r

D. F. J. Appl. Phys.,

1964,

v. 24,

p.

39.

178.

Я в н е л ь

А.

А. и др. ДАН СССР, 1958,

т. 123,

№

2,

с.

256.

179. В о р о в с к и

й И. Б. и др. Геология

рудных месторождений,

1959,

№

6, с. 68.

180.

H a l l

Т.

A.

Quantotitive

Electron

Probe

Analysis,

1968,

p. 269.

181.

R o z i v a l

A. Bull. Geol. Soc. Am., 1963, v.

14, p. 466.

182.

H e y

n E„

Metallographist,

1963, v. 6, p. 37.

183.

D u n c u m b

P.,

C o s s l e t t V. E.

X-ray

microsc.

X-ray

microan. Acad. Pr. N.—Y..

1956, p. 374.

186.

R u b e r o l

M . e. a. Mem.

Sci. Rev. Met., 1962,

v. 59, p. 305.

187.

E l і as H.,

W e i b e l

E.

Quantitative Methods

in Morpho­

logy, 1967.

188.

U n d e r w о о d E.

Quantitative Stereology,

Cambridge

Mass. 1967.

191.

D o r f l e r

G.

Metallkundliche Analyse,

Viena,

1966.

192.

W e і n г у b E. These Univ. Paris,

1963.

193.

H e i n r i c h

K. F. J. Adv. X-ray

Anal,

1964, v. 7, p. 325.

194.

I s h i n o k a w a

Т., H y e d a R.

J. Phys.

Soc.

Japan, 1963,

ком быстрых

первичных ионов

наблюдается

эмиссия

с поверхности

положительных и

отрицательных

ионов,

скольку избирательность этих

процессов

по

отношению

к природе атомов мишени недостаточна.

Систематическое

изучение

эмиссии

отрицательных

и особенно положительных ионов начато

сравнительно

недавно,

однако уже

полученные

результаты

указыва­

ют на исключительную ценность этого

процесса для

аналитических целей

[31]. Установлено, что число эмити­

рованных

ионов пропорционально

числу

атомов данно­

го вида,

находящихся в данном

участке исследуемой

поверхности. В связи

с этим определение

интенсивности

по вторичной ионной эмиссии, является

бомбардировка

исследуемой поверхности пучком

ионов

с

достаточной

энергией и плотностью тока. Получение

и

формирова­

ние таких пучков осуществляется

при помощи специаль­

ных ионных источников разных

типов,

разработанных

в основном для применения в .различных

ускорительных

устройствах [12, 13].

ях применяют источники с холодным катодом,

с

тлею­

щим разрядом или каналового

типа. Источником

ионов

в ионных приборах

являются

также

дуоплазматроны

с холодным полым

катодом, имеющие

очень

высокую

яркость.

л В высокочастотных

источниках

ионы получают из

плазмы

рабочего

газа,

образуемой

в

рабочей

камере,

путем

извлечения

при

помощи специальной

системы

электродов.

Типичная

конструкция

высокочастотного

ионного

источника показана на рис. 90.

Плазма рабочего газа образуется в пирексовом бал­

лоне

при высокочастотном

разряде

в

низком

вакууме

(10~3

мм рт. ст.). Высокочастотное

напряжение

от гене­

ратора

(40—100 Мгц, 40—100 вт) подводится к кольцам

(£-разряд),

либо

контур генератора

надевается непо-