книги из ГПНТБ / Локальные методы анализа материалов
..pdfчеты и измерения показали, что поле четырех стержней круглого сечения при отношении радиуса стержня к рас стоянию Ro между начальным положением пучка и по верхностью стержня,, равном 1,16, близко к гиперболи ческому.
Рис. 32. |
Квадрупольный масс-спектрометр |
с |
лазерным |
источником |
|||
|
|
|
|
нагрева: |
|
|
|
/ — лазер; |
2—катод |
с фокусирующим электродом; |
3 — образец; |
4 — коллнми- |
|||
рующая |
щель; 5 — в х о д н а я |
диафрагма; 5 — с т е р ж н и ; 7 — в ы х о д н а я диафрагма; |
|||||
|
|
|
|
S — к о л л е к т о р ионов |
|
|
|
В |
этом случае при подаче на стержни масс-спектро |
||||||
метра |
потенциала |
|
|
|
|
||
где U—постоянная |
U0 = U + V cos |
at, |
|
|
|||
составляющая |
напряжения; |
||||||
V— амплитудное значение переменной составляю |
|||||||
|
|
щей |
напряжения; |
|
|
|
|
« і —круговая |
частота; |
|
|
|
|||
|
t— время. |
|
|
|
|
||
Распределение потенциала между стержнями в пер |
|||||||
вом приближении будет иметь следующий вид: |
|
||||||
|
|
|
£/»„ = |
(£/ + У cos a>fl x%~f |
. |
|
А теперь рассмотрим движение ионов в пространстве между стержнями под влиянием гиперболического поля (см. рис. 32).
Если ион, входящий параллельно оси Z, попадет в поле в точке Мі, то на него будет действовать сила, от клоняющая его к оси Z. Если ион попадает в поле в точ-
ке М2, то ои будет отклоняться в направлении от оси Z. Следовательно, в плоскости XZ поле собирает положи тельно наряженные частицы, а в плоскости YZ оно их рассеивает. Под влиянием переменного поля ионы со вершают колебательные движения, часть ионов после нескольких колебаний с возрастающей амплитудой по падает на стержни и нейтрализуется. При определенной величине отношения постоянной составляющей напря жения к амплитудному значению переменной составля ющей ионы с определенным отношением масс к заряду будут совершать колебания с ограниченной амплитудой вокруг оси системы и, двигаясь, достигнут коллектора. Движение иона с массой М и зарядом q описывается уравнениями:
|
М - ^ - = 0 ; ^ L = c o n s t ; |
|
|
||
|
dt°- |
dt |
|
|
|
M |
+ |
2(7 Ш + V cos со Л — |
0; |
(12) |
|
М |
— |
2<7 ((7 + |
V cos с о О — |
= 0. |
|
Эти уравнения представляют собой специальный случай дифференциальных уравнений Матье [64], для которых существуют два типа решений. Одно из них соответству ет траектории иона с экспоненциально возрастающей ам плитудой по X и Y. Такие ионы после некоторого числа колебаний достигают стержней и нейтрализуются и, та ким образом, не проходят через прибор. Другое решение соответствует стабильным траекториям вокруг оси сис темы. Стабильные ионы двигаются вдоль анализатора до коллектора. Величина ионного тока коллектора явля ется критерием содержания компонента с данной массой в анализируемом веществе. Представляет интерес толь ко второй случай.
При анализе полученных решений было выяснено, что для разделения ионов по массам необходимо, чтобы в те чение определенного числа периодов напряжения высо кой частоты они находились в масс-анализаторе. Число таких периодов N будет:
N ^ 3,5 |
VM/Ш, |
где Is. М-—ширина массового |
пика на полувысоте. |
Оразрешающей способности
ичувствительности динамических
масс-спектрометров с лазерным источником нагрева
Время-пролетные анализаторы
Разрешающая способность в общем случае определя ется отношением массы регистрируемого иона к ширине пика этой же массы, измеренной на полувысоте R =
=М/АМ.
Для случая регистрации ионов время-пролетным массспектрометром разрешающая способность определяется следующим выражением:
|
RUP.NP = |
М-AM = т/2Дт, |
где |
т— время пролета |
ионов от места их зарождения |
до коллектора; Дт—длительность импульса ионного тока, запи
санного на экране осциллографа и измерен ного у основания массового пика.
Для оценки Явр.вр надо иметь в виду, что при време ни пролета ионов определенной массы до коллектора на величину Дт влияют следующие основные факторы:
1.Время Дті, в которое входит длительность старта ионов пакета в источнике, разброс во временах пролета ионов, стартовавших одновременно из разных точек в объеме ионизационной камеры, разброс времени проле та ионов, возникающий из-за распределения ионов по начальным скоростям.
2.Время Дтг, зависящее от взаимодействия между ионами в пакетах во время пролета и условий регистра ции в приемнике.
Следовательно, имеем:
Дт = Дг1 + Д т 2 и ^ |
= *l±*h = -L + - L . (13) |
Масс-спектрометры с лазерным источником нагрева используют в основном для определения газов, содержа щихся в исследуемом микрообъеме. Поэтому ионизующий нейтральную компоненту в испаренном микрообъеме эле ктронный луч, фокусирующийся перпендикулярно пло скости чертежа (рис.31), должен работать в постоянном
режиме. Причина этого заключается в следующем: вопервых, постоянный режим увеличивает вероятность ио низации мгновенно разлетающихся паров; во-вторых, не прерывная ионизация остаточных газов позволяет реги стрировать на экране осциллографа их фон. Таким об разом, газовая фаза, содержащаяся в микрообъеме, как бы накладывается на первичный фон остаточных газов. Однако, согласно данным [57], постоянный режим уве личивает время дрейфа ионов, так как сразу же после появления они начинают движение по полю Е к коллек-. тору. Следовательно, для уменьшения длительности старта ионов в ионизационной камере необходимо исклю чить на время действия лазерного импульса и разлета паровой фазы поле напряженностью Е (рис. 31). Для этого поле Е создается прямоугольным импульсом поло жительной полярности сразу же после прохождения па ровой фазой пространства ионизации. В этом случае все ионы, накопленные в ионизационной камере, начнут дви жение в направлении дрейфа одновременно. Таким обра зом, длительность старта ионных пакетов в источнике определяется временем пролета паровой фазы. Если раз лет паровой фазы происходит перпендикулярно направ лению движения ионов, то горизонтальная составляющая начальных скоростей ионов равна нулю, и разброса вре мени пролета вследствие распределения ионов по на чальным скоростям не существует. По-видимому, основ ной вклад в уменьшение разрешающей способности вно сит пространственная ширина ионного пакета в источнике
ионов I — I I |
(рис.31). |
Для время-пролетного масс-спек |
трометра с |
лазерным |
источником нагрева это имеет |
особое значение, так |
как ширина пространства I — I I не |
должна уменьшать плотность лазерного излучения и в то ж е время не должна ухудшать разрешения прибора.
В работе [59] показано, что при соблюдении условия: (14)
имеет место независимость времени пролета т от расстоя ния между электродами I — I I (см. рис 31). Величина разрешающей способности определяется в этом случае приближенной формулой [62]:
где AS — ширина электронного пучка.
Величина Ат2 — одинакова для всех типовых времяпролетных приборов, выпускаемых промышленностью, зависит от влияния объемного заряда пакетов ионов, длины пространства дрейфа и регистрирующего устрой ства. Применяемые в последнее время для регистрации ионного тока вторичные электронные умножители с маг нитной фокусировкой имеют малый разброс вторичных электронов по времени пролета и не вносят существенно го вклада в длительность АтгТаким образом, прибли женно разрешающую способность /?цР.Пр время пролет ного масс-спектрометра можно оценивать по формуле (15). Практически она достигает величины 80.
Квадрупольные анализаторы
При отличительной особенности квадрупольных массспектрометров (малой зависимости разрешающей спо собности от начального разброса по энергиям) для них не существует таких проблем, как для время-пролетных приборов. Процессы, происходящие в ионизационной камере, не вносят существенного ухудшения в разреша ющую способность фильтра масс. А характер разделения соседних линии масс-спектра в пределах рабочего диа пазона не меняется. Разрешающая способность опреде ляется по следующей формуле [59]:
|
RKB |
= М/АМ = 4,2-10"1 0 |
fL2MiVycK, |
|
где |
/— частота, гц; |
|
||
|
L—длина |
стержня, .и; |
|
|
|
М—массовое |
число, абс. ед. массы; |
||
|
UYCK— |
ускоряющее напряжение, |
в. |
Величина Rkb может достигать очень больших вели чин. Так, в работе [63] точно, измерены массы изотопов и. при помощи квадрупольного масс-спектрометра с раз решающей способностью около 20000.
Чувствительность
Для обоих методов разделения масс определяющим фактором чувствительности является ионизация микро пробы в ионном источнике. В случае фильтра масс при простой конструкции ионного источника и наличии вход ной диафрагмы чувствительность понижается.
Во время-пролетном масс-спектрометре быстродей ствие ухудшает чувствительность прибора. Однако, учи тывая, что площадь эмитирующей ионы поверхности во время-пролетном масс-спектрометре значительно боль ше, чем в статическом, следует отметить, что в равных условиях, исключая быстродействие, чувствительность время-пролетных приборов выше, чем статических. При достаточно высокой абсолютной чувствительности ана лиза масс-спектрометрами с лазерным источником наг
рева, достигающей 1 |
мкг, |
относительная чувствительность |
||||||
составляет лишь |
10 |
- 2 % |
и может |
меняться в |
зависимо |
|||
сти |
от примеси, |
находящейся |
в |
пробе. |
Это |
происхо |
||
дит |
по следующим причинам. |
Электроны, |
испускаемые |
накаленным катодом, должны испытывать столкновения с нейтральными атомами. Однако не все электроны соу
даряются с парами |
|
микропробы, |
число таких |
электро |
||
нов выражается следующей |
формулой: |
|
||||
|
|
N = N0e |
*• Р |
, |
(16) |
|
где |
N0— число электронов |
пучка; |
иониза |
|||
|
L—расстояние, |
на котором |
происходит |
|||
|
ция; |
|
|
|
|
|
|
р—давление |
|
анализируемой пробы; |
|
||
|
% — длина |
свободного пробега электрона, может |
||||
|
достигать 20—35% от общего числа электро |
|||||
|
нов. |
|
|
|
|
|
Мерой взаимодействия движущегося электрона с ней тральными молекулами является так называемое эффек тивное сечение соударения Q. Величина Q — это среднее число соударений с молекулами пробы на определенном расстоянии (обычно берется расстояние 1 м). Эффектив ное сечение пропорционально концентрации молекул газа
или |
(при неизменной |
температуре) давлению |
газа р: |
Q = Qop(Qo — эффективное сечение при |
давлении |
||
1 мм рт. ст. и температуре газа 0°С). |
|
||
|
Представляет интерес неупругое соударение электро |
||
нов |
с молекулами. При |
неупругом соударении |
изменяет |
ся внутренняя энергия хотя бы одной из взаимодейству ющих частиц и эта частица переходит в другое состоя ние (например, ионизация, возбуждение, рекомбинация, соударение второго рода и т.п.). Каждый из этих про-
цессов можно охарактеризовать соответствующим эф фективным сечением.
Эффективное сечение неупругого соударения выра жается через вероятность со, которая показывает, какая доля всех соударений приводит к неупругнм процессам данного рода.
Например, вероятность ионизации со; равна СОІ =
—Q I O / Q O и различна для паров разных элементов. Сле
довательно, из всего количества электронов пучка соуда
рения |
с молекулами пробы испытывают N электронов, |
||
но из |
всех |
этих |
соударений только Л'ЮІ. приведут к |
ионизации. |
|
|
|
Ионный |
ток, |
пропорциональный количеству иониза |
ции Ni внутри источника за единицу времени, определя
ется выражением: i — |
Qioplic |
(Qro — эффективное |
сече |
|
ние ионизации |
при давлении |
1 мм рт. ст. и температуре |
||
0°С; р — парциальное давление примеси в парах |
пробы; |
|||
/ — средняя |
длина |
пути, |
проходимого электроном |
|
в источнике; ie |
— электронный ток). |
|
||
Эффективное сечение ионизации молекул данного ви |
да является функцией энергии бомбардирующих электро нов и при количественных расчетах может быть опреде лено из работ [65, 66].
Из приведенных рассуждений ясно, почему относи тельная чувствительность анализа меняется в зависимо сти от содержания в парах пробы того или другого эле мента. По этой причине при анализе микропробы, содер жащей различные примеси, необходимо сначала провести калибровку прибора на чистых эталонах, чтобы оп ределить относительную эффективность образования ионов для различных видов молекул, а затем испытания проводят с известными синтетическими смесями. Следу ет отметить, что калибровку и исследования проводят при одной и той же энергии электронов, так как от этого зависит сечение ионизации.
Таким образом, условия ионизации в ионном источни
ке этого типа |
действительно являются определяющи |
ми факторами |
чувствительности. Высокую чувствитель |
ность анализа должны определять следующие вели чины:
1. Коэффициент использования вещества пробы, оп ределяемый как отношение общего числа образовавших ся ионов к числу молекул или атомов, введенных в источ ник.
2. Светосила источника, определяемая отношением числа ионов, выходящих из источника, к числу ионов, возникающих в источнике.
Обе величины должны быть максимальны.
Масс-спектрометры с лазерным источником ионов
Как указывалось ранее, источником ионов может быть и сам лазер, ионизирующий гигантским импульсом исследуемую микропробу. В этом случае не нужно до-
пол нител ьно |
ион из ир о- |
|
|
|
|
|
|
|||
вать |
|
пробу |
электрон |
|
|
|
|
|
|
|
ным |
|
пучком, |
так как |
|
|
|
|
|
|
|
однократно |
|
заряжен |
|
|
|
|
|
|
||
ные |
ионы |
появляются |
|
|
|
|
|
|
||
уже |
|
при |
|
плотности |
|
|
|
|
|
|
мощности 6-Ю8 вт/см2. |
|
|
|
|
|
|
||||
Схема |
анализатора без |
|
|
|
|
|
|
|||
дополнительной иони |
2. |
4 |
J |
5 |
6 |
|
||||
зации |
электронным |
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|||||
ударом |
значительно |
Рис. |
33. Схема регистрации |
|
ионов |
|||||
упрощается. |
Применя |
|
в |
прямом пролете: |
|
дрей |
||||
ют |
схемы, |
|
подобные |
зонатора; |
2 — о б р а з е ц ; |
3— труба |
||||
|
|
|
|
|
/ — лазер |
с модуляцией добротности ре |
||||
схеме |
на |
рис. 31, но |
фа; |
4 — ускоряющий |
электрод; |
|
5 — за |
|||
чаще |
|
исследователи |
медляющий электрод; |
6 — у м н о ж и т е л ь |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
||||
располагают |
лазер под |
|
|
|
|
|
|
углом к анализируемому образцу и разделение по мас сам происходит в прямом пролете от мишени к регист рирующему устройству. На рис. 33 изображена именно такая система. Будем называть такую систему масс-спект рометром с лазерным источником ионов. При плотно стях мощности, используемых в масс-спектрометрах с лазерным источником ионов, энергетический разброс ионов находится в интервале 0—500 эв. Такой разброс по энергиям может уширять пакеты дрейфующих ионов - настолько, что два соседних пика масс станут неразличи мыми. Следовательно, работа прибора должна быть ос нована на независимости времени пролета ионов от на чальной энергии Е0.
В работе [67] исследовалось влияние Е0 на время пролета ионов от мишени к коллектору. Показано, что время дрейфа зависит в основном от величины М/е, а не
7—693 |
97 |
от Ё0. Влияние начальной энергии можно регулировать при помощи ускоряющего напряжения. С увеличением этого напряжения пики обостряются (становятся менее зависимыми от величины Е0), а время пролета умень шается. Однако некоторый энергетический разброс оста ется. Чтобы улучшить разрешающую способность, необ ходимо дополнительно на конец трубы дрейфа устано
ві
Рис. 34. Принципиальная схема масс-спектрометра с лазерным источ ником ионов:
/ — образец; |
2—6 — вытягивающие |
электроды; |
7 — ускоряющий |
электрод: |
||||
КР — кристалл |
рубина; СП — стеклянные пластшши; |
А'З — химический затвор; |
||||||
ФЭ— фотоэлемент; ЛИ— |
лазерный |
источник |
ионов; |
Г — гальванометр; |
||||
ПК — подвижной |
коллектор; |
К — калориметр; ВПЛ |
— время-пролетный |
анализа |
||||
тор; |
ЭУ |
— электронный умножитель; Ф,, |
Ф2, |
Ф3 |
— фланцы |
|
вить электростатический или магнитный анализаторы, осуществляющие дополнительную фокусировку. Хороший результат дает также применение для разделения масс-
квадрупольного |
анализатора [62]. |
|
|
|
В работе |
[37] |
приведена принципиальная |
схема |
|
масс-спектрометра |
с лазерным |
источником |
ионов |
|
(рис.34). |
|
|
|
|
Гигантский импульс лазера с модулируемой доброт ностью взаимодействует с исследуемым образцом.
Модуляция добротности резонатора осуществляется химическим затвором ХЗ на основе фталоцианина вана-
дня в нитробензоле. Анализ микропробы проводят при помощи время-пролетного анализатора ВПА и масс-спек трометра с совмещенными электростатическим и магнит ным полями А.
Особенностью |
установки |
является |
значительное про |
летное расстояние (450 см, |
включая |
масс-спектрометр), |
|
что значительно |
повышает |
разрешающую способность. |
Регулировка разрешающей способности и светосилы ана
лизатора осуществляется изменением |
ширины щели |
Si, |
S2 , S3. Однако все меры, приводящие |
к увеличению |
раз |
решающей способности при прямом пролете ионов от мишени к коллектору, уменьшают число собираемых электронным умножителем ионов и понижают чувстви тельность прибора. Для получения достаточной чувстви тельности, по-видимому, необходимо вводить сцинтилля-
ционный детектор. |
При |
всех |
недостатках, связанных |
|
с невысокой разрешающей способностью |
масс-спектро |
|||
метра с лазерным |
источником |
ионов, абсолютная чув |
||
ствительность анализа высока и достигает |
2 -10~9 г. |
|||
Высокая абсолютная |
чувствительность |
очень важна, |
например, при послойном анализе и регистрации распре деления примеси в слое 5—10 мкм. Некоторые из затруд нений, относящихся к малому сигналу и большому фону, можно значительно уменьшить, ограничив мощность ла зера в нужных пределах. Эти затруднения заключаются в следующем: при малой плотности мощности наблюда ется малый сигнал примесей в образце, а при очень боль шой плотности мощности увеличивается фон и появляют ся высокоэнергетические ионы образца, что приводит к уменьшению эффективности собирания. При определен
ном навыке можно подобрать |
номинальную |
величину |
мощности лазера для образца |
данного типа и размеров |
|
и таким путем анализировать разнообразные |
материалы. |
Методы расчета числа частиц в микропробе и некоторые области применения лазерных масс-спектрометров
Как для качественного, так и для количественного анализа необходимо в первую очередь определить, соот ветствуют ли пики масс-спектров, появляющихся на экране осциллографа, действительному содержанию при месей в объеме или на поверхности. При больших энер-
7* |
99 |