Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Локальные методы анализа материалов

..pdf
Скачиваний:
10
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
13.21 Mб
Скачать

четы и измерения показали, что поле четырех стержней круглого сечения при отношении радиуса стержня к рас­ стоянию Ro между начальным положением пучка и по­ верхностью стержня,, равном 1,16, близко к гиперболи­ ческому.

Рис. 32.

Квадрупольный масс-спектрометр

с

лазерным

источником

 

 

 

 

нагрева:

 

 

 

/ — лазер;

2—катод

с фокусирующим электродом;

3 — образец;

4 — коллнми-

рующая

щель; 5 — в х о д н а я

диафрагма; 5 — с т е р ж н и ; 7 — в ы х о д н а я диафрагма;

 

 

 

 

S — к о л л е к т о р ионов

 

 

 

В

этом случае при подаче на стержни масс-спектро­

метра

потенциала

 

 

 

 

где U—постоянная

U0 = U + V cos

at,

 

 

составляющая

напряжения;

V— амплитудное значение переменной составляю­

 

 

щей

напряжения;

 

 

 

« і —круговая

частота;

 

 

 

 

t— время.

 

 

 

 

Распределение потенциала между стержнями в пер­

вом приближении будет иметь следующий вид:

 

 

 

 

£/»„ =

(£/ + У cos a>fl x%~f

.

 

А теперь рассмотрим движение ионов в пространстве между стержнями под влиянием гиперболического поля (см. рис. 32).

Если ион, входящий параллельно оси Z, попадет в поле в точке Мі, то на него будет действовать сила, от­ клоняющая его к оси Z. Если ион попадает в поле в точ-

ке М2, то ои будет отклоняться в направлении от оси Z. Следовательно, в плоскости XZ поле собирает положи­ тельно наряженные частицы, а в плоскости YZ оно их рассеивает. Под влиянием переменного поля ионы со­ вершают колебательные движения, часть ионов после нескольких колебаний с возрастающей амплитудой по­ падает на стержни и нейтрализуется. При определенной величине отношения постоянной составляющей напря­ жения к амплитудному значению переменной составля­ ющей ионы с определенным отношением масс к заряду будут совершать колебания с ограниченной амплитудой вокруг оси системы и, двигаясь, достигнут коллектора. Движение иона с массой М и зарядом q описывается уравнениями:

 

М - ^ - = 0 ; ^ L = c o n s t ;

 

 

 

dt°-

dt

 

 

M

+

2(7 Ш + V cos со Л —

0;

(12)

М

2<7 ((7 +

V cos с о О —

= 0.

 

Эти уравнения представляют собой специальный случай дифференциальных уравнений Матье [64], для которых существуют два типа решений. Одно из них соответству­ ет траектории иона с экспоненциально возрастающей ам­ плитудой по X и Y. Такие ионы после некоторого числа колебаний достигают стержней и нейтрализуются и, та­ ким образом, не проходят через прибор. Другое решение соответствует стабильным траекториям вокруг оси сис­ темы. Стабильные ионы двигаются вдоль анализатора до коллектора. Величина ионного тока коллектора явля­ ется критерием содержания компонента с данной массой в анализируемом веществе. Представляет интерес толь­ ко второй случай.

При анализе полученных решений было выяснено, что для разделения ионов по массам необходимо, чтобы в те­ чение определенного числа периодов напряжения высо­ кой частоты они находились в масс-анализаторе. Число таких периодов N будет:

N ^ 3,5

VM/Ш,

где Is. М-—ширина массового

пика на полувысоте.

Оразрешающей способности

ичувствительности динамических

масс-спектрометров с лазерным источником нагрева

Время-пролетные анализаторы

Разрешающая способность в общем случае определя­ ется отношением массы регистрируемого иона к ширине пика этой же массы, измеренной на полувысоте R =

=М/АМ.

Для случая регистрации ионов время-пролетным массспектрометром разрешающая способность определяется следующим выражением:

 

RUP.NP =

М-AM = т/2Дт,

где

т— время пролета

ионов от места их зарождения

до коллектора; Дт—длительность импульса ионного тока, запи­

санного на экране осциллографа и измерен­ ного у основания массового пика.

Для оценки Явр.вр надо иметь в виду, что при време­ ни пролета ионов определенной массы до коллектора на величину Дт влияют следующие основные факторы:

1.Время Дті, в которое входит длительность старта ионов пакета в источнике, разброс во временах пролета ионов, стартовавших одновременно из разных точек в объеме ионизационной камеры, разброс времени проле­ та ионов, возникающий из-за распределения ионов по начальным скоростям.

2.Время Дтг, зависящее от взаимодействия между ионами в пакетах во время пролета и условий регистра­ ции в приемнике.

Следовательно, имеем:

Дт = Дг1 + Д т 2 и ^

= *l±*h = -L + - L . (13)

Масс-спектрометры с лазерным источником нагрева используют в основном для определения газов, содержа­ щихся в исследуемом микрообъеме. Поэтому ионизующий нейтральную компоненту в испаренном микрообъеме эле­ ктронный луч, фокусирующийся перпендикулярно пло­ скости чертежа (рис.31), должен работать в постоянном

режиме. Причина этого заключается в следующем: вопервых, постоянный режим увеличивает вероятность ио­ низации мгновенно разлетающихся паров; во-вторых, не­ прерывная ионизация остаточных газов позволяет реги­ стрировать на экране осциллографа их фон. Таким об­ разом, газовая фаза, содержащаяся в микрообъеме, как бы накладывается на первичный фон остаточных газов. Однако, согласно данным [57], постоянный режим уве­ личивает время дрейфа ионов, так как сразу же после появления они начинают движение по полю Е к коллек-. тору. Следовательно, для уменьшения длительности старта ионов в ионизационной камере необходимо исклю­ чить на время действия лазерного импульса и разлета паровой фазы поле напряженностью Е (рис. 31). Для этого поле Е создается прямоугольным импульсом поло­ жительной полярности сразу же после прохождения па­ ровой фазой пространства ионизации. В этом случае все ионы, накопленные в ионизационной камере, начнут дви­ жение в направлении дрейфа одновременно. Таким обра­ зом, длительность старта ионных пакетов в источнике определяется временем пролета паровой фазы. Если раз­ лет паровой фазы происходит перпендикулярно направ­ лению движения ионов, то горизонтальная составляющая начальных скоростей ионов равна нулю, и разброса вре­ мени пролета вследствие распределения ионов по на­ чальным скоростям не существует. По-видимому, основ­ ной вклад в уменьшение разрешающей способности вно­ сит пространственная ширина ионного пакета в источнике

ионов I — I I

(рис.31).

Для время-пролетного масс-спек­

трометра с

лазерным

источником нагрева это имеет

особое значение, так

как ширина пространства I — I I не

должна уменьшать плотность лазерного излучения и в то ж е время не должна ухудшать разрешения прибора.

В работе [59] показано, что при соблюдении условия: (14)

имеет место независимость времени пролета т от расстоя­ ния между электродами I — I I (см. рис 31). Величина разрешающей способности определяется в этом случае приближенной формулой [62]:

где AS — ширина электронного пучка.

Величина Ат2 — одинакова для всех типовых времяпролетных приборов, выпускаемых промышленностью, зависит от влияния объемного заряда пакетов ионов, длины пространства дрейфа и регистрирующего устрой­ ства. Применяемые в последнее время для регистрации ионного тока вторичные электронные умножители с маг­ нитной фокусировкой имеют малый разброс вторичных электронов по времени пролета и не вносят существенно­ го вклада в длительность АтгТаким образом, прибли­ женно разрешающую способность /?цР.Пр время пролет­ ного масс-спектрометра можно оценивать по формуле (15). Практически она достигает величины 80.

Квадрупольные анализаторы

При отличительной особенности квадрупольных массспектрометров (малой зависимости разрешающей спо­ собности от начального разброса по энергиям) для них не существует таких проблем, как для время-пролетных приборов. Процессы, происходящие в ионизационной камере, не вносят существенного ухудшения в разреша­ ющую способность фильтра масс. А характер разделения соседних линии масс-спектра в пределах рабочего диа­ пазона не меняется. Разрешающая способность опреде­ ляется по следующей формуле [59]:

 

RKB

= М/АМ = 4,2-10"1 0

fL2MiVycK,

где

/— частота, гц;

 

 

L—длина

стержня, .и;

 

 

М—массовое

число, абс. ед. массы;

 

UYCK

ускоряющее напряжение,

в.

Величина Rkb может достигать очень больших вели­ чин. Так, в работе [63] точно, измерены массы изотопов и. при помощи квадрупольного масс-спектрометра с раз­ решающей способностью около 20000.

Чувствительность

Для обоих методов разделения масс определяющим фактором чувствительности является ионизация микро­ пробы в ионном источнике. В случае фильтра масс при простой конструкции ионного источника и наличии вход­ ной диафрагмы чувствительность понижается.

Во время-пролетном масс-спектрометре быстродей­ ствие ухудшает чувствительность прибора. Однако, учи­ тывая, что площадь эмитирующей ионы поверхности во время-пролетном масс-спектрометре значительно боль­ ше, чем в статическом, следует отметить, что в равных условиях, исключая быстродействие, чувствительность время-пролетных приборов выше, чем статических. При достаточно высокой абсолютной чувствительности ана­ лиза масс-спектрометрами с лазерным источником наг­

рева, достигающей 1

мкг,

относительная чувствительность

составляет лишь

10

- 2 %

и может

меняться в

зависимо­

сти

от примеси,

находящейся

в

пробе.

Это

происхо­

дит

по следующим причинам.

Электроны,

испускаемые

накаленным катодом, должны испытывать столкновения с нейтральными атомами. Однако не все электроны соу­

даряются с парами

 

микропробы,

число таких

электро­

нов выражается следующей

формулой:

 

 

 

N = N0e

*• Р

,

(16)

где

N0— число электронов

пучка;

иониза­

 

L—расстояние,

на котором

происходит

 

ция;

 

 

 

 

 

 

р—давление

 

анализируемой пробы;

 

 

% — длина

свободного пробега электрона, может

 

достигать 20—35% от общего числа электро­

 

нов.

 

 

 

 

 

Мерой взаимодействия движущегося электрона с ней­ тральными молекулами является так называемое эффек­ тивное сечение соударения Q. Величина Q — это среднее число соударений с молекулами пробы на определенном расстоянии (обычно берется расстояние 1 м). Эффектив­ ное сечение пропорционально концентрации молекул газа

или

(при неизменной

температуре) давлению

газа р:

Q = Qop(Qo — эффективное сечение при

давлении

1 мм рт. ст. и температуре газа 0°С).

 

 

Представляет интерес неупругое соударение электро­

нов

с молекулами. При

неупругом соударении

изменяет­

ся внутренняя энергия хотя бы одной из взаимодейству­ ющих частиц и эта частица переходит в другое состоя­ ние (например, ионизация, возбуждение, рекомбинация, соударение второго рода и т.п.). Каждый из этих про-

цессов можно охарактеризовать соответствующим эф­ фективным сечением.

Эффективное сечение неупругого соударения выра­ жается через вероятность со, которая показывает, какая доля всех соударений приводит к неупругнм процессам данного рода.

Например, вероятность ионизации со; равна СОІ =

Q I O / Q O и различна для паров разных элементов. Сле­

довательно, из всего количества электронов пучка соуда­

рения

с молекулами пробы испытывают N электронов,

но из

всех

этих

соударений только Л'ЮІ. приведут к

ионизации.

 

 

Ионный

ток,

пропорциональный количеству иониза­

ции Ni внутри источника за единицу времени, определя­

ется выражением: i —

Qioplic

(Qro эффективное

сече­

ние ионизации

при давлении

1 мм рт. ст. и температуре

0°С; р — парциальное давление примеси в парах

пробы;

/ — средняя

длина

пути,

проходимого электроном

в источнике; ie

— электронный ток).

 

Эффективное сечение ионизации молекул данного ви­

да является функцией энергии бомбардирующих электро­ нов и при количественных расчетах может быть опреде­ лено из работ [65, 66].

Из приведенных рассуждений ясно, почему относи­ тельная чувствительность анализа меняется в зависимо­ сти от содержания в парах пробы того или другого эле­ мента. По этой причине при анализе микропробы, содер­ жащей различные примеси, необходимо сначала провести калибровку прибора на чистых эталонах, чтобы оп­ ределить относительную эффективность образования ионов для различных видов молекул, а затем испытания проводят с известными синтетическими смесями. Следу­ ет отметить, что калибровку и исследования проводят при одной и той же энергии электронов, так как от этого зависит сечение ионизации.

Таким образом, условия ионизации в ионном источни­

ке этого типа

действительно являются определяющи­

ми факторами

чувствительности. Высокую чувствитель­

ность анализа должны определять следующие вели­ чины:

1. Коэффициент использования вещества пробы, оп­ ределяемый как отношение общего числа образовавших­ ся ионов к числу молекул или атомов, введенных в источ­ ник.

2. Светосила источника, определяемая отношением числа ионов, выходящих из источника, к числу ионов, возникающих в источнике.

Обе величины должны быть максимальны.

Масс-спектрометры с лазерным источником ионов

Как указывалось ранее, источником ионов может быть и сам лазер, ионизирующий гигантским импульсом исследуемую микропробу. В этом случае не нужно до-

пол нител ьно

ион из ир о-

 

 

 

 

 

 

вать

 

пробу

электрон­

 

 

 

 

 

 

ным

 

пучком,

так как

 

 

 

 

 

 

однократно

 

заряжен­

 

 

 

 

 

 

ные

ионы

появляются

 

 

 

 

 

 

уже

 

при

 

плотности

 

 

 

 

 

 

мощности 6-Ю8 вт/см2.

 

 

 

 

 

 

Схема

анализатора без

 

 

 

 

 

 

дополнительной иони­

2.

4

J

5

6

 

зации

электронным

 

 

 

 

 

 

 

ударом

значительно

Рис.

33. Схема регистрации

 

ионов

упрощается.

Применя­

 

в

прямом пролете:

 

дрей­

ют

схемы,

 

подобные

зонатора;

2 — о б р а з е ц ;

3— труба

 

 

 

 

 

/ — лазер

с модуляцией добротности ре­

схеме

на

рис. 31, но

фа;

4 — ускоряющий

электрод;

 

5 — за ­

чаще

 

исследователи

медляющий электрод;

6 — у м н о ж и т е л ь

 

 

 

 

 

 

 

располагают

лазер под

 

 

 

 

 

 

углом к анализируемому образцу и разделение по мас­ сам происходит в прямом пролете от мишени к регист­ рирующему устройству. На рис. 33 изображена именно такая система. Будем называть такую систему масс-спект­ рометром с лазерным источником ионов. При плотно­ стях мощности, используемых в масс-спектрометрах с лазерным источником ионов, энергетический разброс ионов находится в интервале 0—500 эв. Такой разброс по энергиям может уширять пакеты дрейфующих ионов - настолько, что два соседних пика масс станут неразличи­ мыми. Следовательно, работа прибора должна быть ос­ нована на независимости времени пролета ионов от на­ чальной энергии Е0.

В работе [67] исследовалось влияние Е0 на время пролета ионов от мишени к коллектору. Показано, что время дрейфа зависит в основном от величины М/е, а не

7—693

97

от Ё0. Влияние начальной энергии можно регулировать при помощи ускоряющего напряжения. С увеличением этого напряжения пики обостряются (становятся менее зависимыми от величины Е0), а время пролета умень­ шается. Однако некоторый энергетический разброс оста­ ется. Чтобы улучшить разрешающую способность, необ­ ходимо дополнительно на конец трубы дрейфа устано­

ві

Рис. 34. Принципиальная схема масс-спектрометра с лазерным источ­ ником ионов:

/ — образец;

2—6 — вытягивающие

электроды;

7 — ускоряющий

электрод:

КР — кристалл

рубина; СП — стеклянные пластшши;

А'З — химический затвор;

ФЭ— фотоэлемент; ЛИ

лазерный

источник

ионов;

Г — гальванометр;

ПК — подвижной

коллектор;

К — калориметр; ВПЛ

— время-пролетный

анализа­

тор;

ЭУ

— электронный умножитель; Ф,,

Ф2,

Ф3

фланцы

 

вить электростатический или магнитный анализаторы, осуществляющие дополнительную фокусировку. Хороший результат дает также применение для разделения масс-

квадрупольного

анализатора [62].

 

 

В работе

[37]

приведена принципиальная

схема

масс-спектрометра

с лазерным

источником

ионов

(рис.34).

 

 

 

 

Гигантский импульс лазера с модулируемой доброт­ ностью взаимодействует с исследуемым образцом.

Модуляция добротности резонатора осуществляется химическим затвором ХЗ на основе фталоцианина вана-

дня в нитробензоле. Анализ микропробы проводят при помощи время-пролетного анализатора ВПА и масс-спек­ трометра с совмещенными электростатическим и магнит­ ным полями А.

Особенностью

установки

является

значительное про­

летное расстояние (450 см,

включая

масс-спектрометр),

что значительно

повышает

разрешающую способность.

Регулировка разрешающей способности и светосилы ана­

лизатора осуществляется изменением

ширины щели

Si,

S2 , S3. Однако все меры, приводящие

к увеличению

раз­

решающей способности при прямом пролете ионов от мишени к коллектору, уменьшают число собираемых электронным умножителем ионов и понижают чувстви­ тельность прибора. Для получения достаточной чувстви­ тельности, по-видимому, необходимо вводить сцинтилля-

ционный детектор.

При

всех

недостатках, связанных

с невысокой разрешающей способностью

масс-спектро­

метра с лазерным

источником

ионов, абсолютная чув­

ствительность анализа высока и достигает

2 -10~9 г.

Высокая абсолютная

чувствительность

очень важна,

например, при послойном анализе и регистрации распре­ деления примеси в слое 5—10 мкм. Некоторые из затруд­ нений, относящихся к малому сигналу и большому фону, можно значительно уменьшить, ограничив мощность ла­ зера в нужных пределах. Эти затруднения заключаются в следующем: при малой плотности мощности наблюда­ ется малый сигнал примесей в образце, а при очень боль­ шой плотности мощности увеличивается фон и появляют­ ся высокоэнергетические ионы образца, что приводит к уменьшению эффективности собирания. При определен­

ном навыке можно подобрать

номинальную

величину

мощности лазера для образца

данного типа и размеров

и таким путем анализировать разнообразные

материалы.

Методы расчета числа частиц в микропробе и некоторые области применения лазерных масс-спектрометров

Как для качественного, так и для количественного анализа необходимо в первую очередь определить, соот­ ветствуют ли пики масс-спектров, появляющихся на экране осциллографа, действительному содержанию при­ месей в объеме или на поверхности. При больших энер-

7*

99

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ