книги / Изучение функциональных свойств многослойных пленок на основе двух- и трехкомпонентных нитридов тугоплавких металлов и их соединений с легкоплавкими металлами и неметаллами
..pdfи Ti1–хAlхN различной толщины, строения и свойств, получают в течение одного непрерывного процесса с попеременным и одновременным использованием электродугового испарителя и магнетронного распылителя в газовой смеси Ar и N2. Свойства и/или фазовый состав каждого осажденного слоя регулируют за счет изменения мощности магнетронного разряда при распылении Ti, тока дуги при электродуговом испарении Al, давления газовой смеси, процентного соотношения N2 и Ar, Uсм и L. Осаждение TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленки с использованием различных источников плазмы позволяет получать градиент структуры и свойств, что делает ее способной воспринимать ударные нагрузки.
Эффективность и работоспособность ТИ и ПТ достигается за счет комбинированного метода получения слоев различного функционального назначения: Ti подслой – адгезионный и буферный, TiN слой – износостойкий, Ti1–хAlхN слой – ударо-, тепло-, трещино- и коррозионно-стойкий.
Нижний адгезионный и одновременно буферный Ti подслой наносят с использованием электродугового испарителя с Ti катодом. В качестве материала слоя выбран Ti марки ВТ-1-00, так как он обладает промежуточным коэффициентом термического расширения между материалом ТИ и ПТ и материалом последующего TiN слоя. Осаждение Ti слоя электродуговым испарением позволяет получить большое содержание рентгеноаморфной фазы и повышает сопротивляемость многокомпонентной многослойной TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленки к ударным нагрузкам.
Наноструктурированный TiN слой, получаемый с использованием магнетронного распылителя с Ti мишенью, сообщает многокомпонентной многослойной TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленке высокую износостойкость при сохранении относительно высокой вязкости, достаточную прочность в условиях прерывистого резания и действия динамических теплосиловых нагрузок.
Выбор комбинированного метода осаждения Ti1–хAlхN слоев с одновременным электродуговым испарением Al катода и магнетронным распылением Ti мишени обоснован тем, что многокомпонентная многослойная
TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленка по строению пред-
ставляет собой смесь рентгеноаморфной и поликристаллической фаз, соотношение которых регулируется с помощью основных ТехП процесса ЭДИ+МР, что придает ей улучшенные характеристики ударостойкости. Трехкомпонентный Ti1–хAlхN слой обладает также повышенной эластичностью, коррозионной стойкостью, значительной химической стабильно-
131
стью, сопротивляемостью к воздействию переменных теплосиловых нагрузок, трещиностойкостью.
Наноструктурированный TiN слой обеспечивает TiЭДИ-•TiNМР- Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленке микротвердость 20…25 ГПа, прочность и износостойкость при действии истирающих нагрузок.
При чередовании износостойкого наноструктурированного TiN слоя и ударо-, тепло-, трещино- и коррозионно-стойкого Ti1–хAlхN слоя реализуют принцип формирования многокомпонентной многослойной пленки с градиентом структуры, химического и фазового состава, свойств и, как следствие, с разделением функций между слоями и сообщение всей многослойной TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленке многофункциональных свойств. Слоистая структура пленки обеспечивает ее высокую трещиностойкость, а адгезионная прочность слоев – сопротивление сдвиговым нагрузкам. При одновременном осаждении конденсируемых частиц Ti, являющихся источником поликристаллической фазы, и конденсируемых частиц Al, являющихся источником рентгеноаморфной фазы, комбинированным методом получают Ti1–хAlхN слой с микроструктурным упрочнением.
Верхний Ti1–хAlхN слой многокомпонентной многослойной TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленки наносят для улучшения контактных характеристик: сопротивляемости поверхности ТИ и ПТ воздействию переменных теплосиловых нагрузок, сопротивляемости рабочей поверхности ТИ и ПТ упругопластическим деформациям, циклическим процессам схватывания, разделения стружки и поверхности пленки, а также воздействию окислительной и/или агрессивной среды. Снижение тепловыделения происходит из-за уменьшения коэффициента трения в паре с обрабатываемым/сопрягаемым материалом за счет повышения микро-
твердости TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленки до 36 ГПа
(по результатам главы 3). Высокая коррозионная стойкость пленки определяется тем, что входящий в состав верхнего слоя Al, диффундируя к поверхности и соединяясь с кислородом, образует защитный слой Al2O3, затрудняющий дальнейшее окисление пленки и скорость коррозии и стабилизирующий материал ТИ и ПТ, сообщает TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленке коррозионные свойства. Плотная структура верхнего слоя усиливает сопротивление поверхности ТИ и ПТ коррозии. Теплостойкость материала ТИ и ПТ обеспечивается снижением тепловыделения на его контактирующих поверхностях.
132
Изменение ТехП – давления газовой смеси, процентного соотношения N2 и Ar, Uсм и L – позволяет изменять содержание Al по отношению
кTi в осаждаемом трехкомпонентном слое.
Кпреимуществам разработанной технологии относятся:
–возможность изменения состава каждого осаждаемого трехкомпонентного Ti1–хAlхN слоя и изменения структуры чередующихся слоев;
–возможность регулирования состава и свойства каждого слоя с высокой степенью точности. Следовательно, получаемые многокомпонентные
многослойные TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленки будут обладать точно заданными свойствами;
– возможность адаптации к получению многокомпонентной многослойной TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленки с заданными свойствами для конкретного применения, что позволяет производить любые типы МП с широким диапазоном физико-механических, трибологических и коррозионных свойств для самых разных сфер применения, которые еще не были изучены на предмет возможности использования МП данного типа.
Техническое решение позволяет не только значительно повысить микротвердость поверхности ТИ и ПТ, но и улучшить у их рабочей части следующие эксплуатационные характеристики:
–износостойкость за счет увеличения микротвердости;
–коррозионную стойкость за счет образования плотной и прочной
окисной пленки Al2O3 и значительной химической стабильности трехкомпонентного нитрида Ti и Al;
–ударостойкость за счет осаждения прилегающего к ТИ и ПТ адгезионного и одновременно буферного рентгеноаморфного Ti подслоя и ударостойких слоев с повышенной эластичностью из трехкомпонентного нитри-
да Ti и Al;
–трещиностойкость за счет улучшения сопротивляемости поверхности ТИ и ПТ воздействию переменных теплосиловых нагрузок, сопротивляемости рабочей части ТИ и ПТ упругопластическим деформациям, циклическим процессам схватывания, разделения стружки и поверхности многокомпо-
нентной многослойной TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленки;
– теплостойкость за счет осаждения термически устойчивых Ti1–хAlхN слоев, снижения тепловыделения на контактирующих поверхностях ТИ и ПТ.
Вышеперечисленные эксплуатационные характеристики МП свидетельствуют о повышении работоспособности и эффективности ТИ и ПТ.
133
Разработанная технология получения многокомпонентной многослойной TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ пленки на основе сложных нитридов приведена в приложении 6.
В соответствии с технологией методом электродугового испарения может быть получена многокомпонентная многослойная TiЭДИ-•TiNМР-
TiхZr1–хNМР+ЭДИ•-TiхZr1–хNМР+ЭДИ пленка с высокой износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионной стойкостью, обладающая другими физико-
механическими и трибологическими свойствами. Градиент структуры, фазового и элементного состава и свойств достигнут за счет попеременного и одновременного использования различных источников плазмы в соответствии с установленными в главе 3 оптимальными ТехП и ТемП электродугового испарения и магнетронного распыления.
Контроль состояния многокомпонентной многослойной TiЭДИ-•TiNМР-
TiхZr1–х NМР+ЭДИ•-TiхZr1–хNМР+ЭДИ пленки с высокой коррозионной, износо-, ударо-, тепло-, трещиностойкостью в процессе и после ее осаждения следу-
ет осуществлять в соответствии с приложением 2.
4.6. ОСНОВЫ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ МНОГОСЛОЙНОЙ
TINП.С-•TINН.С-TI1–ХAlХNН.С•-TI1–ХAlХNН.С ПЛЕНКИ С ГРАДИЕНТОМ
ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ, ТРИБОЛОГИЧЕСКИХ И КОРРОЗИОННЫХ
СВОЙСТВ СЛОЕВ
Основной задачей разработанной технологии является получение многокомпонентной многослойной TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки с комплексом физико-механических, трибологических и коррозионных свойств в низкотемпературных условиях электродугового испарения на базе МСЗ трехкомпонентных пленок на основе нитридов металлов для увеличения сопротивления поверхности подложки к совместному действию истирающих, высоких контактных и тепловых нагрузок, воздействию агрессивной среды.
В соответствии с технологией получение многокомпонентной многослойной TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки включает в себя два этапа очистки поверхности ТИ и ПТ и тестовых образцов с их нагревом и термомеханической активацией путем ионной бомбардировки с Uвыс = 800…1000 В и осаждение пленки в газовой смеси N2 и Ar. На первом этапе проводят очистку поверхности подложки в тлеющем разряде при бесконтактном нагреве поверхности резистивным нагревателем в течение 30 мин до 400…430 К, а на втором этапе – ионную очистку поверхности
134
ТИ, ПТ и тестовых образцов ионами Ti с ее нагревом до 665…695 К. После этого наносят нижний поликристаллический TiNп.с слой в течение 3 мин с окончательной его температурой после осаждения 670…700 К, затем осаждают чередующиеся наноструктурированные TiNн.с и Ti1–хAlхNн.с слои: слой TiNн.с наносят испарением двух Ti катодов при нагреве слоя до температуры 685…710 К в течение 3 мин, а слой Ti1–хAlхNн.с – одновременным испарением двух Ti и одного Al катода при его нагреве до температуры 690…720 К в течение того же времени. Осаждение чередующихся слоев повторяют по крайней мере три раза с достижением температуры верхнего слоя 730…760 К, причем последним наносят Ti1–хAlхNн.с слой.
Низкотемпературный нагрев ТИ и ПТ и тестовых образцов до температуры 400…430 К в течение 30 мин перед осаждением TiNп.с-•TiNн.с- Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки позволит равномерно нагреть поверхность ТИ, ПТ и тестовых образцов перед осаждением многослойной пленки и предотвратит притупление и перегрев режущих или формирующих кромок ТИ и ПТ.
Нагрев поверхности ТИ, ПТ и тестовых образцов до 665…695 К в процессе ионной бомбардировки ионами Ti с высоким напряжением 800…1000 В в течение 2 мин позволит термически активировать их поверхность и увеличить адгезионную прочность TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-
Ti1–хAlхNн.с пленки в целом.
Двухступенчатая очистка позволит стабилизировать структуру ТИ, ПТ и тестовых образцов и повысить адгезионную прочность TiNп.с-•TiNн.с-
Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленкибезсниженияпрочностныхсвойствТИиПТ. Нанесение на очищенную поверхность ТИ, ПТ и тестовых образцов ад-
гезионного нижнего слоя TiNп.с, обладающего значительной кристаллохимической совместимостью с материалом ТИ, ПТ и тестовых образцов, с естественным повышением их температуры до 670…700 К в течение 3 мин, позволит снизить напряжения на границе их раздела, повысить адгезию между ними и увеличить сопротивляемость TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки к действию высоких контактных нагрузок.
Нанесение в среде азота ТiNн.с при его нагреве до Тс = 685…710 К в течение 3 мин позволит получить его с высокими физико-механическими и трибологическими свойствами, что приведет к повышению сопротивляемости ТИ и ПТ к совместному действию истирающих и больших контактных нагрузок.
Нанесение в среде N2 трехкомпонентного Ti1–хAlхNн.с слоя при его нагреве до температуры до 690…720 К в течение 3 мин позволит получить
135
слой с градиентом физико-механических, трибологических и антикоррозионных свойств. Образующийся при повышении температуры в зоне трения или резки оксидный слой Al2O3 приводит к увеличению термостойкости TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки и сохранению ее физикомеханических и трибологических свойств, к повышению сопротивляемости ТИ и ПТ к воздействию агрессивной среды.
Осаждение слоя ТiNн.с испарением двух Ti катодов позволит увеличить степень ионизации парового потока и скорость протекания плазмохимических реакций, поддержать и увеличить температуру поверхности TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки до требуемого значения, снизить неравновесность процесса ее осаждения и получить пленку стехиометрического состава со стабильными свойствами.
Осаждение Ti1–хAlхNн.с слоя одновременным испарением двух Ti и одного Al катодов позволит обеспечить равномерную скорость нагрева поверхности TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки до требуемой величины.
Многократное(неменеетрехраз) чередованиеслоевсTiNн.с иTi1–хAlхNн.с сдостижениемтемпературыверхнегослояTiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки до 730…760 К позволит обеспечить градиент структуры и состава по ее сечению, стабильные свойства каждого слоя в отдельности и разделение внешнего воздействия между ними.
Нанесение последним Ti1–хAlхN слоя пленки повысит его сопротивляемость к совместному действию истирающих, больших контактных и тепловых нагрузок, воздействию агрессивной среды.
Технологические и температурные условия подготовки подложки и формирования многокомпонентной многослойной TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•- Ti1–хAlхNн.с пленки и МСЗ трехкомпонентных пленок на основе нитридов металлов установлены в результате оптимизация процесса ее осаждения по
Тс и Vнагр.с. Благодаря управлению структурой и свойствами TiNп.с-•TiNн.с- Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки получен требуемый комплекс стабильных фи- зико-механических, трибологических и коррозионных свойств.
С использованием МСЗ трехкомпонентных пленок на основе нитридов металлов были установлены оптимальные температуры осаждения слоев, при которых стабилизируется структура подложки, уменьшается диаметр первичных нанокристаллитов до 5 нм, увеличивается скорость протекания стадий формирования TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки и в конечном итоге процесс формирования поликристаллических и наноструктурированных слоев смещается в область более низких температур.
136
Технология позволяет после равномерного нагрева и стабилизации структуры материала ТИ и ПТ получать многокомпонентные многослойные TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки в различном структурном состоянии и с градиентом физико-механических, трибологических и коррозионных свойств путем изменения ТемП подготовки подложки и осаждения слоев пленки с высокой адгезионной прочностью подслоя с материалом ТИ и ПТ и между слоями.
Способ получения многокомпонентной многослойной TiNп.с-•TiNн.с-
Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки приведен в приложении 7.
Конструкция многокомпонентной многослойной TiNп.с-•TiNн.с-
Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки основана на очередности двух- и трехкомпонентных слоев, с различным составом и свойствами и разделением
внешнего воздействия между слоями.
В соответствии с технологией методом электродугового испарения может быть получена многокомпонентная многослойная TiNп.с-•TiNн.с-
TiхZr1–хNн.с•-TiхZr1–хNн.с пленка с комплексом высоких физико-механичес- ких, трибологических и коррозионных свойств в низкотемпературных ус-
ловиях электродугового испарения, обладающая другими физико-механи- ческими и трибологическими свойствами. Градиент структуры, фазового и элементного состава и свойств достигнут за счет управления температурой формируемых слоев в соответствии с установленными в главе 3 оптимальными ТехП и ТемП ЭДИ.
Контроль состояния многокомпонентной многослойной TiNп.с-•TiNн.с-
Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с пленки с градиентом физико-механических, трибологических и коррозионных свойств в процессе и после ее осаждения
необходимо осуществлять в соответствии с приложением 2.
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 4
1.Многослойные пленки на основе двух-, трех- и многокомпонентных слоев нитридов элементов III и IV групп Периодической системы обеспечивают многократное повышение работоспособности и долговечности ТИ и ПТ, эксплуатируемых в горно- и нефтедобывающей, инструментальной, ремонтной, химической и оборонной промышленности, технологическом машиностроении и авиастроении.
2.Рекомендованы технологии получения новых составов многослойных двухкомпонентных и многокомпонентных пленок с комплексом функциональных свойств.
137
–Технология получения в процессе низкотемпературного электродугового испарения высокоэкономичных многослойных пленок на основе двухкомпонентных слоев Ti-•TiNп.с-TiNн.с•-TiNн.с (Zr-•ZrNп.с-ZrNн.с•-ZrNн.с)
сградиентом структуры, фазового состава и комплексом стабильных фи- зико-механических, пластичных свойств и различной износостойкостью.
–Технология получения в процессе магнетронного распыления многокомпонентных многослойных пленок на основе двух- и трехкомпонент-
ных слоев Ti-TiN-•Zr-ZrN•-Zr-•TiхZr1–хN-Zr•-TiхZr1–хN (Ti-TiN-•Ti-TiN•- Ti1–хAlхN-Ti•-Ti1–хAlхN) с градиентом структуры, фазового и элементного
состава, высокой износостойкостью, термической устойчивостью и различными коррозионными свойствами.
– Технология получения в процессе электродугового испарения многокомпонентных многослойных пленок на основе трехкомпонентных слоев, разделенных металлическими нанослоями, Ti,Zr-ИБ-•TiхZr1–хN-Ti,Zr-ИБ•- TiхZr1–хN (Ti-ИБ-•Ti1–хAlхN-Ti-ИБ•-Ti1–хAlхN) с градиентом структуры, фа-
зового и элементного состава, высокой износостойкостью, термической устойчивостью, повышенной работоспособностью и различными коррозионными свойствами.
– Технология получения в процессе попеременного и одновременного протекания электродугового испарения и магнетронного распыления многокомпонентных многослойных пленок на основе двух- и трехкомпонентных слоев, осажденных с использованием различных источников плазмы, TiМР-•TiNМР-ZrNЭДИ•-TiхZr1–хNМР+ЭДИ (TiМР-•ZrNМР-TiNЭДИ•-TiхZr1–хNМР+ЭДИ)
с градиентом структуры, фазового и элементного состава, высокой износостойкостью, трещиностойкостью и различными физико-механическими
итрибологическими свойствами.
–Технология получения в процессе попеременного и одновременного протекания электродугового испарения и магнетронного распыления многокомпонентных многослойных пленок на основе двух- и трехкомпонентных слоев, осажденных с использованием различных источников
плазмы, TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ (TiЭДИ-•TiNМР-TiхZr1–х
NМР+ЭДИ•-TiхZr1–хNМР+ЭДИ) с градиентом структуры, фазового и элементного состава, высокой коррозионной, износо-, ударо-, тепло-, трещиностойкостью
иразличными физико-механическими и трибологическими свойствами.
–Технология получения в процессе низкотемпературного электродугового испарения многокомпонентных многослойных пленок на основе
двух- и трехкомпонентных слоев TiNп.с-•TiNн.с-Ti1–хAlхNн.с•-Ti1–хAlхNн.с (TiNп.с-•TiNн.с-TiхZr1–хNн.с•-TiхZr1–хNн.с) с градиентом фазового и элементно-
138
го состава, комплексом физико-механических, трибологических и коррозионных свойств.
Осаждение многослойных пленок на основе двух- и трехкомпонентных слоев с использованием одного источника плазмы либо при попеременной и одновременной работе различных источников для получения градиента структуры, фазового и элементного состава необходимо осуществлять при оптимальных ТемП и ТехП.
3.Технологии получения МП на основе двух-, трех- и многокомпонентных поликристаллических и наноструктурированных слоев нитридов элементов III и IV групп Периодической системы рекомендуется использовать для упрочнения и защиты ТИ и ПТ в горно- и нефтедобывающей, инструментальной, ремонтной, химической и оборонной промышленности, технологическом машиностроении и авиастроении.
4.На основании оценки экономического эффекта упрочнения технологического инструмента и пар трения путем осаждения многослойных
пленок на основе двухкомпонентных TiN, ZrN, трехкомпонентных TiхZr1–хN, Ti1–хAlхN и многокомпонентных Ti-B-Si-N слоев пленок установлен объем предполагаемой прибыли за 7 лет (при условии ежегодного роста производств), который составил 290 млн руб. (приложение 8).
139
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
1.В учебном пособии приводятся комплексные методики исследования фазового и элементного состава, структуры и свойств многокомпонентных многослойных пленок на основе наноструктурированных и поликристаллических слоев нитридов элементов III и IV групп Периодической системы и критерии выбора их слоев.
2.Технология получения многокомпонентных многослойных
TiМР-•TiNМР-ZrNЭДИ•-TiхZr1–хNМР+ЭДИ (TiМР-•ZrNМР-TiNЭДИ•-TiхZr1–хNМР+ЭДИ)
пленок, позволяющих значительно повысить стойкость режущего инструмента при комплексном воздействии высоких температур, давлений и скоростей, рекомендована для изготовления пар трения с высокой коррозионной, износо-, ударо-, тепло- и трещиностойкостью.
3. Технология получения многокомпонентных многослойных
TiЭДИ-•TiNМР-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ•-Ti1–хAlхNМР+ЭДИ (TiЭДИ-•TiNМР-TiхZr1–хNМР+ЭДИ•- TiхZr1–хNМР+ЭДИ) пленок показана для улучшения износо- и трещиностой-
ких, физико-механических и антифрикционных свойств сверл из быстрорежущих сталей и повышения прочности на изгиб ТИ и ПТ и стойкости их поверхности к истирающим нагрузкам.
4. Технология получения многокомпонентных многослойных
Ti,Zr-ИБ-•TiхZr1–хN-Ti,Zr-ИБ•-TiхZr1–хN (Ti-ИБ-•Ti1–хAlхN-Ti-ИБ•-Ti1–хAlхN)
пленок эффективна для повышения износо-, теплостойкости и коррозионной стойкости сверл и фрезы из быстрорежущих сталей и значительного улучшения эффективности обработки коррозионно-стойких, жаропрочных, конструкционных легированных и углеродистых сталей (без термообработки, техническая необходимость) и наплавленного металла электродов.
5.Упрочнение мелкоразмерного инструмента необходимо проводить на основании экспериментально полученной зависимости его температуры от диаметра и продолжительности нагрева. Для теплоотвода от мелкоразмерного инструмента в процессе осаждения МП на основе двухкомпонентных TiN слоев рекомендовано использовать бронзовую оснастку для низкотемпературного упрочнения мелкоразмерного инструмента.
6.Технология получения многослойных Ti-•TiNп.с-TiNн.с•-TiNн.с (Zr-•ZrNп.с-ZrNн.с•-ZrNн.с) пленок показана для многократного улучшения износо-, тепло- и трещиностойких свойств рабочих поверхностей пар трения топливорегулирующей аппаратуры.
140