Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения. Т. 6

.pdf
Скачиваний:
23
Добавлен:
13.11.2023
Размер:
23.3 Mб
Скачать

ной 2100 А имелась един­

Внешнее поле Нх <-Нь

ственная петля гистерези­

 

са

и коэрцитивная

сила

 

составляла

9

Э.

Точно

 

так же для всей системы

 

была

найдена

 

одна

по­

 

стоянная

времени

пере-

 

магничивания. Если

тол­

 

щина

одной

или

обеих

 

пленок

гораздо

больше

 

критической,

то

можно

 

получить псевдодоменную

 

стенку,

подобную

стенке

 

Блоха,

»

параллельную

 

плоскости пленки, как по­

 

казано на фиг. 2. Свой­

 

ства такой структуры мо­

 

гут

быть

весьма

слож­

 

ными.

 

 

 

усложне­

 

Дальнейшие

 

ния

возникают

при отри­

 

цательной

связи. Кнеер и

 

Цинн [20]

сообщили,

что

 

пленки EuS и NiFe становились независимыми, когда толщина слоя EuS превышала 250 А. Иначе говоря, один слой мог быть перемагничен независимо от другого. Используя идеи, на кото­ рых основана формула ( 1), эти исследователи приписали такое поведение системы низкому значению постоянной А для EuS. Но Ан и Алмази [18, 21] показали, что низкое значение tc обусловле­

но отрицательным взаимодействием. Таким образом, пленки ста­ новятся независимыми при таких толщинах, когда энергия маг­ нитного поля верхней пленки (фиг. 2) превышает энергию связи:

t > EJMHa ,

(2)

где Е0— энергия связи на единицу поверхности границы раз­

дела.

В двухпленочной структуре, толстой или тонкой, разумно го­ ворить об энергии связи на единицу площади пленки, как это только что было сделано, однако трудно получить значение ука­ занной величины, которая по существу представляет собой от­ несенную к единице площади пограничную обменную энергию. Для тонкой структуры с одновременным перемагничиванием пленок это фактически и невозможно. Для толстой структуры искомую величину определить можно, но для получения кор­ ректного значения необходимо проследить изменение направле­ ния вектора намагниченности при перемещении от слоя к сло}о

гораздо детальнее и строже, чем это было сделано в рассмотрен­ ных моделях. Этот вопрос обсуждается в разд. 11,2.

Вторая структура с прямым обменным взаимодействием изображена на фиг. 3: две ферромагнитные пленки связаны че­

рез промежуточную слабоферромагнитную пленку. Такая струк­ тура была впервые получена Брюэром, Массне и сотр. [22] как

побочный результат исследования «косвенной» связи. Изучен­ ные образцы состояли из напыленных слоев сплава 81Ni— 19Fe

толщиной от

1000 до 2000 А, слоя палладия переменной тол­

щины и слоя

из сплава 35Со—52Nt— 13Fe толщиной 1800 А.

— 2

— 3

Фиг. 3. Структура, в которой две пленки связаны через слабоферромагнитнын слой.

J, з снльноферромагннтные слои; 2— слабоферромагннтный слой

Было обнаружено, что нижняя и верхняя ферромагнитные пленки взаимодействуют, когда толщина промежуточной пал­ ладиевой пленки ниже некоторого значения (около 300 А для пленок, приготовленных при комнатной температуре), и что энергия связи увеличивается почти линейно с уменьшением этой толщины. Оказалось также, что энергия связи менялась с тем­ пературой опыта, уменьшаясь с ростом температуры, как пока­ зано на фиг. 4.

Продолжению этой работы посвящены публикации [23—27], в которых продемонстрировано, что связь возникает вследствие диффузии ферромагнитного материала в палладий и образова­ ния ферромагнитного сплава. Существование диффузии было строго подтверждено зависимостью силы связи от температуры напыления, а также увеличением связи в результате последую­ щего отжига [23]. Далее, температурная зависимость связи (фиг. 4) в точности совпадает с температурной зависимостью намагниченности. Отсюда следует, что в результате диффузии Ni, Fe или Со в слой Pd образуется слабоферромагнитный сплав, или, точнее, сплав с меняющимся по толщине составом. Тогда верхняя и нижняя пленки оказываются связанными вплоть до температуры, близкой к ферромагнитной темпера­ туре Кюри слабомагнитного сплава. Сплавы с температурами Кюри, лежащими в интервале от 0 до 200 °С, можно получить при относительно низких концентрациях Ni, Fe или Со в Pd [28, 29], однако в [23] указывается, что кобальт мог диффунди­ ровать и в очень большом количестве.

Для доказательства существования диффузии Массне [26, 27] исследовал намагниченность рассматриваемых структур как функцию температуры и сравнил ее с намагниченностью струк­ тур без промежуточного слоя палладия. Было обнаружено, что магнитный момент действительно зависит от присутствия пал­ ладиевого сплава. Магнитный момент быстро увеличивается

Фиг. 4. Зависимость энергии связи от температуры для структуры (Ni—Fe)—Pd—Со (для одной из толщин промежуточного слоя палладия) [22].

при понижении температуры в соответствии с предсказанием диффузионной модели.

Сыотер [30] продолжил исследования диффузии, изучив влияние отжига. Он измерил влияние отжига на анизотропию и коэрцитивную силу обеих пленок, а также на их связь. Была обнаружена весьма сложная зависимость энергии связи от тем­ пературы и времени, из которой следует невозможность описа­ ния процесса отжига с помощью лишь энергии активации. По­ этому Сыотер предположил, что ферромагнитный сплав обра­ зуется путем объемной диффузии и диффузии по границам зе­ рен, так что результирующая пленка обладает весьма неодно­ родным профилем состава.

Следует отметить, что энергия связи между верхним и ниж­ ним слоями пропорциональна косинусу угла (cos0) между их

намагниченностями [24, 25]. Намагниченность одного слоя дей­ ствует подобно эффективному полю на намагниченность дру­ гого слоя. Мы увидим, что тот же закон действует и в ряде

других ситуаций, в частности, как и следовало ожидать, в случае магнитостатической связи. Неизвестно, должна ли эта зависи­ мость проявляться только для объемной диффузии, поэтому мы не можем решить, вытекает ли этот результат из диффузионной модели.

От рассмотренных структур всего один шаг к структурам с однородными промежуточными слоями с низкими темпера­ турами Кюри, например, из элементов типа Gd или какого-ни­ будь сплава. Этот слой может создавать эффективную связь между верхней и нижней пленками. Естественно, что напыление следует проводить при достаточно низких температурах для предотвращения диффузии. В работах [26, 27] это достигалось напылением промежуточных слоев из Pd—Со. Температурная зависимость была аналогична наблюденной в предыдущем при­ мере. Оказалось, что в пределах точности эксперимента для промежуточных пленок тоньше 100 А связь разрушается при температурах Кюри промежуточного слоя. Ли и Томпсон [31] предложили использовать для этой цели сплавы Ni—Fe—Си, Ni—Fe—Мо и особенно Ni—Fe—Cr. Эти авторы изучали одно­ слойные пленки последнего сплава и нашли, что из-за метал­ лургической нестабильности с ними трудно работать. Насколько известно автору, до сих пор никто не изучил угловую зависи­ мость энергии связи в системе с более или менее однородным изотропным промежуточным слоем. Теоретически в таких систе­ мах должен существовать однородный поворот спинов от од­ ного направления к другому. Следовательно, в слое

Е = A (ду/дх)2= А (0//)2,

(3)

где <р — угол вектора намагниченности внутри промежуточного слоя (как функция х), А — постоянная обменного взаимодей­ ствия в пленке, t — ее толщина, угол 0 определен выше.

Было бы интересно экспериментально исследовать эту угло­ вую зависимость и сравнить ее как с теорией, так и с результа­ тами для диффузионных пленок.

Недавно Хагедорн [32] предложил новую структуру, близ­ кую к описанной. Она похожа на структуру, изображенную на фиг. 3, но вместо двух ферромагнитных пленок, связанных сла­ бомагнитной, состоит из пленки с низкой анизотропией, распо­ ложенной между двумя пленками с высокой анизотропией. Вследствие анизотропии закон взаимодействия модифицируется и соотношение (3) уже более неприменимо [32]. Хагедорн [32] проанализировал свойства такой структуры и предположил, что с ее помощью можно получить исключительно высокие магнит­ ные проницаемости. Мы обсудим эту систему при рассмотрении вопросов перемагничивания в разд. III, 2.

2. ФЕРРО-АНТИФЕРРОМАГНИТНАЯ СВЯЗЬ (ОБМЕННАЯ АНИЗОТРОПИЯ)

Обратимся теперь к структуре лишь слегка более сложной, чем изображенная на фиг. 1, но обнаруживающей удивительное

многообразие интересных эффектов. Эта структура состоит из связанных ферро- и антиферромагнитной пленок (фиг. 5). Если ферроили ферримагнитная пленка намагничена до насыще­ ния при температуре выше температуры Нееля (TN) антиферро­

магнитной пленки, то картина источников обменной анизотро­ пии схематически может быть представлена на фиг. 6, а. Спины

Ф и г. 5. Структура с ферро-антиферромагнитнон связью.

/ —ферромагнитный слой; 2 —антиферромагыитный слой.

антиферромагнетика разупорядочены. Если теперь структуры охладить ниже TN и если плоскость границы раздела не яв­

ляется плоскостью компенсации намагниченности антиферро­ магнетика, то создается ситуация, показанная на фиг. 6, 6. Ори­

ентация спинов в антиферромагнетике определяется направле­ нием намагниченности насыщения в ферромагнетике. Такое же положение может возникнуть, если антиферромагнитная пленка образуется в результате окисления ферромагнитной пленки при температуре ниже TN. В каждом из этих случаев изменение

ориентации спинов при пересечении границы раздела опреде­ ляется обменным взаимодействием между ферро- и антиферро­ магнитной пленками. Поэтому в этом состоянии спины анти­ ферромагнетика стремятся удержать спины ферромагнитного слоя в их первоначальном положении (фиг. 6, в). В этом случае

с помощью ряда методик можно наблюдать однонаправленную обменную анизотропию. Положение, величина и точное напра­ вление анизотропии будут зависеть (по крайней мере отчасти) от кристаллографических свойств обеих пленок. Анизотропия максимальна в состоянии, приведенном на фиг. 6, б, умень­

шается для других взаимных кристаллографических ориента­ ций и исчезает, когда плоскость раздела является плоскостью компенсации антиферромагнетика (фиг. 6, г).

Впервые обменную анизотропию и ряд родственных эффек­ тов наблюдали Майклджон и Вин в 1956 г. [33], после чего эти явления были широко изучены. Эти авторы наблюдали рас­ сматриваемые явления в частично окисленном мелкодисперсном

порошке кобальта, но по существу такой же эффект обнаружи­ вается в неоднородных однофазных системах и в тонких плен­ ках. Последние представляли собой ферромагнитный металл с антиферромагнитным окислом или нанесенные друг на друга ферро- и антиферромагнитные слои.

Антиферромагне* тик Ферромагнетик

/

^

1 1 1

I

i

i

111

i

\

-

i l l

,

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

/

/

tt i t i t

1

1

1

1

1 1

 

I I i 1 N

 

 

 

a

 

 

6

 

 

 

ii

i I

t i

\

Г \

\

|

j

 

i

h

\\

\\

\\

"

1"

l

'

'

 

\

\

\

"

 

j

 

 

i

в

2

 

Фиг. 6. Схематическая

картина источников обменной анизотропии [3].

а —высокие температуры;

б —температура ниже Гуу» в —в перемагннчнвающем поле;

? —граница раздела является плоскостью компенсации.

Кроме системы Со—СоО, имеются сообщения о большом количестве двухкомпонентных систем из ферро- и антиферро­ магнетика. В их число входят: Fe—FeO [34], Fe—FeS [35, 36], Ni—NiO [37, 38], сплав Ni—Fe и его окисел [39], а также си­ стема, состоящая из сплавов Ni—Fe и Ni—Fe—Mn [40, 41]. В перечисленных структурах ферро- и антиферромагнитный ма­ териалы. содержат по крайней мере один общий магнитный ион, однако это не обязательно для существования обменной анизо­ тропии, поскольку она была обнаружена и в системе (Ni—Fe) — СГ2О3 [42]. Согласно данным [43], ее наблюдали и в системе

(Ni—Fe)—Сг (весьма вероятно, однако, что этот случай отно­ сится по существу к предыдущей системе).

К неоднородным однофазным системам с ферромагнитноантиферромагнитной или ферримагнитно-антиферромагнитной связью относятся сплавы Си—Мп и Ag—Мп [44], (Ni, Ре)зМп [45], Fe65(Nii-*Mn*)35 [46], различные смешанные манганаты [47]

и смешанные ферриты [48]. Системы этого типа иногда обнару­ живают слабый ферромагнетизм Дзялошинского — Мориа [49]. Тогда они могут иметь очень высокие коэрцитивные силы и, сле­ довательно, обладать однонаправленным вращательным момен­ том даже в довольно больших полях. Однако можно отличить эти явления от эффектов связи по другим их проявлениям, например по обсуждаемым ниже формам петли гистере­ зиса.

Обычно при изучении пленочных структур рассматривались двухкомпонентные системы, а не гетерогенные материалы, кото­

рые сами по себе

широко трактуются в литературе [3—5, 50].

В дальнейшем мы

их здесь также не будем рассматривать,

кроме случаев, когда они могут пролить свет на проблемы пле­ ночных структур. Майклджон [4] привел один эксперименталь­ ный пример ферро-ферримагнитной связи между Fe и Fe30 4. Казалось бы, он представляет значительный интерес, однако с тех пор дальнейших исследований не было проведено. Читате­ лям, интересующимся данным вопросом, следует обратиться к более раннему обзору [4].

Наиболее удачными структурами для изучения обменной анизотропии в тонких пленках сначала оказались системы ме­ талл— окисел типа Со—СоО или Ni—NiO, а позже — системы NiFe—NiFeMn. Первую структуру обычно получали нанесением пленки металла с последующим ее окислением. Вероятно, в большинстве подобных структур окисел имеет эпитаксиальную ориентацию, отвечающую грани кристаллита, на которой он образуется. Эти системы имеют один серьезный недостаток. Пленка окисла обычно очень тонкая, как правило порядка не­ скольких десятков ангстрем, и ее свойства трудно очень точно измерять. Но этот недостаток компенсируется тем, что по сра­ внению со многими другими системами здесь очень хорошо контролируются условия на границе раздела. Свойства изучае­ мых окислов можно четко определить, и обычно они известны. Кроме того, ряд свойств можно исследовать в функции от вре­ мени окисления, т. е. при увеличении толщины окисла, хотя абсолютную величину толщины обычно на опыте не удается хорошо измерить. СоО является классическим примером анти­ ферромагнетика с очень сильной анизотропией, a NiO — подоб­ ным же примером вещества со слабой анизотропией; отсюда следует, что любое свойство, общее обеим системам, вероятно,

является общим для всех таких структур с обменной анизотро­ пией *).

Сплавы Ni—Fe—Мп обычно образуются в результате диф­ фузии через границу раздела между пленкой из сплава Ni—Fe и нанесенной сверху пленкой марганца [40, 41]. Эти системы об­ наруживают эффекты обменной анизотропии вплоть до темпе­ ратур выше 200 °С [47], что позволяет проводить измерения при комнатных температурах. Очевидный недостаток данной си­ стемы состоит в том, что она не является сплавом одного по­ стоянного состава, а имеет переменный состав. Однако, судя по высоким температурам Нееля, найденным в этих пленках, вполне возможно, что наиболее важные эффекты отвечают со­ ставам, недавно изученным в [46]. Принципиальным преимуще­ ством этой системы является легкость изменения свойств путем отжига, благодаря чему оказалось возможным изучить большое число магнитных характеристик в зависимости от отжига и вре­ мени диффузии. Этим методом Глазер и сотр. [53—56] смогли показать, каким образом коэрцитивная сила и одноосная анизо­ тропия изменяются с развитием однонаправленной анизотропии, изучить сдвиг петли гистерезиса и вращательный гистерезис (см. ниже).

Структура, показанная на фиг. 5, обнаруживает удивитель­ ное многообразие необычных свойств. Некоторые из них наблю­ дались самыми первыми исследователями в этой области, тогда как другие — в результате более детальных работ; часть свойств открыта совсем недавно. Чтобы оценить значимость этих свойств, прежде всего обсудим теорию когерентного вращения, которая в прошлом применялась для описания перемагничивания таких пленок. Затем, рассматривая различные эффекты, мы сможем сравнить ее предсказания с экспериментом. Эта модель использовалась весьма плодотворно при изучении невзаимодей­ ствующих ферромагнитных пленок [1, 57—59], хотя она не очень хорошо описывает реальные процессы при перемагничивании [60]. Ее применение к широкому классу многослойных структур описано в разд. III, 2. Однако, как будет показано ниже, для случая ферро-антиферромагнитной связи эта модель оказывается совершенно несостоятельной.

Следуя анализу Майклджона [4], с помощью диаграммы, изображенной на фиг. 7, записываем полную энергию связан­ ной системы:

Е = — НМ cos(0 — р) + KAF sin12 о — JKcos (0 — а), (4)

где Е — энергия на единицу объема ферромагнетика; первый

член в правой части уравнения — энергия поля на единицу объ-

1) Общие свойства NiO суммированы в [38], а

СоО — в [51]. Анизотро­

пия и магнитострикция этих веществ обсуждаются

в [52].

Фиг. 7.

Векторная диаграмма направлений поля и спинов в системе

с обменной

анизотропией [4].

ема ферромагнетика, второй член — энергия анизотропии на единицу объема антиферромагнетика и третий член — энергия анизотропного обмена на единицу объема ферромагнетика. При написании выражения (4) было сделано несколько предположе­ ний. Во-первых, считается, что направление спинов в обоих ма­ териалах не зависит от расстояния от границы раздела и, вовторых, что все плоскости пленки действуют одинаково. Далее пренебрегают анизотропией ферромагнитной пленки, а также вкладом приложенного поля в антиферромагнетике по сравне­ нию с обменной анизотропией. Первые два предположения чрез­ вычайносомнительны, третье и четвертое в большинстве случаев, вероятно, разумны. Углы а и р определяются из требования минимума энергии (4) и условия их непрерывного изменения, пока значение Е отвечает относительному минимуму. Коувел

[50] применил эту модель к случаю гетерогенного сплава. Повидимому, такая трактовка весьма плодотворна для этой за­ дачи, но, как будет видно, она гораздо менее подходит для рас­ сматриваемой здесь проблемы тонких пленок.

Условия минимума энергии дЕ/да = dEfdр = 0 для выра­

жения (4) дают

Vк!Кар) sin (р — а) =

sin 2а,

 

(HM/JK) sin (0 — р) =

sin (Р — а).

^

Уравнения (5) решаются численно и упомянутая выше одно­ направленная анизотропия проявляется двумя путями. Вопервых, кривые механического момента будут содержать

 

компоненту с

sin G,

про­

 

порциональную этой

ани­

 

зотропии. Во-вторых, пет­

 

ля //^-гистерезиса (или

 

снятая

в петлескопе)

бу­

 

дет

сдвинута

относитель­

 

но поля. Оба эти явления

 

изображены

на

фиг.

8.

 

Простая теория [33] пред­

 

сказывает, что

смещение

 

петли

гистерезиса

 

Я„

 

должно

быть

связано

с

 

константой обменной ани­

 

зотропией Кс,

определяе­

 

мой из кривых механиче­

 

ского момента, формулой

 

 

На = Ке/М.

(6)

 

Однако это

равенство

 

редко

выполняется

[42].

Ф и г. 8 (данные [33]).

Теоретическое

и экспери­

а —петля гистерезиса; б —кривая вращательного

ментальное значения

мо­

момента в системе с обменной анизотропией.

гут

отличаться

почти

в

 

два

раза. Отсюда немед­

ленно вытекает требование построения более строгой модели, объясняющей поведение пленок с обменной анизотропией.

Указанные выше свойства обычно, но не всегда наблюдаются в системах ферромагнетик — антиферромагнетик. Если анизо­ тропия антиферромагнетика достаточно низка, то вращательный момент, обусловленный обменной анизотропией, может разру­ шаться перемагничиванием. Так иногда происходит, например, в случае системы Ni—NiO. По-видимому, универсальным свой­ ством таких структур является сохранение вращательного ги­ стерезиса до очень сильных полей. Вращательный гистерезис служит мерой энергетических потерь при вращении приложен­ ного поля на угол 360°

На фиг. 9 эти потери изображены в зависимости от прило­ женного поля для двух систем: для нормального ферромагне­ тика или взаимодействующих пленок выше температуры TV, когда потери на гистерезис исчезают при полях, превышающих поле анизотропии, и для структуры ферромагнетик— антифер­ ромагнетик. В последнем случае потери становятся почти по­ стоянными выше некоторого поля. Совершенно очевидно, что такое поведение не может быть связано только с ферромагнети­ ком, но должна существовать некоторая переориентация спинов антиферромагнетика, которая из-за высокой анизотропии не