Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Локальные методы анализа материалов

..pdf
Скачиваний:
10
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
13.21 Mб
Скачать

ЛОКАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА МАТЕРИАЛОВ

М О С К В А « М Е Т А Л Л У Р Г И Я » 1 9 7 3

УДК 543.422 : 543.422. . . . . ;

і\ • .гг.т '

И.Б. БОРОВСКИЙ, Ф. Ф. ВОДОВАТОВ, А. А. ЖУКОВ, В. Т. ЧЕРЕПИН

УДК 543.422: 543.422

Локальные

методы анализа материалов.

В о р о в с к и

її I I . Б., В о д о в а т о в Ф. Ф., Ж у к о в А. А., Ч е ­

р е п и її В. Т. М., «Металлургия», 1973 г. 296 с.

Содержит сведения по выявлению микропримесеіі в материалах методами спектрального, масс-спектрального, рентгеноспектрального анализа, а также методами регистрации вторичной ионной эмиссии. Приведены результаты отечественных и зарубежных исследовании.

Предназначена для физиков и инженеров, разрабатывающих ме­ тоды контроля материалов, а также работающих в области полупро­ водниковой электроники, физического металловедения, методов ис­ следования и производства новых кристаллических материалов. Ил. 110, Табл. 18. Список лит. 424. назв.

Л

3 1 1 1 — 0 9 2

Ш — 7 3

0 4 0 ( 0 1 ) — 7 3

© Издательство «Металлургия». 1973.

 

 

ВВЕДЕНИЕ

 

 

 

 

 

Локальные методы

исследования и анализа

элемен­

тов в

микрообъемах

представляют

собой в

настоящее

время

исключительно

важное

направление

в

науке,

быстро

и эффективно

развивающееся. Многие

научные

проблемы не могут быть

решены

без

применения ло­

кальных методов.

 

 

 

 

 

 

 

 

В настоящее время можно назвать, по крайней мере,

десять различных локальных

методов.

 

 

 

Исторически одним из

первых

методов

локального

анализа большинства

элементов

Периодической

систе­

мы явился метод оптической спектроскопии.

 

 

Преимуществом

метода

эмиссионной

спектроско­

пии является возможность

производить

анализ

любого

элемента Периодической системы. Основной недостаток заключается в отсутствии точных методик для количе­ ственного анализа вследствие значительного влияния «третьих» компонентов и невозможности проведения по­ вторного анализа выбранного микрообъема.

Около 20 лет назад был открыт и разработан рентгеноспектральный локальный метод анализа элементно­ го состава по первичным рентгеновским спектрам. Этот метод за сравнительно короткий срок получил ми­ ровое признание и практически в настоящее время нельзя указать области науки и техники, где бы он ни применялся. Объемная локальность метода

0,3—0,1 мкм3, метод

имеет

очень высокую

локальную

чувствительность

Ю - 1

2

— Ю - 1 6

г при низкой

относитель­

ной чувствительности,

составляющей

0,1—0,01%

для

элементов от лития до урана.

 

 

 

 

В последние

годы

 

очень

интенсивно

начали

разви­

ваться методы локального анализа, связанные с исполь­ зованием принципов масс-спектроскопии, т.е. основан­ ные на изучении спектров масс атомов элементов, полу­ ченных при использовании искрового и лазерного способа возбуждения. Одним из первых для локального массспектрального анализа был применен искровой массспектрометр.

1*

3

При достаточно высокой чувствительности определе­

ния примесей 10~7%

(ат.) локальность

этого метода, со­

ответствующая зоне

обыскривания,

невелика — около

100 мкм. Искровой масс-спектрометр,

по-видимому, бо­

лее целесообразно использовать для послойного анализа. Десять лет назад был разработан метод элементного

анализа по вторичной

ионной

эмиссии, использующий

принципы масс-спектроскопии,

но лишь в 1970 г. был

начат промышленный

выпуск

опытной серии приборов.

Пользуясь специальными приемами анализа, можно оп­ ределять и количественное содержание элемента. Чувст­ вительность регистрирующей системы такова, что с ее

помощью

можно

проводить послойный

анализ состава,

 

 

 

 

о

последовательно

снимая слои толщиной

от 35 до 100

А и

определяя

концентрацию микроколичеств вещества

до

10- 6 %. По вторичной ионной эмиссии можно проводить анализ начиная с водорода до изотопа с массовым чис­

лом >200.

 

 

 

Поверхностная локальность

метода составляет

1 —

2,5 мкм и определяется качеством ионной оптики.

Про­

ведение количественного анализа по вторичной

ионной

эмиссии до сих пор представляет

очень сложную

задачу.

В настоящее время при помощи рассматриваемых в книге методов локального анализа удалось изучить и ре­ шить большое число принципиально новых и важных в научном и практическом отношении задач. Так, напри­ мер, уже коренному пересмотру подверглось понятие од­ нородности сплава, соединения, минерала. Оказалось, что в очень большом числе случаев малые примеси, вво­ димые, например, в сплавы, концентрируются по грани­ цам зерен или образуют микроскопические включения с элементом примеси, количество которого в шихте состав­ ляет 10~4%, а в микроскопическом соединении порядка де­ сятков процентов. Были решены многие вопросы, связан­ ные с подвижностью атомов в твердом состоянии; полу­ чены новые данные о перераспределении элементов при механико-термической обработке сплавов, о распределе­ нии примесей в процессах искусственного и природного роста кристаллов; определено валентное состояние ато­

мов

в микроскопических областях и включениях и

т. п.

Нет никакого сомнения, что методы локального

ана­

лиза

будут играть все возрастающую роль в современ­

ной

науке и технике.

 

Раздел I

Искровой спектральный и масс-спектральный локальный анализ

Глава 1'

Анализ микропробы

по оптическим спектрам

Основы эмиссионного спектрального анализа и его особенности при проведении локального анализа

Определение химического состава методом оптической эмиссионной спектроскопии основано на регистрации света, испускаемого атомами искомых элементов при сообщении им энергии. В результате поглощения энер­ гии валентные электроны переходят в возбужденные состояния, находящиеся энергетически выше их нор­ мальных стабильных уровней (в локальном спектраль­ ном анализе возбуждение атомов происходит в микро­ искре между зондирующим электродом и исследуемым образцом). Энергия, необходимая для возбуждения ва­ лентных электронов и их перехода на уровни, достаточ­ но высокие для того, чтобы произошло испускание света, невелика (1 —10 эв). Оптические эмиссионные спектры( таким образом, зависят от поведения периферийных эле­ ктронов в атомах в отличие, например, от спектров масс, которые зависят от свойств атома.

Эмиссионный спектральный анализ особенно приго­ ден для анализа веществ в твердом состоянии (меньше для жидкостей и газов). Количественный эмиссионный микроанализ основан на использовании существующей зависимости интенсивности какой-либо спектральной ли* нии элемента в зарегистрированном спектре от его коли­ чества в аналитическом промежутке. В первом прибли­ жении можно считать, что при стабильных условиях воз­ буждения вещества в промежутке существует линейная

зависимость интенсивности спектральной линии от коли­ чества анализируемого элемента в пробе [1]:

КС,

где 1Л— интенсивность спектральной линии;

К—постоянная

величина;

С—содержание

элемента в анализируемой пробе.

Задачей количественного микроанализа является оп­ ределение содержаний всех элементов в пробе. При фо­ тографическом методе регистрации спектров микроиск­ ры содержание элементов определяют на основе фото­ метрической обработки спектрограмм. Однако вследст­

вие

природы

одного из

главных

исходных

материалов

 

 

 

 

 

для

высокочувствитель­

 

 

 

 

 

ных пластинок — желати­

 

 

 

 

 

ны

нельзя

ожидать

иден­

 

 

 

 

 

тичности

различных

пар­

 

 

 

 

 

тий фотоэмульсии. Учесть

 

 

 

 

 

невоспроизводимость

фо­

 

 

 

 

 

тоэмульсин

можно

пост­

 

 

 

 

 

роением

характеристиче­

0,001

0,01

0,1

1,0

ской кривой

плотность

 

 

Экспозиции

 

почернения

— экспозиция

Рис.

1.

Характеристическая

кри

для

каждой

фотопластин­

ки.

По

мере

увеличения

 

 

вая фотоэмульсии

 

 

 

 

интенсивности

линии

воз-

 

 

 

 

 

растает плотность почернения 5 изображения этой ли­ нии на фотопластинке. Зависимость интенсивности от плотности очень сложна, она обусловлена экспозицией, типом эмульсии и длиной волны излучения, многими вто­ ричными факторами. Типичная характеристическая кри­ вая приведена на рис. 1.

Она имеет ^-образную форму с прямолинейным уча­ стком в середине. Максимальную точность анализа мож­ но получить при работе на этом участке, называемом об­ ластью нормальных почернений.

Процесс количественного анализа намного упростился бы, если бы можно было измерять интенсивность линии только определяемого элемента. На практике при изме­ рении интенсивности линии определяемого элемента вво­ дят поправки.

Первая поправка вводится на элемент (внутренним стандартом), специально добавляемый в пробу в опреде­ ленной концентрации. Такая поправка называется внут­ ренней стандартизацией. Внутренним стандартом может

служить и основной элемент пробы. В этом случае ин­ тенсивности спектральных линий основного компонента могут служить основой для сравнительной оценки коли­ чества определяемого элемента. Аналитические линии основного и анализируемого элемента называют аналити­ ческой парой.

Отношение интенсивностей линий аналитической пары не должно зависеть от изменения условий разряда и должно определяться отношением концентраций,- кро­ ме -того, линии должны соответствовать одинаковой сте­ пени ионизации (чаще всего используются линии одно­ кратно ионизированных атомов).

Отношение интенсивностей линий анализируемого эле­ мента и основного особенно нестабильно в начальный пе­ риод искрового разряда вследствие усиленного протека­ ния окислительно-восстановительных процессов, измене­ ния химического состава поверхности рабочей части элек­ тродов (исследуемый образец сам служит электродом)

при переносе

на них анализируемого

вещества

и пр.

В связи с этим до начала снятия спектрограмм

преду­

сматривается

начальный

«холостой»

период работы —

обжиг для дугового и

предварительное обыскривание

для искрового источников. При локальном анализе этот период необходимо стремиться свести до минимума — чем он дольше, тем больше область поражения исследу­ емого образца как по площади, так и по глубине.

Вторая поправка относится к учету фона: она исклю­ чительно важна в микроанализе. Учет сплошного фона наиболее прост в том случае, когда плотность почернения

фотопластинки, обусловленная

наличием

сплошного

спектра, находится

в

области

нормальных

почернений,

т. е. 5 ф > 0 , 3 (см.

рис.

1). Используя фотографические

свойства фотопластинки, для плотности почернения на участке, где отсутствуют линии, можно написать:

где а—постоянная

= А + УІб/ф,

(1)

величина (инерция

фотоэмульсии);

у.— фактор контрастности фотопластинки;

/ф— интенсивность фона.

 

Плотность почернения фотопластинки

на участке, где

находится спектральная линия элемента, определяется выражением:

где

5 л = а + у1ё(/л + /ф),

(2)

S„ — плотность почернения пластинки в месте рас­

 

положения спектральной линии;

 

1Л — интенсивность спектральной

линии.

Из выражений (1) и (2) на основе определенных при фотометрической обработке величин Sn, 5ф и у можно найти следующее отношение интенсивности спектраль­ ной линии к интенсивности сплошного фона в месте рас­ положения этой линии:

£ с £ ф

- А = 10 7 — 1.

(3)

7Ф

 

В случае, когда при помощи микроискры

анализирует­

ся сложное вещество, в спектре будут линии всех имею­ щихся элементов. Некоторые линии можно применить для количественного определения элементов, т. е. исполь­ зовать их в качестве аналитических. Обозначим элемен­ ты, присутствующие в веществе, номерами 1, 2, 3, п. а интенсивность соответствующих им аналитических линий Л , h, h, •••> -Лі- Для каждой аналитической линии можно определить отношение интенсивности линии к интенсив­ ности фона по формуле (3). Обозначим эти отношения

соответственно Л , Pz, Pz,

Рп:

 

 

 

Р

— ^х

Р

---

^ •

р =

^3 .

р

_

^"

1

'

 

"

^Фз

3

^Фз

"

 

п

Отношения

Р\,

Pi,

Ръ,

Рп

пропорциональны

содер­

жанию элементов в аналитическом промежутке.

С ь С2,

Обозначим

содержание

элементов

в пробе

С3,

С„. При отсутствии

избирательности

испарения

искомые соотношения содержаний элементов могут быть найдены по формулам:

 

Р*

 

 

 

 

Р3

С, _ / С 2 \

Р1

 

.

С3

_ [ С 3 \

Рг

 

Pi

Lэт

 

 

 

V Pi

 

 

 

 

 

Рп

 

 

 

с«

\

 

Pi

(4)

 

Сі

Сі

}

(Л.)

 

 

 

 

 

 

\

Рг 1:

 

В некоторых случаях необходимо знать процентное содержание элементов в анализируемой пробе. Спект­ ральным анализом обычно удается определить отноше­ ние концентрации всех элементов к концентрации того элемента, который условно обозначен номером один.

Спектроаналитически определяют отношения

Из условия

С і + С 2 + С з + . . . + С 7 1

=

100 легко

опреде­

лить и концентрации

всех элементов, %"

 

С1

 

 

 

100

 

 

 

=

і

^2

с 3

 

с„

 

 

 

|

 

 

 

-г "7Г~ +

~7Г~ +• •

 

С і

 

 

 

 

Сх

Сі

 

 

 

 

 

1 0 0 - ^

 

 

 

С „ =

 

F

^

 

^ -

(5)

 

 

т

Ci

Cj

 

С і

 

Формулы (4) являются основными при определении отношения концентрации какого-либо элемента к кон­ центрации того элемента, который в пробе принят основ­ ным (элемент 1).

Однако следует отметить, что рассмотренная матема­ тическая запись физической модели количественного мик­ роанализа возможна лишь при выполнении неравенства Кайзера [2] для порога обнаружения:

/ф+л / Ф > 31/20^,

где <3ф — квадратичная ошибка измерений фона.

Если концентрации ниже порога чувствительности, оп­ ределенного по Кайзеру, то различия /л +ф и /ф не позво­ ляют проводить определение концентрации. В этом случае, если чувствительность ограничена большой дис­ персией фона, ее можно повысить, увеличивая число измерений и повышая тем самым точность определения.

В результате левая часть

неравенства станет больше

правой,

что и означает увеличение чувствительности.

Для

каждого элемента

при вычислении отношений

концентраций необходимо иметь спектр лишь одного эта­ лона. При этом, конечно, не учитывают возможности из­ бирательного испарения элементов и возможности изме­ нения условий возбуждения элементов в аналитическом промежутке, зависящие от изменения отношения концент­ раций CJCi. При этих вычислениях не учитывают воз­ можное влияние третьих элементов. Однако во многих случаях микроанализа эти влияния практически отсут-

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ