Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Основы электронно-лучевой обработки материалов

..pdf
Скачиваний:
8
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
18.54 Mб
Скачать

эмиссия ЭЛЕКТРОНОВ ИЗ ЗОНЫ ВОЗДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА И ЭФФЕКТИВНЫЙ КПД ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО НАГРЕВА

Эмиссию электронов из зоны воздействия электронного луча необходимо изучать по двум причинам: эмиссия практически определяет эффективный КПД нагрева; кинетическая кривая эмиссии, как было показано выше, имеет экстремальные точки. Такое изменение кривой эмиссии можно использовать для контроля

иуправления процессов воздействия.

Вобщем энергетическом балансе процесса электронно-луче­ вого воздействия помимо тепловых потерь необходимо учитывать также потери на электронную эмиссию из зоны обработки (вторич­ ные электроны, неупругорассеянные, упругоотраженные [18]), световое и рентгеновское излучение. При температуре плавления

ивыше для металлов существенной становится термоэлектронная эмиссия. Анализ этих потерь [5, 14, 42, 45, 84, 143] показывает, что такие статьи баланса, как потери с истинно вторичными элек­ тронами и термоэлектронами, потери на лучеиспускание и рент­ геновское излучение, пренебрежимо малы ( <3%). Основная доля потерь приходится на упруго- и неупругоотраженные электроны (например, для вольфрама до 50%). В связи с этим считают, что для электронно-лучевого нагрева эффективный КПД т)и опреде­

ляется главным образом коэффициентом отражения г [5, 185, 188, 216].

Для определения г в литературе существует несколько под­ ходов. Некоторые авторы считают, что г является функцией только

атомного номера Z элемента,

например, в

таком виде

[185]:

 

 

 

 

_ _

 

7 Z — 80

 

 

 

 

 

 

In 7

Г ~~ 14Z — 80

 

 

 

либо [216] г =

 

 

Другие

[188]

полагают, что г за­

—g----- 0,25.

висит также

и

от

энергии

пучка

Е:

т = Z l^ E 112.

Таблица 12

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

при U =

Экспериментальные

характеристики

процесса

отражения

20 кВ,

___________________________ / =

4 мА

некоторых

металлов____________________________

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6* =

Среднеариф­

 

 

0,

г/см8

б. 1 0 * , см

 

 

 

метическое

М е т а л л

 

Z

г

 

= гьгУг

отклоненне

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

б*, %

А1

 

 

2,7

3,1

 

13

0,17

 

1,23

15

Ti

 

 

4,5

1,9

 

22

0,22

 

1,17

9,3

Zr

 

 

6,5

1,3

 

40

0,26

 

1,16

8,4

Нержа реющая

 

 

7,9

1,0

 

26

0,30

 

0,83

16,8

сталь

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ni

 

 

8,9

0,94

 

28

0,32

 

0,91

15

Си

 

 

8,95

0,93

 

29

0,32

0,92

14

Мо

 

 

10,2

0,82

 

42

0,34

 

0,97

9,3

W

 

 

19

0,43

 

74

0,50

 

0,91

15

71

 

 

 

 

Эффективный КПД, вы­

 

 

 

 

раженный

через

коэффи­

 

 

 

 

циент отражения

[5],

 

 

 

 

 

т]и =

1 — Ат,

(62)

 

 

 

 

где

к

= 0,45-г-0,50 — ко­

 

 

 

 

эффициент пропорциональ­

 

 

 

 

ности,

характеризующий

 

 

 

 

распределение

отражен­

 

 

 

 

ных

электронов

по их

 

 

 

 

энергии.

 

 

коэффици­

 

 

 

 

Измерения

 

 

 

 

 

ента

 

отражения,

сделан­

Рис. 41. Характер изменения тока / М( про-

ные

по методике,

описан­

ной

выше,

показывают,

ходящего через мишень, с увеличением тока

луча 1п для ряда материалов:

что

величина

 

г

линейно

1 — W;

2 — Мо;

3 — Ni;

Си, 4 — нержавеющая

уменьшается

с

 

повыше­

сталь;

5 — Zr,

6 — Ti,

7 — А1

нием мощности

электрон­

 

 

 

 

ного

 

луча.

 

Обработка

экспериментальных данных, представленных на рис. 41, показы­ вает, что из характеристик процесса отражения (табл. 12) можно выделить константу б* = r6Z^3 — const = 1,1*1СГ4 см.

Уточненный анализ экспериментальных значений коэффици­ ента отражения г [12] показывает (табл. 13), что с достаточной для инженерных расчетов точностью величину г можно опреде­

лять

из выражения

 

 

 

 

 

 

 

Г

т

(63)

 

 

 

CZ1*

 

 

 

 

 

где

т — масса

атома, г;

С — константа, для

легких элементов

(Z = 6-т-7) С =

106 -10"23

г, для

тяжелых

(Z = 74-~ь-92) С =

= 15,5-10“аз г. Среднеарифметическая ошибка величины С не более 0,02, а квадратичная ошибка среднеарифметического <0,07.

Можно предположить, что С есть произведение массовой плот­

ности электронов

рб

(в г/см2)

и величины

сечения рассеяния

о

(в см2).

по

формуле

Шонланда

рб ^ 2 ,М 0 ~ 12 /У2,

то

Если принять

для диапазона 5—30 кВ значения рб лежат в пределах (5,2 *1СГ5 -г- -т- 1,9-10“®) г/см2. Соответственно из величины С получаем о = = 2,1- Ю“18~—5,6 *1СГ20 см2, что примерно на 1—■2 порядка меньше значений, получаемых другими способами. В то же время вели­ чина рб на 1—2 порядка меньше, чем определяемая по формуле Шонланда.

Поэтому можно предположить, что связь г с характеристиками твердого тела и параметрами электронного луча имеет вид

(64)

рd o Z l/3

72

Таблица 13

Связь коэффициента отражения г (экспериментальные данны е [1 2 ]) с некоторыми характеристиками элементов

 

 

 

 

 

и

= 30 кВ

 

 

 

и = 10 кВ

 

 

 

U — Ъ кВ

 

 

 

 

 

 

Масса

 

 

Отклоне­

 

т-1023

Отклоне­

 

т -Ю28

Отклоне­

 

Элемент

z

атома

 

т. 1023

ние от

г

 

ние от

г

 

ние от

 

 

 

 

т 1024, г

г

rZ1/ 3

среднего,

/•Z1/ 3

среднего,

т + / 3

среднего,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

%

 

 

 

%

 

 

 

%

с

 

 

б

10,8

0,06

9,9

— 11,6

0,072

8,2

—22,0

0,085

7,0

— 32,0

А 1

 

 

13

44,8

0,155

12,3

+

9,8

0,177

10,8

+

2,9

0,186

10,3

 

0

S i

 

 

14

48,0

0,162

12,3

+ 9 , 8

0,186

10,7

+

1,9

0,197

10,1

— 1,9

T i

 

 

22

80,0

0,254

11,2

 

0

0,268

1и, 6

+

1,0

0,270

10,6

+

2,9

Cr

 

 

24

85,7

0,27

11,0

+

1,8

0,283

10,5

 

0

0,285

10,4

+

1,0

Fe

 

 

26

92,5

0,288

10,9

—2,7

0,296

10,6

— 1,0

0,3

10,5

+

1,9

N i

 

 

28

97,4

0,308

10,4

— 7,1

0,323

9,9

—5,7

0,333

9,7

— 5,8

C u

 

 

29

105

0,319

10,6

— 5,3

0,339

10,0

— 4,8

0,352

9,6

—6,8

Z n

 

 

30

109

0,33

10,7

— 4,5

0,342

10,3

— 1,9

0,352

10,0

—2,9

Ge

 

 

32

122

0,334

11,5

2,7

0,349

11,0

+

4,8

0,362

10,6

+

2,9

Mo

 

 

42

160

0,385

12,0

+

7,1

0,381

12,1

+

15,2

0,367

12,6

+

22,2

 

 

 

14,5

A g

 

 

47

179

0,42

11,8

+

5,3

0,420

11,8

+

12,4

0,418

11,8

+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Среднее

(абсолют­

_

11,2

 

5,6

10,5

 

5,3

10,3

 

7,0

ное)

значение

74

306

0,501

14,6

—2,7

0,483

15,1

— 2,6

0,472

15,5

- 3 , 1

W

 

 

P t

 

 

78

324

0,516

14,7

—2,0

0,503

15,0

— 3,2

0,486

15,6

—2,5

Au

 

 

79

328

0,521

14,7

—2,0

0,501

15,3

- 1 , 3

0,489

15,7

— 1,9

U

 

 

92

381

0,534

15,8

+

5,3

0,513

16,4

+ 5 ,8

0,495

17,0

4-6,3

Среднее

(абсолют­

15,2

3,0

15,5

 

3,2

16,0

 

3,4

ное)

значение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 42. Зависимость величины вторичного

Рис. 43.

Зависимость

вторичного

тока от степени фокусировки Д/ф

тока 1К

от

степени

фокусировки

электронного луча при сварке с различной

электронного

луча и

характерные

погонной

энергией

нержавеющей

стали:

очертания зон проплавления при

1 — 1565;

2 — 1045;

3 ~ 785; 4 — 520

кал/см

сварке с погонной энергией 1565 кал/с

Представленная на рис. 40 кривая характера изменения во времени тока, проходящего через деталь, по существу является кинетической кривой эмиссии из зоны обработки для одного им­ пульса луча. В зависимости от плотности энергии q% эта кривая растягивается или сжимается вдоль временной оси с сохранением экстремальных точек. Наличие сложной кривой прохождения тока через образец или тока на коллекторе позволяет с очень большой точностью производить дозировку введенной энергии

при работе в импульсном режиме.

Д^

возможен

нагрев

ме­

При

длительности импульса t <

талла до заданной температуры Т <

Гпл,

при

t <

(Д£х +

Д^2)

можно

нагревать образец, исключая

<

интенсивное

испарение,

наконец при длительности импульса t

(Д ^ +

Д^2 + Д/3) мож­

но получать любую заданную глубину

канала.

 

 

 

При работе с непрерывным движущимся пучком, например при сварке с кинжальным проплавлением, детали кривой эмиссии, характерной для одного импульса, «смазываются», и кривая в за­ висимости от достигнутой глубины проплавления имеет либо мак­ симум (имеется в виду коллекторный ток), соответствующий ин­ тервалу Дf2 на рис. 40, либо минимум (интервал At3). Тем не ме­ нее, и в случае непрерывного луча можно показать, что различ­ ным участкам кривой эмиссии соответствуют разные конфигура­ ции зон проплавления.

На рис. 42 представлена зависимость тока эмиссии из ванны, снятая с помощью полукольцевого датчика щелевого типа на уста­ новке ЭЛУ-9 при воздействии на нержавеющую сталь. Связь

74

Рис.

44. Схема, поясняющая причины V-

золота (1), серебра (2), меди (3)

или W-образиого характера формы кривой

с энергией 30 кэВ, У (ф) — е про­

тока,

проходящего через мишень

извольных единицах [12]

геометрии зоны проплавления с характером кривой тока эмиссии

представлена

на рис. 43.

Помимо

V-образной формы кривой тока, проходящего че­

рез деталь,

имеется и W-образная [103, 187]. Если в процессе

электронно-лучевого воздействия конфигурация образующегося канала близка к цилиндрической (рис. 44, a), то испускаемые дном канала под разными углами электроны по мере углубления канала задерживаются его стенками. При этом левая ветвь V-образной кривой для случая большой глубины канала всегда должна быть ниже правой. Действительно, в начальный момент воздействия на плоскую поверхность металла положение левой ветви определяется коэффициентом отражения г. К концу воздей­ ствия, когда канал достаточно глубок, его стенки улавливают не только термоэлектроны, но и отраженные, количество которых определяется величиной г. Поэтому правая часть V-образной кри­ вой (см. рис. 44) расположена выше левой.

Если же в процессе воздействия канал начинает принимать коническую форму (рис. 44, б), то по мере его углубления эмиттированные со дна электроны также будут задерживаться стен­ ками. Однако в связи с увеличением угла конуса по мере углубле­ ния наступает ситуация, когда электроны со дна канала могут вылетать, практически не взаимодействуя со стенками. Дальней­ шее углубление конического канала все же приводит к улавлива­ нию эмиттированных электронов, но с меньшей эффективностью, чем в случае V-образной кривой. Поэтому правая ветвь лежит либо несколько выше, либо на уровне левой, а высота амплитуды центрального пика не превышает уровней левой и правой ветвей (рис. 44, в).

Из приведенных рассуждений следует, что эффективность нагрева в случае конического канала ниже, чем в случае цилин-

75

дрического. Характер прохождения тока через образец по типу V- или W-образных кривых связан с геометрией образующегося канала.

Угловое распределение отраженных электронов мало отлича­ ется от изотропного по закону косинусов (рис. 45) [12]. В связи с этим можно воспользоваться законами движения молекуляр­ ных потоков в цилиндрических и конических отверстиях (трубах) и оценить связь величины отраженного тока с геометрией канала.

Рассчитаны коэффициенты вероятности прохождения молеку­ лярным потоком трубы (коэффициенты Клаузинга) в зависимости от соотношения ее геометрических размеров H/r0f где Я — глу­ бина канала; г0 — радиус его сечения (табл. 14 и 15) [41 ].

Таблице* 14

 

Коэффициенты вероятности прохождения молекулярным потонем

W

 

 

цилиндрических труб с соотнош ением длины

/ / к радиусу

 

 

 

 

 

 

поперечного

сечения

г

 

 

 

Н/г

|I

W

Н/г

W

Н/г

W

Н/г

|

W

0

 

1

1,4

0,5970

3,4

0,3931

16

 

0,1367

о д

 

0,9524

1,5

0,5810

3,6

0,3809

18

 

0,1240

0,2

 

0,9092

1,6

0,5659

3,8

0,3695

20

 

0,1135

0,3

 

0,8699

1,7

0,5518

4,0

0,3589

30

 

0,0797

0,4

 

0,8341

1,8

0,5384

5,0

0,3146

40

 

0,0613

0,5

 

0,8013

1,9

0,5226

6,0

0,2807

50

 

0,0499

0,6

 

0,7711

2,0

0,5136

7,0

0,2537

60

 

0,0420

0,7

 

0,7434

2,2

0,4914

8

0,2316

70

 

0,0363

0,8

 

0,7177

2,4

0,4711

80

 

0,0319

0,9

 

0,6940

2,6

0,4527

9

0,2131

90

 

0,0285

1,0

 

0,6720

2,8

0,4359

10

0,1973

100

 

0,0258

1,1

 

0,6514

3,0

0,4205

12

0,1719

1000

 

0,002658

1,2

 

0,6320

3,2

0,4062

14

0,1523

 

 

 

1,3

 

0,6139

 

 

 

 

 

 

 

 

Интенсивность

молекулярного потока из трубы

 

 

 

 

 

 

I -

WSa,

 

 

 

 

(65)

где W — коэффициент

вероятности прохождения;

S — площадь

поперечного сечения трубы; а — количество

вещества,

испаряе­

мого в единицу времени с единицы поверхности дна цилиндри­ ческой трубы.

Для оценки величины отраженного тока, выходящего из кана­

ла, выражение (65) можно записать

в другом виде:

К - WrIш

(66)

где W — вероятность выхода отраженных электронов из канала (коэффициент Клаузинга); г — коэффициент отражения; /п—■ ток луча.

76

Таблица 15

Коэффициенты вероятности прохождения молекулярным потоком W конических расш иряющ ихся к выходу отверстий

Половина

 

 

 

При Н/г

 

 

 

угла при

 

 

 

 

 

 

 

вершине

 

 

 

 

 

 

 

конуса,

0,1

0,2

0,5

1,0

2,0

5,0

10,0

град

 

 

 

 

 

 

 

0

0,952399

0,909215

0,801271

0,671984

0,514231

0,310525

0,190940

1

0,954079

0,912490

0,608852

0,685401

0,536021

0,345995

0,236829

5

0,960373

0,924763

0,837261

0,735659

0,617560

0,478646

0,408600

10

0,967347

0,938359

0,868615

0,790779

0,705799

0,617242

0,580298

20

0,97865

0,96027

0,91851

0,87642

0,83704

0,80558

0,79641

30

0,98691

0,97614

0,95344

0,93338

0,91771

0,90814

0,90611

40

0,99268

0,98701

0,97619

0,96806

0,96288

0,96046

0,96008

50

0,9964

0,9939

0,9896

0,9870

0,9857

0,9852

0,9851

60

0,9986

0,9977

0,9965

0,9959

0,9957

0,9956

0,9955

70

0,9996

0,9994

0,9993

0,9992

0,9992

0,9992

0,9991

80

1, 0С0С

1,0000

1,0000

1,0000

1,0000

1,0000

1,0000

89

1,0000

1,0000

1,0000

1,0000

1,0000

1,0000

1,0000

Если полагать, что эффективный КПД электронно-лучевого нагрева определяется в основном потерями с отраженными элект­ ронами, то с учетом (62) и (66)

= 1 - kWr.

(67)

Результаты экспериментальной проверки справедливости вы­ ражения (67) представлены в табл. 16.

Таблица 16

Сравнение расчетных по формуле (87) и экспериментальных [45] значений % для различной глубины цилиндрического канала в нержавеющ ей стали

 

 

 

при г0 =

1,5 мм

 

 

 

Угол рас­

Глубина

 

Н /г0

W

Расчетное

 

Эксперимен­

крытия

канала Я,

 

значение

 

тальное зна­

канала, а 0

мм

 

 

 

■Пи

 

чение “Пн

10

8,5

 

5,67

0,295

0,96

 

0,98

15

5,6

 

3,73

0,375

0,95

 

0,97

30

2,6

 

1,73

0,54

0,92

 

0,92

45

1,5

 

U0

0,672

0,90

 

0,88

60

0,9

 

0,58

0,79

0,88

 

0,87

75

0,4

 

0,26

0,89

0,87

 

0,86

 

 

 

 

 

 

 

Таблица 17

Влияние формы канала

на

интенсивность эмиссии отраженны х электронов

 

для случая алюминия —- 0,17;

k = 0 ,5 )

 

 

И /г0

Коэффициент

■ % = 1 -

Н1г0

Коэффициент

■Пи = 1 -

Клаузинга

 

Клаузинга

 

 

W

 

k W r

 

W

 

k W r

0

1

 

0,915

4,0

0,3589

 

0,970

0,5

0,8013

 

0,932

5,0

0,3146

 

0,973

1,0

0,6720

 

0,943

7,0

0,2537

 

0,980

2,0

0,5136

 

0,956

10,0

0,1973

 

0,983

3,0

0,4205

 

0,964

 

 

 

 

Как видно из табл. 17, величина т|и приближается

 

к 95—97%

при Н/г0 >

2 или,

если говорить

о коэффициенте

формы шва

в случае сварки, при

К — HiВ >

1.

 

 

 

Как видно из табл. 18, при угле конусности более 30° из ка­ нала уходят практически все отраженные электроны, что суще­ ственно снижает эффективность нагрева.

Использование коэффициентов вероятности W, рассчитанных для коротких и длинных цилиндрических, конических и щеле­ вых труб, позволяет, регистрируя в процессе электронно-луче­ вого воздействия ток эмиссии из зоны обработки, контролировать геометрическую форму канала при сварке и фрезеровании мате­ риалов в импульсных режимах.

78

Таблица 18

Влияние конусности канала на интенсивность эмиссии отраженных электронов

 

 

(алюминий;

H/rQ=

10)

 

 

Половина

Коэффициент

 

Половина

Коэффициент

 

угла при

чи

угла

при

Чи

вершине

Клауэинга

вершине

Клауэинга

конуса,

W

 

конуса,

W

 

град

 

 

град

 

 

5

0,4086

0,97

30

0,90611

0,92

10

0,5803

0,95

40

0,96008

0,918

20

0,79641

0,93

50

0,9851

0,916

ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА С ПЛАЗМОЙ В ЗОНЕ ОБРАБОТКИ

Экспериментами

установлено,

что в зоне

воздействия

пучка

с плотностью потока

q2 ^

107ч-108 Вт/см2 образуется термически

неравновесная плазма с

высокой

плотностью

частиц [19,

140].

Проникновение электронного луча на большую глубину в вещество (например, при образовании глубоких проплавлений) облегча­ ется образованием плазмы в канале, потери энергии электронов в которой незначительны.

Распределение энергии электронов по глубине их проникно­ вения определяется выражением

dU = п „ [ S

V )

К г а X o rJ IU) Urj j

d x ,

(68)

где dU — энергия, теряемая

электроном

на пути

dx в

плазме;

oiz — сечение

ионизации с

(зарядом Ze)

нейтрального вещества;

arj — сечение

возбуждения

(в состоянии

/) атома;

Uiz

и Urj

энергия ионизации и возбуждения в соответствующие состояния; па — концентрация атомов.

При высокой энергии электронов (UQ> 4 • 103 эВ) на образо­ вание каждой пары ионов (на один акт ионизации) электронным ударом расходуется энергия, в среднем равная 2ULl (удвоенная энергия однократной ионизации). Поэтому вместо выражения (68) приближенно

 

 

dU = naOi (U) 2Uа dx.

(69)

Функция

ot (U) при энергии U0 — 10Ч-10&эВ аппроксими­

руется

выражением

 

 

 

al (U) = AUTB.

(70)

При

этом

для паров металлов А ^ 1СГ13-4- 10-1\

1.

79

Интегрирование выражения (69) в пределах от U0 до U с уче­

том выражения (70) дает

 

 

 

 

 

 

U =[U \гВ-1 1

2 { B + \) A n aUlxx] 1 /В + 1

(71)

откуда при

U = 0 глубина

проникновения

электронов

 

 

 

L ■

и,в

 

(72)

 

 

- f 1) A n JJii

При В

1 выражения (71) и (72) будут иметь следующий вид

 

 

U = ((/о — 4AnaUпх)1/2',

 

 

 

 

L =

^/4Л па£/а .

 

 

Результаты

вычислений

по

формулам (71) и (72) при

U0 —

= I05 -г- 2-105

эВ, Ulx =7, 5

эВ, at = 10_19ч-10~18 см2 показы­

вают (рис. 46), что проникновение электронов через ионизирован­ ный газ в канале проплавления возможно даже при плотности атомов пара по оси канала порядка 1021 см-8.

Закономерность потерь мощности в единице объема (Вт/см3) при прохождении электронов через плазму может быть выражена

уравнением

[26]

 

 

 

 

du (х)

___________ 2AnaUn___________

(73)

 

dx

+1 - 2 + 1) AnaUa x]B^ B^

 

 

Если

1 и j

= const, тогда

 

 

 

 

2AtlgUlxj

 

(74)

 

 

( u l - * A n aV.xxyV

 

 

 

'

 

Из выражений (73), (74) видно, что потери энергии электрон­ ного потока при его прохождении через плазму максимальны на глубине, равной полной длине пробега быстрых первичных электронов. Поэтому температура плазмы в нижней части плазмен­ ного канала на границе с твердым телом будет выше, чем в верхней части. Это приводит к увеличению термодинамического давления и выбросу вещества из зоны обработки [19].

При взаимодействии моноэнергетического пучка малой плот­ ности с плазмой он теряет значительную часть энергии направлен­

ного

движения — примерно

s/8 NimUl.

Часть

этой энергии

(Ve N xtnUl)

переходит в энергию

электрического

поля,

другая

часть

идет

на увеличение тепловой

энергии: в пучке х/ 24

NxtnUl

и в плазме х/6 N хтЩ. Энергия

направленного движения,

приоб­

ретаемая плазмой при взаимодействии с

пучком,

мала:

 

N2mU2*** (Ni/Ns) N m U l

80