книги / Основы электронно-лучевой обработки материалов
..pdfРис. 46. Изменение энергии пер- Рис. 47. Потери энергии электронного луча винных электронов при их про- при взаимодействии с плазмой никновении в плазму с плотно стью частиц 1021 смг%[19]
Минимальная плотность плазмы, в которой пучок начнет воз буждать колебания,
где v — скорость электронов; г — радиус пучка. При v = 1010 см/с и г = 0,05 см П 2 ^ 4 '1 0 13 см"3.
Образование плазмы с плотностью п<х > п* приведет к рас сеянию пучка и потерям энергии (рис. 47). Торможение электро нов пучка и передача энергии на плазменные колебания приводит к «размытой» передаче энергии стенкам канала не только элек тронами пучка, но и плазмой. Это вызывает уменьшение кон центрации пара и соответственно плазмы. Параметры пучка восстанавливаются, процесс повторяется.
Таким сбразом, рассмотрение процесса взаимодействия элект ронного луча с плазмой приводит к необходимости рассматри вать непрерывнодействующий луч как «квазиимпульсный» вслед ствие периодической расфокусировки его при взаимодействии с плазмой [101 ].
Помимо нейтрального и ионизированного пара, а также ка пель конденсата из зоны обработки навстречу лучу идет поток отраженных, вторичных и термоэлектронов. Энергия термоэлек тронов мала (<50 эВ), но количество их может в десятки раз пре вышать число падающих первичных электронов. При воздействии луча на диэлектрики происходит значительная вторичная эмис сия (коэффициент вторичной эмиссии для большинства диэлектри ков г] = 1-г-2, а для щелочно-галоидных монокристаллов г] = = 10—г-15). Поэтому для понимания механизма электронно-луче вого воздействия представляет интерес оценка вероятности взаи модействия медленных электронов в зоне обработки с первичным пучком электронов.
Минимальное количество медленных электронов, необходимое для экранировки (рассеяния) луча по порядку величины п х ^
81
^ S/cr, где 5 — сечение луча, см2; а — сечение, в котором проис ходит взаимодействие, см2.
Первичные электроны со скоростью v x проходят слой вещества толщиной б (глубина пробега) и рождают соответственно г\1 втори чных электронов (здесь г\ — коэффициент вторичной эмиссии, / — ток луча, выраженный числом электронов в единицу времени, с”1). Вторичные электроны со скоростью v 2 уходят из слоя б. Так как время т2 = б/н2 много больше времени х х = б/ох, количество рожденных в слое вторичных электронов за период т2 п 2 = г]/т2 (т2/тх).
Тогда условие рассеяния электронов первичного пучка на вторичных можно выразить как г\1х2 (х2/хх) > (S/o). Из этого выражения получим критическое значение тока луча, при котором начинается существенное взаимодействие с медленными электро нами:
|
|
|
|
|
/ > |
4ох'1г|6 ’ |
|
(75) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
где |
d — диаметр |
луча, |
см. |
на диэлектрик при г) = 10, |
б = |
||||
= |
Для |
случая |
воздействия |
||||||
10 мкм, |
U = 25 кВ, |
d = 0,5 мм, |
Е = |
10 эВ имеем vx ^ |
1 х |
||||
X 1010 см/с, |
v 2 = |
1,8 • 108 см/с, |
о ^ |
Я2 = |
1,6 • 10-15 см2 (здесь %— |
||||
длина волны медленного электрона) I |
> 63,5 А, что соответ |
||||||||
ствует |
концентрации мощности q2 > 8 • 107 Вт/см2. |
|
|||||||
|
Для типичного случая образования в металле канала глуби |
||||||||
ной Я = 1 |
см с поперечным сечением 5 = 1 *10~2 см2 при rj = 1 |
(здесь т] — коэффициент ионизации) и вышеназванных значениях
остальных |
параметров имеем |
/ > 3 А и q2 > 7,5 - 106 Вт/см2. |
|
Если |
учесть, что в слое пара толщиной Я концентрация частиц |
||
п ^ |
1018 см“3, то приведение Я |
к эквивалентному слою твердого |
|
тела |
б |
1 -10”4 см дает / > |
3-104 А и q2 > 7,5-1010 Вт/см2. |
Таким образом, взаимодействие электронного луча со вторич ными электронами в диапазоне концентраций мощности q2 =
— 105-ь 106 Вт/см2 (сварка и обработка) не существенно и начинает играть роль при q2 > 108 Вт/см2.
Из выражения (75) можно определить также и критические параметры электронного луча, при которых начинается существен ное взаимодействие с паром или плазмой в зоне обработки.
Для типичного |
случая |
при |
U = |
25 кВ, а |
= |
Ы 0 " 18 |
см2, |
|||
v x = |
Ы 0 10 |
см/с, |
d = |
0,5 |
мм, |
rj = 1 |
получаем |
I |
> 5 -10“а Л, |
|
q2 > |
5*105 |
Вт/см2, |
что |
и имеет место |
в реальных |
условиях |
об |
работки при взаимодействии пучка с паром. Если степень иони
зации газа т] = 0,1; |
0,01, то соответственно I > 5 - 1 0”1 A, q2 > |
> 6*10б Вт/см2 и I |
> 5 A, q2 > 6-107 Вт/см2, т. е. наиболее су |
щественно взаимодействие с нейтральным паром, которое начи нается уже при сравнительно умеренных плотностях потока (при q2 > 1 -105 Вт/см2).
82
При прохождении пучков заряженных частиц через слабоио- низованную плазму происходит не торможение, а выбывание ча стиц пучка из первоначального фазового объема благодаря столк новению электронов с нейтральными частицами. С учетом этого явления предложен критерий устойчивости плазмы [65]
где п 0— первоначальная плотность электронов в пучке; п — плот ность электронов в пучке после прохождения слоя плазмы тол щиной L; X — длина свободного пробега электронов; v0 — ча стота столкновения электронов плазмы с нейтральными части цами; v x — частота столкновений электронов пучка с нейтраль ными частицами плазмы; со — частота собственных колебаний плазмы.
Сравнение критериев (75) и (76) показывает, что они анало гичны.
Глава 3
ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ЗОНЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА НА МАТЕРИАЛЫ
ПОВЕДЕНИЕ КАНАЛА В ЖИДКОЙ ФАЗЕ В ПРОЦЕССЕ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ
Узкий и глубокий канал в жидком металле, появляющийся при воздействии электронного луча с q2 > q2— несомненно крайне интересное физическое явление. Для практических целей важность изучения этого явления связана с возможностью пред сказания некоторых технологических характеристик процесса глубокого проплавления: химического состава сварного шва, особенно при сварке разнородных материалов, зависящего от интенсивного перемешивания жидкого металла; дефектов форми рования сварного шва (газовых полостей и колебаний глубины проплавления по длине) эффективности процесса нагрева, зави сящей от геометрической формы канала (цилиндр, конус
и т. Д .) .
Рассмотрим особенности поведения канала в жидкой металли ческой фазе. Образование канала в жидком металле при воз действии электронного луча подтверждено экспериментами [213]. Во время сварки с несквозным проплавлением алюминия и нер жавеющей стали через образец пропускали пульсирующий поток рентгеновских лучей при напряжении около 600 кВ и фиксиро вали на рентгеновской пленке картину процесса проплавления. Установлено, что проплавление на большую глубину происходит с образованием в веществе канала, который периодически смыка ется, заполняясь жидким металлом (рис. 48). Смыкание канала начинается преимущественно в верхней его части. Это объясня ется отражением волны, образовавшейся при входе луча в жидко сть, от преграды (стенки канала) по аналогии с падением в жид кость твердого тела (снаряда ) [213]. Частота смыкания канала зависит от времени проникновения луча на заданную глубину, т. е. от его удельной мощности, для нержавеющей стали эта ча
стота f ж 10 Гц при q%= |
(1,7 -4- 2,0) -105 Вт/см2, для алюминия |
/ = 7-г-12 Гц при q2 ^ |
1,7*103 Вт/см2. |
Периодическое смыкание канала наблюдали также с помощью |
скоростной киносъемки (2500 кадр/с) в нержавеющей стали (не
подвижный |
луч |
при |
U = 125 |
кВ, |
I —8^-12 |
мА, |
q2^ (5 - 4 - |
|
-4-7)*106 Вт/см2, |
t = |
23-^45 |
с). Период |
смыкания |
составлял |
|||
72— 77 мс, |
что соответствует частоте |
/ = |
13-г-14 |
Гц |
[209]. |
84
Рис48. Эскизы различных форм канала, зафиксированных им пульсной рентгеносъемкой [21S]:
V
U — 25 |
кВ; |
/ =* 250 мА; « = |
|
==■2,5 см/с; глубина |
проплавления |
||
15 мм, |
д2 = |
1,5* Ю5 |
Bf/см2, нержа |
веющая |
сталь |
|
Ряд исследователей моделировали процесс образования канала
исделали попытку перейти к описанию реального канала в жидком металле с помощью критериев подобия.
Установлено, что с помощью стеклянного наконечника с от верстием диаметром 0,254 мм при давлении воздуха около 0,42 кге/мм2, струей воздуха можно получить впадину в ртути глуби ной 6,2 мм и диаметром около 1,6 мм. Гидростатическое давление столбика ртути в этом случае 10 гс/см2 [2081-
При моделировании процесса образования канала в прозрач ных жидкостях (вода, глицерин, вазелиновое масло) воздействием струи воздуха, перемещающейся с наложением синусоидальных колебаний, установлено, что при больших скоростях движения ка нала может происходить периодическое инерционное загибание его нижней части в сторону, противоположную направлению дви жения [23, 1331. Загибание тем сильнее, чем выше скорость пе
ремещения. Д ля алюминия критической скоростью, по достиже нии которой начинаются колебания нижней части канала, явля ется скорость > 1 , 1 см. Из экспериментов по моделированию следует, что периодический срыв нижней части канала может явиться причиной дефекта проплавления — колебаний глубины шва по его длине на больших скоростях сварки.
При наблюдении за процессом прохождения электронного
пучка через |
вакуумное |
масло |
ВКЖ -94 |
на |
установке ЭЛУРО |
|
в непрерывном и импульсном режиме |
[q2 = |
(0 ,6 н-2,0) • 108 Вт/см2, |
||||
U = 5 0 -Н 0 0 |
кВ, / — 6 |
мА, т = |
800 |
мкс, f = |
20-^-250 Гц] с по |
мощью скоростной киносъемки установлено, что при воздействии в непрерывном режиме в масле формируется узкий канал с кар тиной свечения, характерной для газового разряда высокого дав ления. При воздействии четырьмя импульсами при / = 250 Гц канал оказывается соответственно перемкнутым по длине в че тырех точках. Время существования канала /к много больше дли тельности импульса. При т = 800 мкс, tK= 28 мс, т. е. оно в 35 раз больше времени импульса. Время схлопывания tc ^ т #=« 1 • 10~3 с. Выброс масла из канала наблюдается лишь при схлопывании канала [128].
Скорость углубления канала, составляющая в начальный мо
мент ~ Ы 0 4 см/с, |
резко падает с увеличением глубины |
канала |
|
и, достигнув уровня |
~1 ■10s см/с, далее практически не меняется. |
||
Скорость истечения паров из канала достигает |
vn ~ |
105 см/с. |
|
Давление на дно канала (для пучка с U — 100 кВ и d — |
100 мкм) |
||
F — 1’10~2 кге, что соответствует 4Ffnds «=* 100 |
кгс/см2 [70]. |
85
Результаты многочисленных экспериментов показывают, что картина образования канала в жидком металле представляется весьма сложной. Канал, образованный неподвижным электронным лучом, пульсирует, периодически смыкается в верхней части. Картина движущегося канала еще более сложна. Имеющиеся в ли тературе данные о перемешивании металла в зоне образования канала [104, 105, 118, 209, 210] говорят об очень больших ско ростях движения жидкого металла, которые могут быть, ло-види- мому, только в случае турбулентного движения жидкости.
Для более ясного представления процесса образования и су ществования канала необходимо выделить задачи, решение ко торых позволит улучшить понимание гидродинамических явлений в зоне электронно-лучевого воздействия. Эти задачи следующие: а) определение величины деформации (пробега) поверхности жид кой фазы при действии на нее непрерывного или импульсного давления (паров); б) определение времени смыкания канала под действием гравитационных и капиллярных сил; в) рассмотрение баланса сил, действующих в канале, и условий, приводящих к его смыканию.
ДЕФОРМАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ЖИДКОЙ ФАЗЫ ПРИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОМ ВОЗДЕЙСТВИИ
При формулировании задачи о нахождении формы и величины углубления в жидкой фазе, образованной действием электронного луча, примем, что источник теплоты по поверхности распреде лен по закону Гаусса и пренебрежем объемным характером вы деления энергии, предполагая, что глубина проникновения источ ника мала по сравнению с размерами зоны плавления. Тогда за дачу о деформации жидкой фазы источником локального давления, приложенным в некоторой области, можно сформулировать в виде системы уравнений Навье—Стокса [146]:
- |^ |
+ (Svjo |
= - b v p |
+ vA£ + |
? f |
(77) |
где v —■вектор |
скорости |
частицы |
жидкой |
фазы; |
р — давление |
в жидкой фазе; |
|
-> • |
|
|
- ^ |
v — вязкость; g — вектор |
объемных сил; Fs — |
вектор поверхностных сил.
Система уравнений энергии, неразрывности и сохранения массы, а также (77) дает полное описание явлений деформации поверх ности жидкой фазы. Ввиду сложности решения указанной системы уравнений ограничимся анализом возможного установившегося процесса, когда v = const, и уравнение (77) существенно упро щается.
Проектируя уравнение (77) на направление нормали к поверх ности жидкой фазы при наличии осевой симметрии и обозначая
86
Рис. 50. Зависимость диаметра расплавленной зоны от тока луча (моноимпульс t ~ const):
/ — алюминий; 2 — нержавеющая сталь; 3 — вольфрам
Рис. 49. Зависимость глубины капала в модельной жидкости от давления струи газа [5J
через Z (г) профиль деформированнощвнешним давлением поверх ности, получим
Гг
(1 + z ' T 2 + Ml -l-z'2)1/2
z |
Fs (Z , r) |
(78) |
Л2 |
Гк |
|
где a2 = 2cr/pg— капиллярная постоянная; a — поверхностное натяжение.
В уравнении (78) не учтена температурная зависимость вхо дящих в него постоянных. Его решение с учетом различных зна чений постоянных и заданной зависимости поверхностных сил от Z и г может быть получено численным способом. При этом необходимо учитывать, что переход от предельно малых к пре дельно большим деформациям в реальных условиях может про исходить скачком, так как по мере прогиба жидкости поверхност ное натяжение растет до момента, когда углубление становится равным его радиусу [5]. При дальнейшем углублении канала радиус кривизны его не меняется, но возрастает гидростатическое давление.
Переход от малых деформаций к большим, как видно из рис. 49, происходит скачком [5, 6].
Экспериментами установлено, что при достижении критиче ской удельной мощности ql диаметр ванны жидкого металла из меняется скачкообразно (рис. 50), что связано, на наш взгляд, с переходом от малых к большим деформациям жидкости.
Рассмотрим теперь аналитические решения для предельных случаев, которые допускает уравнение (78).
87
Малые деформации |
|
поверхности, |
Z'2 |
1. Уравнение (78) |
|
запишем в виде |
|
|
Fs (Л |
Z) |
|
Z* + |
|
Z' — |
(79) |
||
г |
а |
|
|||
|
|
|
|
В общем виде при наличии деформации поверхностные силы Fs являются функциями г и Z. Если поверхностные силы, вызываю щие деформацию, обусловлены давлением отдачи вследствие испа рения вещества при его нагреве поверхностным источником, то
Ps (г, Z) = TVi'(rZ)Z)- |
ехР [ - В!Т (г. Z)h |
(80) |
где А (г, Z) — некоторая функция, зависящая от свойств ма териала и степени деформации поверхности; Т (г, Z) — распреде ление температуры на деформированной поверхности жидкости.
Решение уравнения (79) для функции Fs (r, Z) произвольного вида имеет вид
г <’) = О Д М + О Д М J - щ щ - +
+
< 8 1 >
где |
Сх и |
С 2— константы; |
Z0 (г) -= / 0 |
— решение однород |
ного |
уравнения (79). |
Бесселя первого рода нулевого по |
||
Здесь |
I 0 (U) — функция |
|||
рядка от |
мнимого аргумента. |
Fs с помощью константы, |
||
Если |
аппроксимировать |
функцию |
считая, что она не зависит от г9 то решение уравнения (79) будет иметь вид
^ - п р и г < | б |
Z = |
при г > |
(82) |
0 |
16|, |
|
где б — радиус площадки, на |
которую |
действует Fs. |
Знак минус в решении (82) связан с выбором системы коор динат.
Таким образом, для задания давления в функции, которая постоянна на участке конечного радиуса б, величина деформации поверхности должна носить ступенчатый характер. Это противо речит реальным условиям непрерывности производных от функ ции, описывающей деформацию поверхности, и принятому при
ближению Z '2 С 1 • Поэтому решение уравнения (79) запишем в виде
Z = |
pg + C l I 1 + ( l т ) |
+ " г ( '^ г ) + • • • ] > |
(83) |
|
где С1— константа, определяемая из граничного условия.
88
При г < 2а, где а ^ 0,5 см, для типичных металлов можно считать, что У4 (/72а)4 С 1, и ограничиться двумя членами ряда (83). Тогда
и максимальная величина деформации
. Fs [Л2
“Рё 1+ и2 ’
где jx = 8/(2а). Для случая, когда Fs = КГ3 кгс/см2, р = 10 г/см3,
р = |
0,5, численные оценки дают величину h = 0,02 см. |
|
||
Рассмотрим конкретный случай аппроксимации функции Fs. |
||||
Предположим, что |
|
|
|
|
|
FS ^ F 0(1 — r762) exp (— kr% |
(84) |
||
где |
F 0 — максимальное |
значение |
давления; б — радиус |
зоны, |
где |
давление отличается |
от нуля; |
k — коэффициент сосредото |
ченности; зависимостью Fs от Z в этом случае пренебрегаем. Для частного случая выражения (84) уравнение (79) допускает
точное решение:
7 (r, |
_ |
F0 exp (— kr*) |
|
|
|
VJ ~ |
4p g a 2 62£ 2 |
|
|
при условии, что г < |
б |
и |
|
|
‘ “ |
т |
И |
' - Г 7 3 ? ) - |
(86) |
Из выражения (85) следует, что при б > а не существует ста ционарного решения, поскольку k становится комплексной ве личиной. Физически это означает, что при больших радиусах зоны деформации капиллярные явления становятся несуществен ными. При 8 = а получаем величину прогиба жидкой ванны:
Z = - F 0/(pg).
Большие |
деформации |
поверхности Z'2 > 1. В этом |
случае |
из уравнения |
(78) получим |
|
|
|
Z = — |
-------L ] . |
(86) |
Уравнение (86) неявно определяет форму поверхности жидкой
фазы как функции г. С точностью до величины — 1/Z'2 уравнение (86) определяет максимальную величину деформации и может быть использовано для оценки глубины проплавления. Соотношение
89
для определения предельной глубины канала h может быть за писано в виде (в этом случае г = б)
- £ - F ( h 96) [ /г ~ а2/б = 0. |
(87) |
Определение глубины канала h по уравнению (87) требует знания в явном виде функции F (г, Z), т. е. закономерности рас сеяния энергии источника тепла при прохождении его через слой испаренного вещества в канале с учетом взаимодействия с па
ром. Так как F (h, б) — убывающая функция |
относительно /г, |
то уравнение (87) имеет единственное решение. |
|
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ВРЕМЕНИ СМЫКАНИЯ |
КАНАЛА |
В ЖИДКОЙ ФАЗЕ ПОД ДЕЙСТВИЕМ |
|
ГРАВИТАЦИОННЫХ и КАПИЛЛЯРНЫХ |
СИЛ |
Рассмотрим гидродинамическую задачу о движении несжимае |
|
мой жидкой фазы при смыкании узкого канала |
[116]. Эту задачу |
формулируют следующим образом. Пусть имеется цилиндрический объем несжимаемой жидкости У, в котором мгновенно образуется цилиндрический канал радиусом R 0 и глубиной Н 0. Уравнения Навье—Стокса, неразрывности и сохранения массы в цилиндри
ческой |
системе |
координат при |
осевой симметрии (независимость |
|||||||||
от угла |
ср) имеют |
вид |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
f |
dvr |
i |
dvr |
- + |
|
dvr \ |
- K - |
dp |
• |
+ |
|
|
£1 \ |
dt |
1 Vr |
dr |
|
V* -d T ;>■= |
dr |
|
|
|||
|
|
+ H- н и |
' 1 |
dn’r \ |
dhir |
] |
|
(88) |
||||
|
|
|
dr |
) |
■f ' dz2 |
Jh |
|
|||||
|
|
|
|
|
||||||||
|
о ( |
dv* |
1 Vr |
dvz |
-н |
V |
|
|
= к г - |
|
|
+ |
|
dr |
dz |
J |
dz |
|
|||||||
|
р \ |
dt |
z |
|
|
|||||||
|
|
4 |
Г &Ог |
|
I |
dvz |
d2uz |
- |
|
(89) |
||
|
|
ц L dr2 |
+ -r |
dr |
"b ■dz2 |
h |
|
|||||
|
|
|
dor |
Г |
Vr |
, |
(h’z |
; 0; |
|
|
(90) |
|
|
|
|
dr |
|
|
|||||||
|
|
|
r |
г |
|
dz |
|
|
|
|
||
|
|
|
Ш |
* - ■У0 = |
const, |
|
|
(91) |
||||
|
|
|
v |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где р — плотность; vr и vz — радиальная и осевая компоненты скорости жидкости соответственно; Кг и Kz — радиальная и осе вая составляющие объемной силы, действующей на жидкость; fi — динамическая вязкость.
90