Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Основы электронно-лучевой обработки материалов

..pdf
Скачиваний:
8
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
18.54 Mб
Скачать

Рис. 46. Изменение энергии пер- Рис. 47. Потери энергии электронного луча винных электронов при их про- при взаимодействии с плазмой никновении в плазму с плотно­ стью частиц 1021 смг%[19]

Минимальная плотность плазмы, в которой пучок начнет воз­ буждать колебания,

где v скорость электронов; г — радиус пучка. При v = 1010 см/с и г = 0,05 см П 2 ^ 4 '1 0 13 см"3.

Образование плазмы с плотностью п<х > п* приведет к рас­ сеянию пучка и потерям энергии (рис. 47). Торможение электро­ нов пучка и передача энергии на плазменные колебания приводит к «размытой» передаче энергии стенкам канала не только элек­ тронами пучка, но и плазмой. Это вызывает уменьшение кон­ центрации пара и соответственно плазмы. Параметры пучка восстанавливаются, процесс повторяется.

Таким сбразом, рассмотрение процесса взаимодействия элект­ ронного луча с плазмой приводит к необходимости рассматри­ вать непрерывнодействующий луч как «квазиимпульсный» вслед­ ствие периодической расфокусировки его при взаимодействии с плазмой [101 ].

Помимо нейтрального и ионизированного пара, а также ка­ пель конденсата из зоны обработки навстречу лучу идет поток отраженных, вторичных и термоэлектронов. Энергия термоэлек­ тронов мала (<50 эВ), но количество их может в десятки раз пре­ вышать число падающих первичных электронов. При воздействии луча на диэлектрики происходит значительная вторичная эмис­ сия (коэффициент вторичной эмиссии для большинства диэлектри­ ков г] = 1-г-2, а для щелочно-галоидных монокристаллов г] = = 10—г-15). Поэтому для понимания механизма электронно-луче­ вого воздействия представляет интерес оценка вероятности взаи­ модействия медленных электронов в зоне обработки с первичным пучком электронов.

Минимальное количество медленных электронов, необходимое для экранировки (рассеяния) луча по порядку величины п х ^

81

^ S/cr, где 5 — сечение луча, см2; а — сечение, в котором проис­ ходит взаимодействие, см2.

Первичные электроны со скоростью v x проходят слой вещества толщиной б (глубина пробега) и рождают соответственно г\1 втори­ чных электронов (здесь г\ — коэффициент вторичной эмиссии, / — ток луча, выраженный числом электронов в единицу времени, с”1). Вторичные электроны со скоростью v 2 уходят из слоя б. Так как время т2 = б/н2 много больше времени х х = б/ох, количество рожденных в слое вторичных электронов за период т2 п 2 = г]/т2 (т2/тх).

Тогда условие рассеяния электронов первичного пучка на вторичных можно выразить как г\1х2 (х2/хх) > (S/o). Из этого выражения получим критическое значение тока луча, при котором начинается существенное взаимодействие с медленными электро­ нами:

 

 

 

 

 

/ >

4ох'1г|6 ’

 

(75)

 

 

 

 

 

 

 

 

где

d — диаметр

луча,

см.

на диэлектрик при г) = 10,

б =

=

Для

случая

воздействия

10 мкм,

U = 25 кВ,

d = 0,5 мм,

Е =

10 эВ имеем vx ^

1 х

X 1010 см/с,

v 2 =

1,8 • 108 см/с,

о ^

Я2 =

1,6 • 10-15 см2 (здесь %

длина волны медленного электрона) I

> 63,5 А, что соответ­

ствует

концентрации мощности q2 > 8 • 107 Вт/см2.

 

 

Для типичного случая образования в металле канала глуби­

ной Я = 1

см с поперечным сечением 5 = 1 *10~2 см2 при rj = 1

(здесь т] — коэффициент ионизации) и вышеназванных значениях

остальных

параметров имеем

/ > 3 А и q2 > 7,5 - 106 Вт/см2.

Если

учесть, что в слое пара толщиной Я концентрация частиц

п ^

1018 см“3, то приведение Я

к эквивалентному слою твердого

тела

б

1 -10”4 см дает / >

3-104 А и q2 > 7,5-1010 Вт/см2.

Таким образом, взаимодействие электронного луча со вторич­ ными электронами в диапазоне концентраций мощности q2 =

— 105-ь 106 Вт/см2 (сварка и обработка) не существенно и начинает играть роль при q2 > 108 Вт/см2.

Из выражения (75) можно определить также и критические параметры электронного луча, при которых начинается существен­ ное взаимодействие с паром или плазмой в зоне обработки.

Для типичного

случая

при

U =

25 кВ, а

=

Ы 0 " 18

см2,

v x =

Ы 0 10

см/с,

d =

0,5

мм,

rj = 1

получаем

I

> 5 -10“а Л,

q2 >

5*105

Вт/см2,

что

и имеет место

в реальных

условиях

об­

работки при взаимодействии пучка с паром. Если степень иони­

зации газа т] = 0,1;

0,01, то соответственно I > 5 - 1 0”1 A, q2 >

> 6*10б Вт/см2 и I

> 5 A, q2 > 6-107 Вт/см2, т. е. наиболее су­

щественно взаимодействие с нейтральным паром, которое начи­ нается уже при сравнительно умеренных плотностях потока (при q2 > 1 -105 Вт/см2).

82

При прохождении пучков заряженных частиц через слабоио- низованную плазму происходит не торможение, а выбывание ча­ стиц пучка из первоначального фазового объема благодаря столк­ новению электронов с нейтральными частицами. С учетом этого явления предложен критерий устойчивости плазмы [65]

где п 0— первоначальная плотность электронов в пучке; п — плот­ ность электронов в пучке после прохождения слоя плазмы тол­ щиной L; X — длина свободного пробега электронов; v0 — ча­ стота столкновения электронов плазмы с нейтральными части­ цами; v x — частота столкновений электронов пучка с нейтраль­ ными частицами плазмы; со — частота собственных колебаний плазмы.

Сравнение критериев (75) и (76) показывает, что они анало­ гичны.

Глава 3

ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ЗОНЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА НА МАТЕРИАЛЫ

ПОВЕДЕНИЕ КАНАЛА В ЖИДКОЙ ФАЗЕ В ПРОЦЕССЕ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ

Узкий и глубокий канал в жидком металле, появляющийся при воздействии электронного луча с q2 > q2— несомненно крайне интересное физическое явление. Для практических целей важность изучения этого явления связана с возможностью пред­ сказания некоторых технологических характеристик процесса глубокого проплавления: химического состава сварного шва, особенно при сварке разнородных материалов, зависящего от интенсивного перемешивания жидкого металла; дефектов форми­ рования сварного шва (газовых полостей и колебаний глубины проплавления по длине) эффективности процесса нагрева, зави­ сящей от геометрической формы канала (цилиндр, конус

и т. Д .) .

Рассмотрим особенности поведения канала в жидкой металли­ ческой фазе. Образование канала в жидком металле при воз­ действии электронного луча подтверждено экспериментами [213]. Во время сварки с несквозным проплавлением алюминия и нер­ жавеющей стали через образец пропускали пульсирующий поток рентгеновских лучей при напряжении около 600 кВ и фиксиро­ вали на рентгеновской пленке картину процесса проплавления. Установлено, что проплавление на большую глубину происходит с образованием в веществе канала, который периодически смыка­ ется, заполняясь жидким металлом (рис. 48). Смыкание канала начинается преимущественно в верхней его части. Это объясня­ ется отражением волны, образовавшейся при входе луча в жидко­ сть, от преграды (стенки канала) по аналогии с падением в жид­ кость твердого тела (снаряда ) [213]. Частота смыкания канала зависит от времени проникновения луча на заданную глубину, т. е. от его удельной мощности, для нержавеющей стали эта ча­

стота f ж 10 Гц при q%=

(1,7 -4- 2,0) -105 Вт/см2, для алюминия

/ = 7-г-12 Гц при q2 ^

1,7*103 Вт/см2.

Периодическое смыкание канала наблюдали также с помощью

скоростной киносъемки (2500 кадр/с) в нержавеющей стали (не­

подвижный

луч

при

U = 125

кВ,

I 8^-12

мА,

q2^ (5 - 4 -

-4-7)*106 Вт/см2,

t =

23-^45

с). Период

смыкания

составлял

72— 77 мс,

что соответствует частоте

/ =

13-г-14

Гц

[209].

84

Рис48. Эскизы различных форм канала, зафиксированных им­ пульсной рентгеносъемкой [21S]:

V

U — 25

кВ;

/ =* 250 мА; « =

==■2,5 см/с; глубина

проплавления

15 мм,

д2 =

1,5* Ю5

Bf/см2, нержа­

веющая

сталь

 

Ряд исследователей моделировали процесс образования канала

исделали попытку перейти к описанию реального канала в жидком металле с помощью критериев подобия.

Установлено, что с помощью стеклянного наконечника с от­ верстием диаметром 0,254 мм при давлении воздуха около 0,42 кге/мм2, струей воздуха можно получить впадину в ртути глуби­ ной 6,2 мм и диаметром около 1,6 мм. Гидростатическое давление столбика ртути в этом случае 10 гс/см2 [2081-

При моделировании процесса образования канала в прозрач­ ных жидкостях (вода, глицерин, вазелиновое масло) воздействием струи воздуха, перемещающейся с наложением синусоидальных колебаний, установлено, что при больших скоростях движения ка­ нала может происходить периодическое инерционное загибание его нижней части в сторону, противоположную направлению дви­ жения [23, 1331. Загибание тем сильнее, чем выше скорость пе­

ремещения. Д ля алюминия критической скоростью, по достиже­ нии которой начинаются колебания нижней части канала, явля­ ется скорость > 1 , 1 см. Из экспериментов по моделированию следует, что периодический срыв нижней части канала может явиться причиной дефекта проплавления — колебаний глубины шва по его длине на больших скоростях сварки.

При наблюдении за процессом прохождения электронного

пучка через

вакуумное

масло

ВКЖ -94

на

установке ЭЛУРО

в непрерывном и импульсном режиме

[q2 =

(0 ,6 н-2,0) • 108 Вт/см2,

U = 5 0 -Н 0 0

кВ, / — 6

мА, т =

800

мкс, f =

20-^-250 Гц] с по­

мощью скоростной киносъемки установлено, что при воздействии в непрерывном режиме в масле формируется узкий канал с кар­ тиной свечения, характерной для газового разряда высокого дав­ ления. При воздействии четырьмя импульсами при / = 250 Гц канал оказывается соответственно перемкнутым по длине в че­ тырех точках. Время существования канала /к много больше дли­ тельности импульса. При т = 800 мкс, tK= 28 мс, т. е. оно в 35 раз больше времени импульса. Время схлопывания tc ^ т #=« 1 • 10~3 с. Выброс масла из канала наблюдается лишь при схлопывании канала [128].

Скорость углубления канала, составляющая в начальный мо­

мент ~ Ы 0 4 см/с,

резко падает с увеличением глубины

канала

и, достигнув уровня

~1 ■10s см/с, далее практически не меняется.

Скорость истечения паров из канала достигает

vn ~

105 см/с.

Давление на дно канала (для пучка с U — 100 кВ и d —

100 мкм)

F — 1’10~2 кге, что соответствует 4Ffnds «=* 100

кгс/см2 [70].

85

Результаты многочисленных экспериментов показывают, что картина образования канала в жидком металле представляется весьма сложной. Канал, образованный неподвижным электронным лучом, пульсирует, периодически смыкается в верхней части. Картина движущегося канала еще более сложна. Имеющиеся в ли­ тературе данные о перемешивании металла в зоне образования канала [104, 105, 118, 209, 210] говорят об очень больших ско­ ростях движения жидкого металла, которые могут быть, ло-види- мому, только в случае турбулентного движения жидкости.

Для более ясного представления процесса образования и су­ ществования канала необходимо выделить задачи, решение ко­ торых позволит улучшить понимание гидродинамических явлений в зоне электронно-лучевого воздействия. Эти задачи следующие: а) определение величины деформации (пробега) поверхности жид­ кой фазы при действии на нее непрерывного или импульсного давления (паров); б) определение времени смыкания канала под действием гравитационных и капиллярных сил; в) рассмотрение баланса сил, действующих в канале, и условий, приводящих к его смыканию.

ДЕФОРМАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ЖИДКОЙ ФАЗЫ ПРИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

При формулировании задачи о нахождении формы и величины углубления в жидкой фазе, образованной действием электронного луча, примем, что источник теплоты по поверхности распреде­ лен по закону Гаусса и пренебрежем объемным характером вы­ деления энергии, предполагая, что глубина проникновения источ­ ника мала по сравнению с размерами зоны плавления. Тогда за­ дачу о деформации жидкой фазы источником локального давления, приложенным в некоторой области, можно сформулировать в виде системы уравнений Навье—Стокса [146]:

- |^

+ (Svjo

= - b v p

+ vA£ +

? f

(77)

где v —■вектор

скорости

частицы

жидкой

фазы;

р — давление

в жидкой фазе;

 

-> •

 

 

- ^

v — вязкость; g — вектор

объемных сил; Fs

вектор поверхностных сил.

Система уравнений энергии, неразрывности и сохранения массы, а также (77) дает полное описание явлений деформации поверх­ ности жидкой фазы. Ввиду сложности решения указанной системы уравнений ограничимся анализом возможного установившегося процесса, когда v = const, и уравнение (77) существенно упро­ щается.

Проектируя уравнение (77) на направление нормали к поверх­ ности жидкой фазы при наличии осевой симметрии и обозначая

86

Рис. 50. Зависимость диаметра расплавленной зоны от тока луча (моноимпульс t ~ const):

/ — алюминий; 2 — нержавеющая сталь; 3 — вольфрам

Рис. 49. Зависимость глубины капала в модельной жидкости от давления струи газа [5J

через Z (г) профиль деформированнощвнешним давлением поверх­ ности, получим

Гг

(1 + z ' T 2 + Ml -l-z'2)1/2

z

Fs (Z , r)

(78)

Л2

Гк

 

где a2 = 2cr/pg— капиллярная постоянная; a — поверхностное натяжение.

В уравнении (78) не учтена температурная зависимость вхо­ дящих в него постоянных. Его решение с учетом различных зна­ чений постоянных и заданной зависимости поверхностных сил от Z и г может быть получено численным способом. При этом необходимо учитывать, что переход от предельно малых к пре­ дельно большим деформациям в реальных условиях может про­ исходить скачком, так как по мере прогиба жидкости поверхност­ ное натяжение растет до момента, когда углубление становится равным его радиусу [5]. При дальнейшем углублении канала радиус кривизны его не меняется, но возрастает гидростатическое давление.

Переход от малых деформаций к большим, как видно из рис. 49, происходит скачком [5, 6].

Экспериментами установлено, что при достижении критиче­ ской удельной мощности ql диаметр ванны жидкого металла из­ меняется скачкообразно (рис. 50), что связано, на наш взгляд, с переходом от малых к большим деформациям жидкости.

Рассмотрим теперь аналитические решения для предельных случаев, которые допускает уравнение (78).

87

Малые деформации

 

поверхности,

Z'2

1. Уравнение (78)

запишем в виде

 

 

Fs

Z)

 

Z* +

 

Z' —

(79)

г

а

 

 

 

 

 

В общем виде при наличии деформации поверхностные силы Fs являются функциями г и Z. Если поверхностные силы, вызываю­ щие деформацию, обусловлены давлением отдачи вследствие испа­ рения вещества при его нагреве поверхностным источником, то

Ps (г, Z) = TVi'(rZ)Z)-

ехР [ - В!Т (г. Z)h

(80)

где А (г, Z) — некоторая функция, зависящая от свойств ма­ териала и степени деформации поверхности; Т (г, Z) — распреде­ ление температуры на деформированной поверхности жидкости.

Решение уравнения (79) для функции Fs (r, Z) произвольного вида имеет вид

г <’) = О Д М + О Д М J - щ щ - +

+

< 8 1 >

где

Сх и

С 2— константы;

Z0 (г) -= / 0

— решение однород­

ного

уравнения (79).

Бесселя первого рода нулевого по­

Здесь

I 0 (U) — функция

рядка от

мнимого аргумента.

Fs с помощью константы,

Если

аппроксимировать

функцию

считая, что она не зависит от г9 то решение уравнения (79) будет иметь вид

^ - п р и г < | б |

Z =

при г >

(82)

0

16|,

где б — радиус площадки, на

которую

действует Fs.

Знак минус в решении (82) связан с выбором системы коор­ динат.

Таким образом, для задания давления в функции, которая постоянна на участке конечного радиуса б, величина деформации поверхности должна носить ступенчатый характер. Это противо­ речит реальным условиям непрерывности производных от функ­ ции, описывающей деформацию поверхности, и принятому при­

ближению Z '2 С 1 • Поэтому решение уравнения (79) запишем в виде

Z =

pg + C l I 1 + ( l т )

+ " г ( '^ г ) + • • • ] >

(83)

 

где С1— константа, определяемая из граничного условия.

88

При г < 2а, где а ^ 0,5 см, для типичных металлов можно считать, что У4 (/72а)4 С 1, и ограничиться двумя членами ряда (83). Тогда

и максимальная величина деформации

. Fs [Л2

Рё 1+ и2 ’

где jx = 8/(2а). Для случая, когда Fs = КГ3 кгс/см2, р = 10 г/см3,

р =

0,5, численные оценки дают величину h = 0,02 см.

 

Рассмотрим конкретный случай аппроксимации функции Fs.

Предположим, что

 

 

 

 

FS ^ F 0(1 — r762) exp (— kr%

(84)

где

F 0 — максимальное

значение

давления; б — радиус

зоны,

где

давление отличается

от нуля;

k — коэффициент сосредото­

ченности; зависимостью Fs от Z в этом случае пренебрегаем. Для частного случая выражения (84) уравнение (79) допускает

точное решение:

7 (r,

_

F0 exp (— kr*)

 

 

VJ ~

4p g a 2 62£ 2

 

при условии, что г <

б

и

 

 

‘ “

т

И

' - Г 7 3 ? ) -

(86)

Из выражения (85) следует, что при б > а не существует ста­ ционарного решения, поскольку k становится комплексной ве­ личиной. Физически это означает, что при больших радиусах зоны деформации капиллярные явления становятся несуществен­ ными. При 8 = а получаем величину прогиба жидкой ванны:

Z = - F 0/(pg).

Большие

деформации

поверхности Z'2 > 1. В этом

случае

из уравнения

(78) получим

 

 

Z = —

-------L ] .

(86)

Уравнение (86) неявно определяет форму поверхности жидкой

фазы как функции г. С точностью до величины — 1/Z'2 уравнение (86) определяет максимальную величину деформации и может быть использовано для оценки глубины проплавления. Соотношение

89

для определения предельной глубины канала h может быть за­ писано в виде (в этом случае г = б)

- £ - F ( h 96) [ /г ~ а2/б = 0.

(87)

Определение глубины канала h по уравнению (87) требует знания в явном виде функции F (г, Z), т. е. закономерности рас­ сеяния энергии источника тепла при прохождении его через слой испаренного вещества в канале с учетом взаимодействия с па­

ром. Так как F (h, б) — убывающая функция

относительно /г,

то уравнение (87) имеет единственное решение.

 

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ВРЕМЕНИ СМЫКАНИЯ

КАНАЛА

В ЖИДКОЙ ФАЗЕ ПОД ДЕЙСТВИЕМ

 

ГРАВИТАЦИОННЫХ и КАПИЛЛЯРНЫХ

СИЛ

Рассмотрим гидродинамическую задачу о движении несжимае­

мой жидкой фазы при смыкании узкого канала

[116]. Эту задачу

формулируют следующим образом. Пусть имеется цилиндрический объем несжимаемой жидкости У, в котором мгновенно образуется цилиндрический канал радиусом R 0 и глубиной Н 0. Уравнения Навье—Стокса, неразрывности и сохранения массы в цилиндри­

ческой

системе

координат при

осевой симметрии (независимость

от угла

ср) имеют

вид

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

f

dvr

i

dvr

- +

 

dvr \

- K -

dp

+

 

£1 \

dt

1 Vr

dr

 

V* -d T ;>■=

dr

 

 

 

 

+ H- н и

' 1

dn’r \

dhir

]

 

(88)

 

 

 

dr

)

■f ' dz2

Jh

 

 

 

 

 

 

 

о (

dv*

1 Vr

dvz

V

 

 

= к г -

 

 

+

 

dr

dz

J

dz

 

 

р \

dt

z

 

 

 

 

4

Г &Ог

 

I

dvz

d2uz

-

 

(89)

 

 

ц L dr2

+ -r

dr

"b ■dz2

h

 

 

 

 

dor

Г

Vr

,

(h’z

; 0;

 

 

(90)

 

 

 

dr

 

 

 

 

 

r

г

 

dz

 

 

 

 

 

 

 

Ш

* - У0 =

const,

 

 

(91)

 

 

 

v

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где р — плотность; vr и vz — радиальная и осевая компоненты скорости жидкости соответственно; Кг и Kz — радиальная и осе­ вая составляющие объемной силы, действующей на жидкость; fi — динамическая вязкость.

90