книги / Электронная оптика и электроннолучевые приборы
..pdfИспользуя соотношения (1.250), получим выражение соответст
венно для d2Vjds2 и Uу: |
|
|
|
/ d2U\ |
1 |
(1.263) |
|
Ы ) |
= V * * ( N ) + |
— Uv{N), |
|
\ as2 |
' N |
р |
|
|
uvm = Y |
' |
(1264) |
Так как мы не учитываем собственный заряд электронов пуч ка, распределение потенциала удовлетворяет уравнению Лапласа:
Следовательно,
Тогда
U XX ” Ь U yy -f - Uzz == 0 .
U Vy + U Zz = — Uxx- Выразим U xx из (1.263).
U w + Uzt = |
d2U |
2Uо |
( 126о) |
|
~т~£ |
р |
• |
||
|
asй |
|
|
Из (1.265) следует, что в тех случаях, когда поле не задано во всем пространстве, а известно только распределение потенциала U0(s) вдоль основной траектории, величина Uyv или Uzz может быть задана произвольно. Кроме того, величина иуг не определена никакими дополнительными соотношениями и также может быть любой функцией s. Таким образом, можно положить
UZz = |
0 (s), |
Uyz = |
'¥(s), |
|
(1.266) |
||||
где Ф и ¥ — любые функции дуги. |
|
|
|
уравнения (1.263) |
|||||
Окончательно с |
учетом (1.264) — (1.266) |
||||||||
принимают вид |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d / dUo |
|
Рз |
dU0 |
, „Г |
„ |
, |
/ 2 |
|
1 \ |
ds \Pz~ds ' |
т |
■ ^ + 2 1Рг |
+Pz \ V ~ * I |
||||||
2Рз |
, Рзт' |
'\uo + <D(s)p2-V(s)p3 = |
0, |
||||||
т |
1 |
т2 |
■ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
l |
Рз |
, |
2рг |
|
рзт' |
' |
|
~т~ + 2 ( Рз |
Т2 |
+ |
Т |
|
, |
|
||
|
as |
|
\ |
|
|
Т2 |
|
||
|
— ®(s)P2 — x¥(s)p3 — 0. |
|
|
(1.267) |
Эта система двух линейных относительно р2, рз и И0уравнений определяет поведение узкого пучка электронов, движущихся в эле ктростатическом поле. Задавая поле и основную траекторию, мож но, решая систему двух линейных дифференциальных уравнений, найти все смежные траектории, т. е. полностью определить форму пучка. И, наоборот, задавая форму пучка (основную и смежные траектории), можно найти распределение потенциала, т. е. решить
прямую задачу. Необходимо только иметь в виду, что число смеж ных траекторий, определяющих форму пучка, которые можно задать произвольно, ограничено. Например, при решении прямой задачи для электростатического поля, кроме основной, можно за дать только «полторы» траектории, т. е. для одной смежной траек тории (сверх основной) можно задать p2 (s) и р3(s ), а для второй смежной траектории либо рг, либо р$, но не обе траектории сразу. Задание «двух с половиной» (вместе с основной) траекторий по,- зволяет однозначно решить задачу о распределении потенциала вблизи пучка с помощью системы (1.267).
Уравнения (1.267) могут быть получены из общих уравнений Г. А. Гринберга, в которых следует положить 5 = 0 (отсутствие маг нитного поля) и о<Сс (нерелятивистский случай). Уравнения Г А. Гринберга позволяют находить либо траектории по заданным электрическому и магнитному полям, либо электрическое и маг нитное поля по заданным траекториям, т. е. эта теория является наиболее общей. Следует учитывать, что строгое решение системы уравнений возможно не всегда, и в ряде практически важных слу чаев приходится пользоваться приближенными методами. Задача значительно упрощается, если поля (или пучок) обладают осевой или плоской симметрией. При наличии осевой симметрии в качест ве основной траектории удобно выбрать ось пучка. В этом случае кривизна и кручение отсутствуют (1/р=1/т=0) и при подстановке
г = УР\+ Р\ второе уравнение системы (1.257) совпадает с основ
ным уравнением параксиальной оптики (1.82).
Г Л А В А В Т О Р А Я
ЭЛЕКТРОННАЯ ОПТИКА ИНТЕНСИВНЫХ ПУЧКОВ
§2.1. ДЕЙСТВИЕ ПРОСТРАНСТВЕННОГО ЗАРЯДА
ВЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКАХ
Вгл. 1 мы изучали движение электронов в электрических и маг нитных полях, предполагая, что электрическое поле однозначно определяется формой, расположением и потенциалами электродов, а магнитное поле — размерами и формой магнитных катушек, а также величиной тока, обтекающего эти катушки, или расположе нием постоянных магнитов с известной намагничивающей силой. Иными словами, рассматривая фокусировку электронных пучков, различные типы электронных линз, мы не учитывали электрические и магнитные поля, создаваемые самим электронным пучком. Игно рирование этих полей оправданно лишь при определенных огра ничениях, накладываемых на величину тока пучка и ускоряющее напряжение. Очевидно, чем больше плотность тока пучка, тем больше плотность пространственного заряда электронов, тем силь нее скажутся на характеристиках движения электронов собствен ные поля, создаваемые движущимися электронами. С другой сто роны, чем больше ускоряющие напряжения, тем больше энергия электронов и тем меньше скажутся на характеристиках движения собственные поля электронного пучка.
Таким образом, действие пространственного заряда в пучках удобно характеризовать коэффициентом пространственного заря да, учитывающим величины тока пучка и ускоряющего напряже ния. Коэффициент пространственного заряда Р, называемый так
же п е р в е а н с о м , определяется как отношение тока пучка к на пряжению в степени 3/2:
|
|
Le% |
J |
(2.1) |
|
|
f — |
1 - |
|
Поскольку в реальных устройствах, формирующих интенсивные |
||||
электронные |
пучки, |
удается получить значение Р не больше |
||
10-5 а/в"/*, |
часто |
пользуются |
понятием «микропервеанс»: |
р=Р •106 [мка/в,/г].
Исследование электронных пучков показало, что влияние собст венного электрического поля пучка начинает заметно сказываться на движении эл ек тр он ов при Р^\0~&afe't^p^zlO-2 мка/в,1г). По этому, если в любом сечении пучка /?< 10—2 мка/в3/i, что имеет ме сто в большинстве электроннолучевых приборов, действием прост ранственного зарядЛ можно пренебречь и при расчетах использо вать формулы, приведенные в гл. 1. Наоборот, электронные пучки,
используемые в приборах СВЧ-диапазона (клистроны, лампы бе гущей и обратной волн и др.), величина р обычно существенно больше 10-2 жАса/в3/*, и действие пространственного заряда необ ходимо учитывать. Электронные пучки, имеющие хотя бы в одном сечении р>10~2 мка/ва/*, относятся к интенсивным пучкам, и рас чет электронно-оптических систем, формирующих такие пучки, не обходимо вести по формулам, учитывающим собственное поле эле ктронов пучка. Заметное действие собственного магнитного поля движущихся электронов, как это будет показано ниже, начинает проявляться лишь при релятивистских скоростях, и этим действием в большинстве практических случаев можно пренебречь.
Действие пространственного заряда в пучках можно охаракте ризовать следующими тремя факторами: расширением электрон ного пучка в пространстве, свободном от поля; падением потен циала в пучке; ограничением тока пучка. Очевидно, третий фактор является следствием второго, так как значительное падение потен циалов приводит к уменьшению скорости электронов, и если в ка ком-либо сечении пучка потенциал спадает до нуля (до потенци ала катода), то пучок обрывается.
Полное математическое описание электронных потоков, сфор мированных в пучки определенного вида, встречает значительные трудности. Это объясняется в первую очередь тем, что реальный электронный поток является сложным физическим объектом, состоящим из совокупности множества движущихся дискретных от рицательно заряженных частиц — электронов. Учесть взаимодей ствие отдельных электронов в пучке практически невозможно. По этому при решении задач, связанных с формированием интенсив ных пучков, необходимо вводить ряд предположений, т. е. рассмат ривать некоторую упрощенную модель реального пучка. Первым упрощающим предположением является замена суммы сил, дейст вующих на выбранный электрон со стороны соседних электронов, силой действия на этот электрон некоторой электрически заряжен ной среды с непрерывно распределенной плотностью пространст венного заряда.
Важным предположением является условие ламинарности по тока, т. е. отсутствие в потоке пересекающихся траекторий элект ронов. При таком предположении электрон, движущийся на гра нице пучка, все время будет оставаться на этой границе. Таким образом, нахождение контура пучка, являющегося одной из основ ных задач оптики интенсивных пучков, сводится к вычислению тра ектории крайнего электрона. Конечно, реальный пучок электронов не имеет резкой границы — плотность тока на краю пучка спадает постепенно, однако предположение о наличии четкой границы и крайнего электрона пучка значительно упрощает решение основ ных задач оптики интенсивных пучков и широко практикуется.
Используемые во многих типах приборов интенсивные электрон ные пучки являются «длинными», т. е. их «длина» — протяженность вдоль одной из координатных осей (оси 0Z) — значительно превы шает радиус осесимметричного пучка или толщину «ленточного»
(плоского) пучка. В этих случаях часто удается значительно упро стить задачу, пользуясь условием параксиальности траекторий электронов. Оставаясь в границах параксиальной оптики, можно с достаточной степенью точности считать, что продольная (вдоль оси 0Z) составляющая скорости электронов равна полной скорости vn, определяемой законом сохранения энергии. В самом деле, при небольшом угле наклона траектории к оси поперечная составляю щая СКОРОСТИ Uj.'COz и
|
= |
Ц„ У |
1 — ( ^ ± ) г a v , = f ^ U . |
(2 .2) |
||||
Расчет показывает, что угол наклона траектории |
к оси у ^ 8 ° |
|||||||
дает погрешность при использовании равенства (2.2) |
не более |
1%. |
||||||
Даже при сравнительно больших значени |
|
|
|
|||||
ях у (у =15°) погрешность оказывается мень |
|
|
|
|||||
ше 5%, что допустимо в ряде практических |
|
|
|
|||||
случаев. |
|
|
|
|
|
|
|
|
При решении конкретных задач вводят |
|
|
|
|||||
ся некоторые дополнительные |
предположе |
|
|
|
||||
ния: например, иногда можно допустить, |
|
|
|
|||||
что плотность тока одинакова во всех точ |
|
|
|
|||||
ках какого-либо поперечного сечения пучка. |
|
|
|
|||||
Поскольку при формировании |
интенсивных |
|
|
|
||||
пучков |
обычно |
используются |
достаточно |
|
|
|
||
большие ускоряющие |
напряжения, |
оказы |
Рис. 2.1. Расширение |
ци |
||||
вается |
возможным пренебречь |
начальными |
||||||
скоростями электронов, испускаемых като |
линдрического пучка |
|||||||
дом, т. е. считать что при U= 0 |
(на катоде) |
|
|
|
||||
скорость электронов v=0. |
|
|
|
|
|
|||
Наибольшее практическое распространение получили интенсив |
||||||||
ные пучки, имеющие в поперечном |
сечении |
форму |
круга, прямо |
угольника (причем одна из сторон прямоугольника значительно больше другой) и кольца. В соответствии с этим рассматривают осесимметричные (иногда неточно называемые цилиндрическими или круглыми), ленточные и трубчатые пучки: при этом во всех случаях предполагается, что длина пучка значительно больше его поперечных размеров. Следует отметить, что влияние пространст венного заряда неодинаково в пучках различной конфигурации. По этому анализ действия пространственного заряда необходимо про водить отдельно для интенсивных пучков конкретного типа.
Рассмотрим интенсивный осесимметричный пучок. Допустим, что в пространство, имеющее постоянное значение потенциала Uо, вводится цилиндрический пучок электрона с током / и радиусом го (рис. 2.1)..
Предположим, что плотность тока в пучке постоянна во всех точках поперечного сечения и что все электроны пучка имеют оди наковую осевую составляющую скорости vz, определяемую потен циалом U0 (т. е. не будем учитывать падение потенциалов в пучке).
Уравнение движения электрона в радиальном направлении име ет вид
d2r |
(2.3) |
пг—— — — еЕг, |
|
dt2 |
|
где ЕТ— радиальная составляющая напряженности поля, создаваемого пространственным зарядом.
Заметим, что в пространстве движения электронов пучка U= = £Л)=7^ /(2), £ z= —dU/dz=0, a £\j,=0 вследствие осевой симметрии пучка, т. е. характер движения электронов будет определяться только радиальной составляющей напряженности поля Ег.
Для определения Ег выделим в пучке небольшой цилиндрик ра диусом г и длиной / и воспользуемся теоремой Остроградского — Гаусса для потока вектора напряженности электрического поля. Тогда
t ЛР |
|
|
2nrlEr + яг2^ ~41 dz = |
пгЧ— , |
(2.4) |
Jn dz |
ео |
|
где р — плотность пространственного заряда. |
(2.4) |
|
Поскольку £ z= 0, второй член в левой части уравнения |
также равен нулю. Выразив плотность пространственного заряда через ток:
± |
I |
Р = |
t(2.5) |
Vz |
|
для радиальной составляющей напряженности электрического по ля получим
Ет= ----------------------- |
■. |
(2.6) |
|
2яе0"1/ — t/о го |
|
|
|
r |
пг |
|
|
Выражение (2.6) показывает, что радиальная составляющая на пряженности электрического поля, создаваемого пространствен
ным зарядом, |
внутри |
пучка |
прямо |
пропорциональна |
радиусу г, |
т. е. удалению от оси. |
(г= г0) |
радиальная составляющая поля |
|||
На границе |
пучка |
||||
|
Ет|г=г0 = |
1 / |
-- • |
(2.7) |
|
|
|
|
2е |
|
|
|
|
|
2яео у — UQTQ |
|
|
|
|
|
1 |
пг |
|
Из (2.7) непосредственно следует, что при неизменном токе осесимметричного пучка напряженность поля на его границе тем больше, чем тоньше пучок. Электронные траектории ламинарного осесимметричного пучка теоретически не могут пересечь ось, так как с приближением граничных электронов к оси напряженность поля, а следовательно, и силы расталкивания неограниченно воз растают.
Формула (2.7) может быть использована для расчета поля вбли зи внешней границы пучка (при г > г 0). Как видно из (2.7), напря
женность поля вне пучка спадает пропорционально |
1 /г. Распреде |
|||||
ление радиальной составляющей на |
|
|
|
|||
пряженности |
электрического поля, |
|
|
|
||
создаваемого |
пространственным |
за |
|
|
|
|
рядом, графически представлено |
на |
|
|
|
||
рис. 2.2. |
|
|
|
|
|
|
Как видно из рисунка, макси |
|
|
|
|||
мальное значение |
напряженности |
|
|
|
||
радиального поля соответствует гра |
|
|
|
|||
нице пучка. |
|
|
|
|
|
|
Таким образом, на электрон, дви |
|
|
|
|||
жущийся на границе пучка, действу |
|
|
|
|||
ет радиальная сила |
Fn = — еЕт, на |
|
|
|
||
правленная от оси пучка, т. е. стре |
|
|
|
|||
мящаяся увеличить радиус пучка. |
|
|
|
|||
Подставив в выражение для ра |
|
|
|
|||
диальной силы величину Ег из (2.7), |
|
|
|
|||
получим значение силы кулоновско |
|
|
|
|||
го расталкивания, определенное |
че |
Рис. |
2.2. Распределение радиаль |
|||
рез ток пучка, его радиус и ускоря |
ной |
составляющей |
напряженности |
|||
ющее напряжение: |
|
|
|
электрического поля |
||
|
|
el |
|
|
еI |
(2.8) |
|
Fn = - |
|
|
2neoVzro |
||
|
|
2яео У |
|
Го |
|
|
|
|
|
|
|
Кроме этой силы, стремящейся расширить пучок, на электроны действует сила Лоренца за счет магнитного поля, создаваемого движущимися электронами, которые можно рассматривать как ли нейные параллельные токи. Согласно закону Био — Саварра маг нитная индукция на поверхности пучка
В = |
ро/ |
(2.9) |
|
2яго
а радиальная сила, действующая на электроны за счет этого маг
нитного поля |
ер0Ivz |
|
|
Егм--- |
(2.10) |
||
2яго |
|||
|
|
Выражение (2.10) показывает, что радиальная сила, создавае мая собственным магнитным полем пучка, направлена в сторону оси, т. е. стремится сжать пучок.
Результирующая радиальная сила, действующая на граничный электрон, получается суммированием выражений (2.8) и (2.10):
el / |
1 |
Fгг — Егэ -f- Егм — |
(2. 11) |
2яг0 \ |
е0о2 |
Принимая во внимание, что ео и цо связаны соотношением £0/ц0= 1 /с2, уравнение (2.11) можно преобразовать:
|
|
_е/__ |
|
2 \ |
|
|
FrS = |
( ‘ -S ) |
(2. 12) |
||
|
- |
||||
Из (2.12) |
следует, что |
2яеоОгГо |
|
||
|
|
|
|
||
|
|
___ ____ р |
_ ± _ |
|
(2.13) |
|
|
|
™ с2 ’ |
|
|
|
|
|
|
|
|
т. е. при oz< c |
и действие |
собственного |
магнитного |
||
поля следует учитывать |
только |
для |
релятивистских |
скоростей |
|
электронов. |
Аналогично |
можно, |
показать, что заметное влия |
ние собственного магнитного поля на движение электронов в пуч ках других типов будет проявляться лишь при релятивистских скоростях электронов. Практически при ускоряющих напряжениях до 25—30 кв величина «собирающей» магнитной силы составляет не более нескольких процентов от величины расталкивающей эле ктростатической силы и в большинстве систем, используемых для формирования интенсивных пучков, действие магнитного поля пуч ка можно не учитывать.
Для определения контура осесимметричного пучка электронов, введенного в эквипотенциальное пространство, составим уравнение
движения крайнего (движущегося |
на границе пучка) |
электрона. |
|
Для этого подставим в уравнение (2.3) значение Етиз (2.7): |
|||
d2r |
---------- |
el |
(2.14)' |
m— = |
■ — . |
||
dt2 |
-i/ 2e |
|
|
|
2яео^ |
— U0r |
|
Ограничиваясь параксиальным приближением (считая va = vz=
= dz/dt = "У~ £А> ) , преобразуем уравнение (2.14), перейдя ог
дифференцирования по f к дифференцированию по z (см. § 1.6):
Ф г_ |
1 |
|
_ /_ 1 |
dz2 |
|
|
(2.15) |
4яео V |
I I |
[Ао |
|
|
1 |
тп |
|
Первый множитель в правой части уравнения (2.15) является постоянным коэффициентом и численно равен 1,52 •104; второй мно житель в правой части есть первеанс Р. Таким образом, уравнение (2.15) можно записать в виде
г" —■1,52.104Рг-» = 0, |
(2.16) |
где штрихи обозначают дифференцирование по г.
128
Анализ решения уравнения (2.16) оказывается более нагляд ным при введении безразмерных переменных R и Z:
Д = — , 2 = |
(2.17) |
г0 |
I |
где Го — начальный радиус пучка; / — некоторая масштабная ве личина «длина» пучка, в единицах которой отсчитываются расстоя ния вдоль оси 0Z.
При такой замене переменных
и уравнение (2.16) приводится к виду |
|
|
R" — |
1о= 0’ |
(2-18) |
где х = 1,52 •104Р (//г0) 2. |
* |
в эквипотенциальное |
В общем случае пучок может |
вводиться |
пространство, имея начальную сходящуюся, цилиндрическую или расходящуюся форму. Поэтому уравнение (2.18) будем решать при следующих начальных условиях: 2 = 0 , /? = 1; R'=R0', т. е. совме стим начало отсчета с границей ввода пучка в эквипотенциальное
пространство |
(очевидно, если пучок до входа в эквипотенциальное |
|||
пространство |
имел |
цилиндрическую форму, |
то Ro' = 0). Умножим |
|
почленно уравнение |
(2.18) на 2R' и используем |
|||
d |
|
|
|
|
■— (R')2= 2R'R". Тогда уравнение примет вид |
|
|||
dz |
|
|
|
|
|
|
d |
2y,R' |
(2.19) |
|
|
dZ |
R * |
|
|
|
|
||
Проинтегрируем уравнение с учетом принятых начальных усло |
||||
вий: |
|
|
|
|
|
|
Д' = |
У2х1пЯ + (Я;)2 |
(2.20) |
(при интегрировании учтено соотношение (\nR)'=R'/R). |
||||
Преобразуем уравнение (2.20): |
|
|||
|
|
d Z - |
№ |
(2.21) |
|
|
|
У2х1п R + (R'0)2 |
|
и проинтегрируем его: |
|
|
||
|
|
л |
dR |
(2.22) |
|
|
|
||
|
|
Z=SJ pK\nR + (R'o)* |
||
|
|
|
||
Интеграл в правой части уравнения (2.20) можно привести к |
||||
табличному, использовав подстановку: |
|
|||
|
|
2х In |
+ (Ro) 2 = 2х«2. |
(2.23) |
129
В результате решение уравнения (2.19) принимает окончатель ный вид:
_ |
±V\nR+a |
|
z = — e--L_— |
f |
(2.24) |
V i |
^ |
|
где a = (RO')2/2K =326(r0')2lp (p — микропервеанс).
Интеграл в (2.24) табулирован; беря из таблиц его значение,
можно построить график зависимости R=f(Z) |
при различных зна |
чениях Ко'. В случае /?0'= 0 (цилиндрический пучок при Z = 0) фор |
|
мула (2.24) упрощается: |
|
----/in Я |
|
JL ^ е“гйи. |
(2.25) |
*о
Вкачестве примера на рис. 2.3 приведены графики зависи
R0'
Очевидно, эти кривые определяют контуры осесим метричных пучков для раз личных наклонов к оси крайних траекторий при вхо де пучка в эквипотенциаль ное пространство. Как вид но из графиков, пучки, име ющие до входа в простран ство, свободное от поля, тра ектории крайнего электро на, параллельные оси (ци линдрический пучок) или образующие с осью положи тельные углы наклона (рас ходящийся пучок), в эквипо тенциальном пространстве неограниченно расширяют
ся за счет расталкивающего действия пространственного заряда. Пучки, имеющие до входа в эквипотенциальное пространство от рицательный угол наклона крайних траекторий (сходящийся пу чок), в пространстве, свободном от поля, достигают минимального радиуса, затем также начинают расширяться. Плоскость, в кото
рой пучок |
имеет наименьшее сечение, называют |
п л о с к о с т ь ю |
к р о с с о в |
е р а , хотя само понятие «кроссовер» |
в приложении к |
интенсивным пучкам, не имеющим траекторий, пересекающих ось, является чисто условным. Поскольку кривые, определяющие кон тур пучка, симметричны относительно плоскости кроссовера, пер воначально сходящийся пучок достигает исходного радиуса на рас-