Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Электронная оптика и электроннолучевые приборы

..pdf
Скачиваний:
7
Добавлен:
20.11.2023
Размер:
25.05 Mб
Скачать

Используя соотношения (1.250), получим выражение соответст­

венно для d2Vjds2 и Uу:

 

 

/ d2U\

1

(1.263)

Ы )

= V * * ( N ) +

— Uv{N),

\ as2

' N

р

 

 

uvm = Y

'

(1264)

Так как мы не учитываем собственный заряд электронов пуч­ ка, распределение потенциала удовлетворяет уравнению Лапласа:

Следовательно,

Тогда

U XX ” Ь U yy -f - Uzz == 0 .

U Vy + U Zz = Uxx- Выразим U xx из (1.263).

U w + Uzt =

d2U

2

( 126о)

~т~£

р

 

asй

 

 

Из (1.265) следует, что в тех случаях, когда поле не задано во всем пространстве, а известно только распределение потенциала U0(s) вдоль основной траектории, величина Uyv или Uzz может быть задана произвольно. Кроме того, величина иуг не определена никакими дополнительными соотношениями и также может быть любой функцией s. Таким образом, можно положить

UZz =

0 (s),

Uyz =

'¥(s),

 

(1.266)

где Ф и ¥ — любые функции дуги.

 

 

 

уравнения (1.263)

Окончательно с

учетом (1.264) — (1.266)

принимают вид

 

 

 

 

 

 

 

 

 

d / dUo

 

Рз

dU0

, „Г

,

/ 2

 

1 \

ds \Pz~ds '

т

■ ^ + 2 1Рг

+Pz \ V ~ * I

2Рз

, Рзт'

'\uo + <D(s)p2-V(s)p3 =

0,

т

1

т2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

l

Рз

,

2рг

 

рзт'

'

 

~т~ + 2 ( Рз

Т2

+

Т

 

,

 

 

as

 

\

 

 

Т2

 

 

— ®(s)P2 — x¥(s)p3 — 0.

 

 

(1.267)

Эта система двух линейных относительно р2, рз и И0уравнений определяет поведение узкого пучка электронов, движущихся в эле­ ктростатическом поле. Задавая поле и основную траекторию, мож­ но, решая систему двух линейных дифференциальных уравнений, найти все смежные траектории, т. е. полностью определить форму пучка. И, наоборот, задавая форму пучка (основную и смежные траектории), можно найти распределение потенциала, т. е. решить

прямую задачу. Необходимо только иметь в виду, что число смеж­ ных траекторий, определяющих форму пучка, которые можно задать произвольно, ограничено. Например, при решении прямой задачи для электростатического поля, кроме основной, можно за­ дать только «полторы» траектории, т. е. для одной смежной траек­ тории (сверх основной) можно задать p2 (s) и р3(s ), а для второй смежной траектории либо рг, либо р$, но не обе траектории сразу. Задание «двух с половиной» (вместе с основной) траекторий по,- зволяет однозначно решить задачу о распределении потенциала вблизи пучка с помощью системы (1.267).

Уравнения (1.267) могут быть получены из общих уравнений Г. А. Гринберга, в которых следует положить 5 = 0 (отсутствие маг­ нитного поля) и о<Сс (нерелятивистский случай). Уравнения Г А. Гринберга позволяют находить либо траектории по заданным электрическому и магнитному полям, либо электрическое и маг­ нитное поля по заданным траекториям, т. е. эта теория является наиболее общей. Следует учитывать, что строгое решение системы уравнений возможно не всегда, и в ряде практически важных слу­ чаев приходится пользоваться приближенными методами. Задача значительно упрощается, если поля (или пучок) обладают осевой или плоской симметрией. При наличии осевой симметрии в качест­ ве основной траектории удобно выбрать ось пучка. В этом случае кривизна и кручение отсутствуют (1/р=1/т=0) и при подстановке

г = УР\+ Р\ второе уравнение системы (1.257) совпадает с основ­

ным уравнением параксиальной оптики (1.82).

Г Л А В А В Т О Р А Я

ЭЛЕКТРОННАЯ ОПТИКА ИНТЕНСИВНЫХ ПУЧКОВ

§2.1. ДЕЙСТВИЕ ПРОСТРАНСТВЕННОГО ЗАРЯДА

ВЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКАХ

Вгл. 1 мы изучали движение электронов в электрических и маг­ нитных полях, предполагая, что электрическое поле однозначно определяется формой, расположением и потенциалами электродов, а магнитное поле — размерами и формой магнитных катушек, а также величиной тока, обтекающего эти катушки, или расположе­ нием постоянных магнитов с известной намагничивающей силой. Иными словами, рассматривая фокусировку электронных пучков, различные типы электронных линз, мы не учитывали электрические и магнитные поля, создаваемые самим электронным пучком. Игно­ рирование этих полей оправданно лишь при определенных огра­ ничениях, накладываемых на величину тока пучка и ускоряющее напряжение. Очевидно, чем больше плотность тока пучка, тем больше плотность пространственного заряда электронов, тем силь­ нее скажутся на характеристиках движения электронов собствен­ ные поля, создаваемые движущимися электронами. С другой сто­ роны, чем больше ускоряющие напряжения, тем больше энергия электронов и тем меньше скажутся на характеристиках движения собственные поля электронного пучка.

Таким образом, действие пространственного заряда в пучках удобно характеризовать коэффициентом пространственного заря­ да, учитывающим величины тока пучка и ускоряющего напряже­ ния. Коэффициент пространственного заряда Р, называемый так­

же п е р в е а н с о м , определяется как отношение тока пучка к на­ пряжению в степени 3/2:

 

 

Le%

J

(2.1)

 

 

f —

1 -

 

Поскольку в реальных устройствах, формирующих интенсивные

электронные

пучки,

удается получить значение Р не больше

10-5 а/в"/*,

часто

пользуются

понятием «микропервеанс»:

р=Р •106 [мка/в,/г].

Исследование электронных пучков показало, что влияние собст­ венного электрического поля пучка начинает заметно сказываться на движении эл ек тр он ов при Р^\0~&afe't^p^zlO-2 мка/в,1г). По­ этому, если в любом сечении пучка /?< 10—2 мка/в3/i, что имеет ме­ сто в большинстве электроннолучевых приборов, действием прост­ ранственного зарядЛ можно пренебречь и при расчетах использо­ вать формулы, приведенные в гл. 1. Наоборот, электронные пучки,

используемые в приборах СВЧ-диапазона (клистроны, лампы бе­ гущей и обратной волн и др.), величина р обычно существенно больше 10-2 жАса/в3/*, и действие пространственного заряда необ­ ходимо учитывать. Электронные пучки, имеющие хотя бы в одном сечении р>10~2 мка/ва/*, относятся к интенсивным пучкам, и рас­ чет электронно-оптических систем, формирующих такие пучки, не­ обходимо вести по формулам, учитывающим собственное поле эле­ ктронов пучка. Заметное действие собственного магнитного поля движущихся электронов, как это будет показано ниже, начинает проявляться лишь при релятивистских скоростях, и этим действием в большинстве практических случаев можно пренебречь.

Действие пространственного заряда в пучках можно охаракте­ ризовать следующими тремя факторами: расширением электрон­ ного пучка в пространстве, свободном от поля; падением потен­ циала в пучке; ограничением тока пучка. Очевидно, третий фактор является следствием второго, так как значительное падение потен­ циалов приводит к уменьшению скорости электронов, и если в ка­ ком-либо сечении пучка потенциал спадает до нуля (до потенци­ ала катода), то пучок обрывается.

Полное математическое описание электронных потоков, сфор­ мированных в пучки определенного вида, встречает значительные трудности. Это объясняется в первую очередь тем, что реальный электронный поток является сложным физическим объектом, состоящим из совокупности множества движущихся дискретных от­ рицательно заряженных частиц — электронов. Учесть взаимодей­ ствие отдельных электронов в пучке практически невозможно. По­ этому при решении задач, связанных с формированием интенсив­ ных пучков, необходимо вводить ряд предположений, т. е. рассмат­ ривать некоторую упрощенную модель реального пучка. Первым упрощающим предположением является замена суммы сил, дейст­ вующих на выбранный электрон со стороны соседних электронов, силой действия на этот электрон некоторой электрически заряжен­ ной среды с непрерывно распределенной плотностью пространст­ венного заряда.

Важным предположением является условие ламинарности по­ тока, т. е. отсутствие в потоке пересекающихся траекторий элект­ ронов. При таком предположении электрон, движущийся на гра­ нице пучка, все время будет оставаться на этой границе. Таким образом, нахождение контура пучка, являющегося одной из основ­ ных задач оптики интенсивных пучков, сводится к вычислению тра­ ектории крайнего электрона. Конечно, реальный пучок электронов не имеет резкой границы — плотность тока на краю пучка спадает постепенно, однако предположение о наличии четкой границы и крайнего электрона пучка значительно упрощает решение основ­ ных задач оптики интенсивных пучков и широко практикуется.

Используемые во многих типах приборов интенсивные электрон­ ные пучки являются «длинными», т. е. их «длина» — протяженность вдоль одной из координатных осей (оси 0Z) — значительно превы­ шает радиус осесимметричного пучка или толщину «ленточного»

(плоского) пучка. В этих случаях часто удается значительно упро­ стить задачу, пользуясь условием параксиальности траекторий электронов. Оставаясь в границах параксиальной оптики, можно с достаточной степенью точности считать, что продольная (вдоль оси 0Z) составляющая скорости электронов равна полной скорости vn, определяемой законом сохранения энергии. В самом деле, при небольшом угле наклона траектории к оси поперечная составляю­ щая СКОРОСТИ Uj.'COz и

 

=

Ц„ У

1 — ( ^ ± ) г a v , = f ^ U .

(2 .2)

Расчет показывает, что угол наклона траектории

к оси у ^ 8 °

дает погрешность при использовании равенства (2.2)

не более

1%.

Даже при сравнительно больших значени­

 

 

 

ях у (у =15°) погрешность оказывается мень­

 

 

 

ше 5%, что допустимо в ряде практических

 

 

 

случаев.

 

 

 

 

 

 

 

При решении конкретных задач вводят­

 

 

 

ся некоторые дополнительные

предположе­

 

 

 

ния: например, иногда можно допустить,

 

 

 

что плотность тока одинакова во всех точ­

 

 

 

ках какого-либо поперечного сечения пучка.

 

 

 

Поскольку при формировании

интенсивных

 

 

 

пучков

обычно

используются

достаточно

 

 

 

большие ускоряющие

напряжения,

оказы­

Рис. 2.1. Расширение

ци­

вается

возможным пренебречь

начальными

скоростями электронов, испускаемых като­

линдрического пучка

дом, т. е. считать что при U= 0

(на катоде)

 

 

 

скорость электронов v=0.

 

 

 

 

 

Наибольшее практическое распространение получили интенсив­

ные пучки, имеющие в поперечном

сечении

форму

круга, прямо­

угольника (причем одна из сторон прямоугольника значительно больше другой) и кольца. В соответствии с этим рассматривают осесимметричные (иногда неточно называемые цилиндрическими или круглыми), ленточные и трубчатые пучки: при этом во всех случаях предполагается, что длина пучка значительно больше его поперечных размеров. Следует отметить, что влияние пространст­ венного заряда неодинаково в пучках различной конфигурации. По­ этому анализ действия пространственного заряда необходимо про­ водить отдельно для интенсивных пучков конкретного типа.

Рассмотрим интенсивный осесимметричный пучок. Допустим, что в пространство, имеющее постоянное значение потенциала Uо, вводится цилиндрический пучок электрона с током / и радиусом го (рис. 2.1)..

Предположим, что плотность тока в пучке постоянна во всех точках поперечного сечения и что все электроны пучка имеют оди­ наковую осевую составляющую скорости vz, определяемую потен­ циалом U0 (т. е. не будем учитывать падение потенциалов в пучке).

Уравнение движения электрона в радиальном направлении име­ ет вид

d2r

(2.3)

пг—— — — еЕг,

dt2

 

где ЕТ— радиальная составляющая напряженности поля, создаваемого пространственным зарядом.

Заметим, что в пространстве движения электронов пучка U= = £Л)=7^ /(2), £ z= —dU/dz=0, a £\j,=0 вследствие осевой симметрии пучка, т. е. характер движения электронов будет определяться только радиальной составляющей напряженности поля Ег.

Для определения Ег выделим в пучке небольшой цилиндрик ра­ диусом г и длиной / и воспользуемся теоремой Остроградского — Гаусса для потока вектора напряженности электрического поля. Тогда

t ЛР

 

 

2nrlEr + яг2^ ~41 dz =

пгЧ— ,

(2.4)

Jn dz

ео

 

где р — плотность пространственного заряда.

(2.4)

Поскольку £ z= 0, второй член в левой части уравнения

также равен нулю. Выразив плотность пространственного заряда через ток:

±

I

Р =

t(2.5)

Vz

 

для радиальной составляющей напряженности электрического по­ ля получим

Ет= -----------------------

■.

(2.6)

2яе0"1/ — t/о го

 

 

r

пг

 

 

Выражение (2.6) показывает, что радиальная составляющая на­ пряженности электрического поля, создаваемого пространствен­

ным зарядом,

внутри

пучка

прямо

пропорциональна

радиусу г,

т. е. удалению от оси.

(г= г0)

радиальная составляющая поля

На границе

пучка

 

Ет|г=г0 =

1 /

-- •

(2.7)

 

 

 

 

 

 

 

2яео у UQTQ

 

 

 

 

1

пг

 

Из (2.7) непосредственно следует, что при неизменном токе осесимметричного пучка напряженность поля на его границе тем больше, чем тоньше пучок. Электронные траектории ламинарного осесимметричного пучка теоретически не могут пересечь ось, так как с приближением граничных электронов к оси напряженность поля, а следовательно, и силы расталкивания неограниченно воз­ растают.

Формула (2.7) может быть использована для расчета поля вбли­ зи внешней границы пучка (при г > г 0). Как видно из (2.7), напря­

женность поля вне пучка спадает пропорционально

1 /г. Распреде­

ление радиальной составляющей на­

 

 

 

пряженности

электрического поля,

 

 

 

создаваемого

пространственным

за­

 

 

 

рядом, графически представлено

на

 

 

 

рис. 2.2.

 

 

 

 

 

 

Как видно из рисунка, макси­

 

 

 

мальное значение

напряженности

 

 

 

радиального поля соответствует гра­

 

 

 

нице пучка.

 

 

 

 

 

 

Таким образом, на электрон, дви­

 

 

 

жущийся на границе пучка, действу­

 

 

 

ет радиальная сила

Fn = еЕт, на­

 

 

 

правленная от оси пучка, т. е. стре­

 

 

 

мящаяся увеличить радиус пучка.

 

 

 

Подставив в выражение для ра­

 

 

 

диальной силы величину Ег из (2.7),

 

 

 

получим значение силы кулоновско­

 

 

 

го расталкивания, определенное

че­

Рис.

2.2. Распределение радиаль­

рез ток пучка, его радиус и ускоря­

ной

составляющей

напряженности

ющее напряжение:

 

 

 

электрического поля

 

 

el

 

 

еI

(2.8)

 

Fn = -

 

 

2neoVzro

 

 

2яео У

 

Го

 

 

 

 

 

 

Кроме этой силы, стремящейся расширить пучок, на электроны действует сила Лоренца за счет магнитного поля, создаваемого движущимися электронами, которые можно рассматривать как ли­ нейные параллельные токи. Согласно закону Био — Саварра маг­ нитная индукция на поверхности пучка

В =

ро/

(2.9)

 

2яго

а радиальная сила, действующая на электроны за счет этого маг­

нитного поля

ер0Ivz

 

Егм---

(2.10)

2яго

 

 

Выражение (2.10) показывает, что радиальная сила, создавае­ мая собственным магнитным полем пучка, направлена в сторону оси, т. е. стремится сжать пучок.

Результирующая радиальная сила, действующая на граничный электрон, получается суммированием выражений (2.8) и (2.10):

el /

1

Fгг — Егэ -f- Егм —

(2. 11)

2яг0 \

е0о2

Принимая во внимание, что ео и цо связаны соотношением £0/ц0= 1 /с2, уравнение (2.11) можно преобразовать:

 

 

_е/__

 

2 \

 

 

FrS =

( ‘ -S )

(2. 12)

 

-

Из (2.12)

следует, что

2яеоОгГо

 

 

 

 

 

 

 

___ ____ р

_ ± _

 

(2.13)

 

 

 

с2 ’

 

 

 

 

 

 

т. е. при oz< c

и действие

собственного

магнитного

поля следует учитывать

только

для

релятивистских

скоростей

электронов.

Аналогично

можно,

показать, что заметное влия­

ние собственного магнитного поля на движение электронов в пуч­ ках других типов будет проявляться лишь при релятивистских скоростях электронов. Практически при ускоряющих напряжениях до 25—30 кв величина «собирающей» магнитной силы составляет не более нескольких процентов от величины расталкивающей эле­ ктростатической силы и в большинстве систем, используемых для формирования интенсивных пучков, действие магнитного поля пуч­ ка можно не учитывать.

Для определения контура осесимметричного пучка электронов, введенного в эквипотенциальное пространство, составим уравнение

движения крайнего (движущегося

на границе пучка)

электрона.

Для этого подставим в уравнение (2.3) значение Етиз (2.7):

d2r

----------

el

(2.14)'

m— =

■ — .

dt2

-i/ 2e

 

 

2яео^

U0r

 

Ограничиваясь параксиальным приближением (считая va = vz=

= dz/dt = "У~ £А> ) , преобразуем уравнение (2.14), перейдя ог

дифференцирования по f к дифференцированию по z (см. § 1.6):

Ф г_

1

 

_ /_ 1

dz2

 

 

(2.15)

4яео V

I I

о

 

1

тп

 

Первый множитель в правой части уравнения (2.15) является постоянным коэффициентом и численно равен 1,52 •104; второй мно­ житель в правой части есть первеанс Р. Таким образом, уравнение (2.15) можно записать в виде

г" ■1,52.104Рг-» = 0,

(2.16)

где штрихи обозначают дифференцирование по г.

128

Анализ решения уравнения (2.16) оказывается более нагляд­ ным при введении безразмерных переменных R и Z:

Д = — , 2 =

(2.17)

г0

I

где Го — начальный радиус пучка; / — некоторая масштабная ве­ личина «длина» пучка, в единицах которой отсчитываются расстоя­ ния вдоль оси 0Z.

При такой замене переменных

и уравнение (2.16) приводится к виду

 

R"

1о= 0’

(2-18)

где х = 1,52 •104Р (//г0) 2.

*

в эквипотенциальное

В общем случае пучок может

вводиться

пространство, имея начальную сходящуюся, цилиндрическую или расходящуюся форму. Поэтому уравнение (2.18) будем решать при следующих начальных условиях: 2 = 0 , /? = 1; R'=R0', т. е. совме­ стим начало отсчета с границей ввода пучка в эквипотенциальное

пространство

(очевидно, если пучок до входа в эквипотенциальное

пространство

имел

цилиндрическую форму,

то Ro' = 0). Умножим

почленно уравнение

(2.18) на 2R' и используем

d

 

 

 

 

■— (R')2= 2R'R". Тогда уравнение примет вид

 

dz

 

 

 

 

 

 

d

2y,R'

(2.19)

 

 

dZ

R *

 

 

 

Проинтегрируем уравнение с учетом принятых начальных усло­

вий:

 

 

 

 

 

 

Д' =

У2х1пЯ + (Я;)2

(2.20)

(при интегрировании учтено соотношение (\nR)'=R'/R).

Преобразуем уравнение (2.20):

 

 

 

d Z -

(2.21)

 

 

 

У2х1п R + (R'0)2

 

и проинтегрируем его:

 

 

 

 

л

dR

(2.22)

 

 

 

 

 

Z=SJ pK\nR + (R'o)*

 

 

 

Интеграл в правой части уравнения (2.20) можно привести к

табличному, использовав подстановку:

 

 

 

2х In

+ (Ro) 2 = 2х«2.

(2.23)

129

R
Рис. 2.3. Огибающие осесимметричных пучков
мости R от Z при различных значениях

В результате решение уравнения (2.19) принимает окончатель­ ный вид:

_

±V\nR+a

 

z = — e--L_—

f

(2.24)

V i

^

 

где a = (RO')2/2K =326(r0')2lp (p — микропервеанс).

Интеграл в (2.24) табулирован; беря из таблиц его значение,

можно построить график зависимости R=f(Z)

при различных зна­

чениях Ко'. В случае /?0'= 0 (цилиндрический пучок при Z = 0) фор­

мула (2.24) упрощается:

 

----/in Я

 

JL ^ е“гйи.

(2.25)

*о

Вкачестве примера на рис. 2.3 приведены графики зависи­

R0'

Очевидно, эти кривые определяют контуры осесим­ метричных пучков для раз­ личных наклонов к оси крайних траекторий при вхо­ де пучка в эквипотенциаль­ ное пространство. Как вид­ но из графиков, пучки, име­ ющие до входа в простран­ ство, свободное от поля, тра­ ектории крайнего электро­ на, параллельные оси (ци­ линдрический пучок) или образующие с осью положи­ тельные углы наклона (рас­ ходящийся пучок), в эквипо­ тенциальном пространстве неограниченно расширяют­

ся за счет расталкивающего действия пространственного заряда. Пучки, имеющие до входа в эквипотенциальное пространство от­ рицательный угол наклона крайних траекторий (сходящийся пу­ чок), в пространстве, свободном от поля, достигают минимального радиуса, затем также начинают расширяться. Плоскость, в кото­

рой пучок

имеет наименьшее сечение, называют

п л о с к о с т ь ю

к р о с с о в

е р а , хотя само понятие «кроссовер»

в приложении к

интенсивным пучкам, не имеющим траекторий, пересекающих ось, является чисто условным. Поскольку кривые, определяющие кон­ тур пучка, симметричны относительно плоскости кроссовера, пер­ воначально сходящийся пучок достигает исходного радиуса на рас-

Соседние файлы в папке книги