Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Моделирование и автоматизация проектирования силовых полупроводниковых приборов

..pdf
Скачиваний:
3
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
12.32 Mб
Скачать

|А СКЭТ-П Н

Объектные

подсистемы

Подсистема

 

Подсистема

автоматиза­

 

технологичес­

ции моделиро­

 

кого „

вания и

 

 

расчетов СПП

 

т о д )

(ПАМИР)

 

L

 

 

Моделирова­

 

Анализ

 

проектной

ние и

 

 

ситуации

расчет

 

 

(области

характери­

 

 

допустимых

стик СПП

 

 

значении)

Расчет

 

Оптимизация

и синтез

 

 

допусков

концентра­

 

 

проектируе­

ционных

 

 

мых

профилей

 

 

параметров

 

 

Расчет и

 

Статисти­

графическое

 

ческий

отображение

анализ

нагрузочных

 

характерис­

 

проектного

тик

 

решения

1г

L

Инвариантные подсистемы

1

Подсистема

Подсистема

Подсистема

оптимизации

автоматизации

конст^ктор-

проектных

научных

проектирова-

решений

исследовании

(ДИСПОР)

(ЛАНИ)

 

(?% *)

 

 

 

j

Формализа­

Планирование

 

 

и статисти­

 

Графичес­

ция задачи

ческая обра­

 

оптималь­

ботка

-

кий

ного проек­

эксперимен­

вывод

тирования

тальных

 

 

 

ванных

 

 

Оптимизация

Аппроксимация

 

 

эксперимен­

 

Интерак­

проектного

тальных

 

 

тивная

решения

данных и

 

 

машинная

по несколь­

сложных те­

 

графика

ким крите­

оретических

 

риям

моделей

 

 

Решение

Генерация

 

Генерация

общей

специализи­

 

пакетов

задача

рованных

 

программ

пакетов

 

конструк­

нелинейного

 

и программ

 

торского

программи­

обработки

 

проектиро­

рования

данных

 

вания СПП

Рис. 9.1. Функциональная структура системы АСКЭТ-Н

НАЧАЛО ОКР СПП

Рис. 9.2. Логическая схема проектирования СПП:

КТС — комплекс технических средств; УИ— управляющая информация; ФШ— фотошаблоны

181

ции выполнения НИОКР в процессе создания изделий новой тех­

ники.

Рассмотрим, как реализовывалась указанная схема при соз­ дании системы АСКЭТ-Н.

На рис. 9.1 изображена функциональная структура АСКЭТ-Н, в пяти подсистемах которой автоматизировано решение 15 типов

задач.

На рис. 9.2 показано, как задачи проектирования и методы (процедуры) их автоматизированного решения увязаны логиче­ ской схемой процесса выполнения НИОКР СПП.

Принятая при внедрении САПР СПП методология автомати­ зированного проектирования нашла свое отражение в составе до­ кументов методического обеспечения АСКЭТ-И, которые содер­ жат описание способов, методов и приемов, используемых персо­ налом АСКЭТ-П в ходе реализации процесса проектирования.

Задачи проектирования СПП относятся к классу слабострук­ турированных задач, решение которых не может быть выполнено в рамках заранее постулированных схем (алгоритмов) их реше­ ния. Наоборот, схемы решения задач ищутся в процессе разра­ ботки конкретных СПП субъектом проектирования.

В связи с этим в основу описания процесса автоматизирован­ ного проектирования положена не поэтапность в пространстве и времени проектной деятельности как таковой, а функциональная специфика этой деятельности, отраженная в некоторой типовой, логически завершенной автоматизированной процедуре проекти­ рования, применимой на любых формально разделимых этапах НИР, ОКР, ОТР.

С учетом сказанного логическая схема процесса проектирова­ ния СПП как объекта автоматизации (рис. 9:2), отражает основ­ ное содержание работ на любых этапах проектирования примени' тельно как к проектируемому объекту (СПП) в целом, так и к его составным частям.

Автоматизированный процесс проектирования СПП организу­ ется и реализуется проектировщиком (разработчиком приборов) с помощью средств автоматизации АСКЭТ-И. По способу приме­ нения средств автоматизации автоматизированные проектные процедуры могут быть разбиты на три типа.

Первый тип процедур применяется для решения задач, алго­ ритм решения которых заранее известен и может быть реализо­ ван однозначным выбором стандартизованных операций логиче­ ской и вычислительной обработки. Этот тип процедур реализует­ ся целевыми (специализированными) ППП подсистемы ПАМИР, такими, как ДИНАМИТ, САРХАТ, НАГРУЗКА, ДИРАС и др. Отличительными особенностями специализированных ППП явля­ ются простота и унификация входных языков и выходных доку­ ментов (результатов), а также возможность эксплуатации на вы­ числительном центре в операторском режиме без участия разра­ ботчиков ППП.

182

Процедуры второго типа применяются для решения класса за­ дач, алгоритм решения которых нельзя заранее определить, его необходимо сформировать в ходе решения. При этом, очевидно, что все возможные варианты из заданного класса задач должны быть заранее обеспечены расчетными модулями. Примерами про­ цедур такого типа могут служить проектные процедуры, реализо­ ванные в подсистемах АНОД или ДИСПОР. Указанные процеду­ ры ориентированы на специалиста по данному классу задач, и со­ ответствующие программные комплексы могут использоваться только под их управлением.

Третий тип процедур применяется в случаях, когда в процессе проектирования СПП появляются принципиально новые задачи либо когда имеющиеся средства оказываются недостаточно эф­ фективными для решения известных задач.

Данный тип процедур реализуется при помощи программных комплексов, организованных по принципу метасистем, способных генерировать новые специализированные процедуры и реализую­ щие их программы. Примерами таких метасистем могут служить подсистемы ПАНИ и ГРАФ (см. рис. 9Л). Режим эксплуатации систем такого типа требует совместной работы разработчиков СПП (специалистов по объекту проектирования) и математиковпрограммистов (разработчиков подсистемы).

Рассмотрим программное обеспечение системы АСКЭТ-Н, реа­ лизующее автоматизированное решение приведенных выше клас­ сов задач, возникающих на различных этапах НИОКР СПП. Программное обеспечение реализовано на КТС, в состав которого входят центральная ЭВМ ЕС-1033 со стандартным набором пери­ ферийных устройств, а также алфавитно-цифровые дисплеи ЕС-7917 и ЕС-7927, установленные в подразделениях НИИ ПО «ТЭЗ имени М. И. Калинина» и в СКТБ ПО «ТЭЗ имени М. И. Калинина». Для получения твердых копий к дисплеям под­ ключены печатающие устройства ЕС-7914 (DZMH180). Конструк­ торская документация изготавливается на графопостроителе план­ шетного типа ЕС-7054 (в режиме off-line); интерактивная машин­ ная графика реализована двумя способами: через графический дисплей ЕС-7064 (в режиме on-line) и через алфавитно-цифровой дисплей ЕС-7917 совместно с графопостроителем ЕС-7052 (в ре­ жиме on-line).

Структура программного обеспечения АСКЭТ-Н изображена на рис. 9.3. Системное ядро программного обеспечения образуют операционная система версии ОС 6.1, система разделения време­ ни TSO, инструментальная система программирования ПРИЗ [9.5] и технологический комплекс проектирования диалоговых

ППП СПРИНТ [9.7].

В соответствии с функциональной структурой АСКЭТ-Н (см. рис. 9.1) программное обеспечение системы составляют 22 ППП

специального и общего назначения, объединенные в 5 подсистем, 15 из них (.11 общего и 4 специального назначения) образуют ин­ тегрированный программный комплекс совместных ППП.

Рис. 9.3. Структура ПО АСКЭТ-Н

Поскольку ППП являются в САПР основным инструментом автоматизации, рассмотрим кратко назначение и особенности всех

ППП, составляющих АСКЭТ-И.

Предварительно дадим определение ППП. Существует много определений; здесь под ППП понимается некоторый программ­ ный комплекс, предназначенный для решения задач определенно­ го класса. В общем случае ППП состоит из набора вычислитель­ ных модулей (тела ППП), информационной базы и монитора. Набор вычислительных модулей определяет проблемную направ­ ленность, т. е. класс решаемых задач; в базе данных хранятся как эти модули, так и массивы исходной и выходной информации. Мо­ нитор ППП обеспечивает организацию управления вычислитель­ ным процессом, в том числе трансляцию описаний задач с вход­ ных языков ППП, планирование вычислений и сборку рабочих программ, организацию работы с базой данных ППП, диалого­ вый режим и т. д.

ППП, используемые в САПР, можно разбить на три класса:

1) библиотечные; 2) целевые (специализированные); 3)

высоко­

го уровня.

 

По библиотечному принципу организуются ППП, выполняю­

щие в ОС ЭВМ общесистемные или сервисные функции.

Такие

ППП представляют совокупность программных модулей, не свя­ занных между собой и вызываемых при надобности пользовате­ лем из прикладной программы на каком-либо языке программи­ рования.

184

Под целевыми ППП понимаются программные комплексы, специализированные на решении узкого класса задач, с простым языком формулировки условий задач и жестким сценарием диа­ лога с пользователем.

ППП высокого уровня характеризуются развитыми входными языками, наличием планирования вычислений, генерации рабо­ чих программ из модулей тела ППП, наличием развитой базы данных. Для таких ППП характерен этап инициализации, в про­ цессе которого происходит настройка ППП на решение заданной задачи. В зависимости от состава программных модулей тела

ППП число различных задач, решаемых таким ППП, может быть чрезвычайно велико.

В системе АСКЭТ-Н имеются ППП всех трех типов. Примене­ ние при разработке ППП высокого уровня инструментальной си­ стемы программирования ПРИЗ позволило объединить их в ин­ тегрированный программный комплекс совместимых ППП

(рис. 9.3). Перечисленные ППП имеют развитые проблемно-ори­ ентированные входные языки высокого уровня, построенные как макрорасширения базового языка УТОПИСТ [9.8]. В ППП осу­ ществляется планирование вычислений и автоматическая генера­ ция рабочих программ по заданиям на входном языке.

Что дает разработчикам ППП САПР и конечным пользовате­

лям ППП — проектировщикам приборов применение

инструмен­

тальных систем типа ПРИЗ?

САПР — это

Для разработчиков программного обеспечения

прежде всего элемент технологии, это базовый язык

УТОПИСТ,

благодаря которому у разработчиков САПР отпадает необходи­

мость в ■создании трансляторов с входных языков для

каждого

ППП высокого уровня.

пользователи

ППП —

Разработчики

приборов — конечные

в результате применения системы ПРИЗ

получают следующее.

Во-первых, для

ряда проектных задач с

относительно

длитель­

ным сроком их эксплуатации они получают эффективные и про­ стые в применении специализированные ППП. Причем число та­ ких ППП может постоянно расти и быть достаточно большим. Во-вторых, в тех случаях, когда необходимо оперативно изменить саму постановку задачи, решаемой с помощью ППП высокого уровня, проектировщик на входном проблемно-ориентированном языке может сформулировать новое задание, автоматически сге­ нерировать рабочую программу выполнения этого задания, запу­ стить ее на счет и получить результаты. Таким образом, разра­ ботчик СПП, неспециалист по вычислительной технике, может не только задавать исходные данные для программы и получать ре­ зультаты счета, как в случае специализированных ППП, но и оперативно менять саму постановку задачи в режиме диалога. Естественно, что эти постановки должны быть обеспечены зара­ нее запрограммированными модулями, а класс решаемых ППП

задач должен быть описан, т. е. должна быть создана модель предметной области.

185

Разработанная структура программного обеспечения САПР СПП в виде интегрированного комплекса программно и информа­ ционно совместимых инвариантных и специальных ППП позволи­

ла автоматизировать сквозной процесс проектирования

СПП —

от технического задания до управляющей информации

к прог­

раммно-управляемому

технологическому

оборудованию

и доку­

ментации. Интеграция

ППП обеспечена

единой инструменталь­

ной основой их разработки, благодаря чему ППП комплекса име­ ют развитые проблемно-ориентированные входные языки, в ППП

осуществляется планирование вычислений и автоматическая ге­ нерация рабочих программ по заданиям на входных языках па­ кетов.

В связи с ограниченным объемом монографии будут рассмот­ рены только основные автоматизированные процедуры, реализо­ ванные в АСКЭТ-Н: процедура технологического проектирования СПП, включающая задачи 4—6 (см. функциональную структуру

АСКЭТ-П), процедура построения эмпирических

моделей — зада­

ча 11, инвариантная процедура формализации

и оптимизации

проектных решений — задачи 7—9. Главной отличительной осо­ бенностью этих процедур является сочетание формальных мате­ матических методов с неформальными приемами, опирающимися на экспертные знания проектировщиков.

В гл. 10 рассмотрено математическое обеспечение, т. е. фор­ мальная часть этих процедур, в гл. 11 — программное обеспече­ ние процедур, выполненное в виде интерактивных ППП высокого уровня.

Глав а д е с я т а я

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ СИЛОВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Теоретические исследования внутренних механизмов функцио­ нирования СПП, выполненные ,в первой части книги, создают формальную основу автоматизации процесса проектирования СПП. Переход в рамках САПР на формальные методы автомати­ зированного проектирования выдвигает ряд проблем, составляю­ щих основу теории автоматизированного проектирования. Одной из таких проблем является разработка адекватных формальных моделей СПП как объектов проектирования и моделей проект­ ных процедур как объектов автоматизации. Эти формальные мо­ дели составляют математическое обеспечение САПР СПП.

Формализация процессов принятия проектных решений может проводиться двумя способами. В основе первого из них лежит стремление смоделировать в той или иной степени процесс пере­ работки информации инженером в ходе «ручного» проектирова­ ния. Второй способ базируется на построении формального опи-

186

сания (модели) проектных задач и разработке формальных ме­ тодов принятия проектных решений на этих моделях. Второй спо­ соб, несмотря на ряд трудностей, связанных с программно-техни­ ческой реализацией, представляется более перспективным, так как одна и та же математическая структура при соответствующей интерпретации может служить моделью разных по содержанию и постановке проектных задач и, следовательно, одни и те же формальные методы могут быть попользованы при их решении.

Именно по пути реализации второго способа шла разработка системы АСКЭТ-Н. В главе будут рассмотрены формальные моде­ ли трех автоматизированных проектных процедур, реализованных в АСКЭТ-Н: процедуры параметрического синтеза СПП в оптими­ зационной постановке, процедуры технологического проектирова­ ния СПП и процедуры автоматизированного построения эмпири­ ческих моделей СПП. В главе рассмотрены также вычислитель­ ные аспекты моделирования СПП, включая методы решения на ЭВМ уравнений, описывающих статические характеристики СПП. Приведена схема модели классификационных электрических па­ раметров СПП, разработанная в [10:1]. Эта модель составляет расчетную часть автоматизированных проектных процедур, рас­ смотренных в настоящей книге.

В заключение главы рассмотрены основные понятия аппарата вычислительных моделей, используемого для формализации и представления в ЭВМ объектов и процедур проектирования.

10.1. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПРЕДМЕТНОЙ ОБЛАСТИ САПР СПП

Одной из главных проблем при создании любой САПР явля­ ется разработка математической модели предметной области. Наличие достаточно развитой теории проектируемых объектов позволяет образовагь в ЭВМ формальную модель предметной об­ ласти или, в терминах искусственного интеллекта, модельную ба­ зу знаний. Такая модель, содержащая совокупность понятий и отношений между ними, вместе с проектными процедурами, реа­ лизованными в виде правил вывода суждений о свойствах этих понятий, образуют модельную базу знаний САПР.

Теоретический фундамент построения модельной базы знаний САПР СПП был заложен в первой части |книги. Здесь кратко ос­ тановимся лишь на вычислительных аспектах математического моделирования СПП, а также приведем математическую модель классификационных электрических параметров, которая потребу­ ется в дальнейшем для описания проектной процедуры парамет­ рического синтеза характеристик СПП и автоматизированной про­ цедуры технологического проектирования СПП.

Использование ЭВМ для моделирования привело к созданию нового типа моделей, основанных на численных методах, что по­ зволило полнее учитывать влияние различных факторов на физи­ ческие процессы, протекающие в СПП. Основные вычислитель­

187

ные проблемы, возникающие при численном моделировании СПП, заключаются в расчете полей в неодномерных областях, расчете концентраций носителей и токов, вычислении различных функцио­ налов, определяющих характеристики СПП, и т. д. По существу, численное моделирование СПП становится частью новой научной дисциплины — вычислительной физики.

Однако и роль традиционных аналитических моделей СПП в САПР достаточно велика. Аналитические модели были первыми моделями, позволившими рассчитать ряд статических характери­ стик приборов [10.1—>10.'2]. Разработка этих моделей позволила

.понять принципиальные основы физических процессов, определя­ ющих выходные характеристики СПП, сформулировать проблемы в области физики и тем самым стимулировать поиски решения этих проблем.

Привлекательными особенностями аналитических моделей яв­ ляются обозримость и простота расчетных формул, что позволяет легко реализовать вычисление характеристик СПП на ЭВМ. Важнейшим достоинством аналитических моделей в САПР явля­ ется их высокое быстродействие, что позволяет использовать эти модели для поиска оптимальных решений и расчетов большого числа вариантов конструкций СПП.

Для решения динамических задач используется метод интег­ ральных преобразований, в частности преобразований Лапласа или Фурье. Этот метод позволяет преобразовать дифференциаль­ ное уравнение в частных производных к обыкновенному диффе­ ренциальному уравнению, общее решение которого известно. За­ дача заключается в нахождении решений, удовлетворяющих крае­ вым и начальным условиям.

Основная трудность заключается в правильной формулировке граничных условий. При этом зачастую приходится разбивать временной диапазон на интервалы, в каждом из которых необхо­ димо ставить свои граничные условия, основываясь на физических представлениях.

Переход от решений в частотной области (изображений) к ре­ шениям во временной области (оригиналам) осуществляется ли­ бо аналитически [10.3], либо с помощью численного обращения изображений [10.4].

При аналитическом обращении изображений, кстати, не всег­ да возможном, решение получается в виде бесконечного функцио­ нального ряда, что в большинстве случаев требует привлечения ЭВМ для получения решений. Этим и объясняется название ме­ тода — численно-аналитический.

Численно-аналитический метод позволяет учитывать зависи­ мость некоторых переменных от координаты и от времени.

Усложнение аналитических и численно^аналитических моделей связано с целым рядом алгоритмических проблем. При этом мож­ но с сожалением констатировать, что усилия, затрачиваемые на усложнение модели, зачастую бывают неоправданными.

Наиболее целесообразным путем развития точных моделей

188

представляется переход к численному решению аистемы диффе­ ренциальных уравнений. Численные методы свободны от многих ограничений, присущих аналитическим и численно-аналитическим: моделям. С помощью численной модели можно исследовать ха­ рактеристики и процессы, имитируя работу реального СПП на ЭВМ [10.5].

Не последнюю роль в моделировании СПП играют эмпириче­ ские зависимости, с помощью которых могут быть описаны неко­ торые характеристики реальных СПП, например скорость распро­ странения включенного состояния в тиристоре. Эмпирические за­ висимости являются единственным способом описания в случае, когда отсутствует метод расчета характеристики СПП. Использо­ вание эмпирических зависимостей весьма эффективно и тогда, когда расчет весьма трудоемок, а требования к точности расчетанежесткие.

Весьма важным является вопрос об использовании простых к сложных моделей. По-видимому, следует придерживаться следу­ ющего правила.

Более сложную модель следует применять только тогда, ког­ да с помощью простой модели не удается рассчитать заданнуюхарактеристику или получить результат с требуемой точностью.

Отсюда, в частности, следует, что порядок применения простых и сложных моделей на различных этапах проектирования не мо­ жет быть строго регламентирован. Поэтому нельзя считать пра­ вильным тезис о том, что простые модели применимы только на начальных этапах проектирования, а сложные — на конечных. Общая схема использования моделей должна быть такой. С по­ мощью простых моделей путем просчета многочисленных вариан­ тов определяется наилучшее проектное решение, которое затемуточняется с помощью сложной модели.

Возможность варьирования значениями параметров модели в пределах области ее применимости и определяет возможность использования моделей при проектировании.

Одномерные численные модели позволяют наиболее полноучитывать физические эффекты в полупроводниковых структурах. Поэтому эти модели целесообразно использовать для исследова­ ния влияния различных физических факторов на выходные харак­ теристики СПП. При этом появляется возможность проверки кор­ ректности упрощающих предложений, принятых при построении аналитических и численно-аналитических моделей.

Двумерные и трехмерные модели с учетом основных физиче­ ских эффектов должны служить для выяснения влияния геоме­ трии СПП на его выходные характеристики.

Анализ применения моделей при проектировании позволяет сформулировать общие требования к моделям СПП и САПР.

Модель должна адекватно описывать СПП. Для поиска луч­ ших проектных решений должны использоваться простые и слож­ ные модели. Модели должны позволять рассчитывать широкий спектр характеристик СПП. Модели должны иметь открытую

189-

Рис. 10.1. Блок-схема математической модели классификационных электрических параметров СПП

структуру, т. е. должны быть легкомодифицируемыми в целях включения в них новых физических зависимостей или использо­ вания моделей для расчета различных типов СПП.

Следует подчеркнуть важность экспериментальных исследова­ ний для разработки математических моделей. Эксперимент необ­ ходим не только для проверки адекватности моделей, но и для определения параметров СПП, не поддающихся расчету: теплово­ го сопротивления прижимного контакта, времени жизни в сильно­ легированных слоях, допустимых температур перегрева в различ­ ных режимах и др.

Примеры численно-аналитических моделей характеристик СПП можно найти в [10.3, 10.4]; одна из первых численных мо­ делей прямой ветви ВАХ силовых диодов для среднего уровня инжекции была разработана в [10.7]. В [10.5] дано современное состояние проблемы численного моделирования СПП.

В заключение параграфа рассмотрим структурную схему ма­ тематической модели классификационных электрических парамет­ ров СПП, разработанную в [4,1]. Математическая модель клас­ сификационных электрических параметров СПП (рис. 10.1) вклю­ чает повторяющееся импульсное напряжение в закрытом состоянии

UDRM , повторяющийся

импульсный ток

в закрытом состоянии

JDRM , средний ток в открытом состоянии

(предельный ток) IT A V ,

критическую скорость

нарастания напряжения в закрытом co­

il90

 

 

Соседние файлы в папке книги