книги / Моделирование и автоматизация проектирования силовых полупроводниковых приборов
..pdf|А СКЭТ-П Н
Объектные |
подсистемы |
|
Подсистема |
|
Подсистема |
автоматиза |
|
технологичес |
ции моделиро |
|
кого „ |
вания и |
|
|
расчетов СПП |
|
т о д ) |
(ПАМИР) |
|
|
L |
|
|
Моделирова |
|
Анализ |
|
проектной |
|
ние и |
|
|
|
ситуации |
|
расчет |
|
|
|
(области |
|
характери |
|
|
|
допустимых |
|
стик СПП |
|
|
|
значении) |
|
Расчет |
|
Оптимизация |
и синтез |
|
|
|
допусков |
|
концентра |
|
|
|
проектируе |
|
ционных |
|
|
|
мых |
|
профилей |
|
|
|
параметров |
|
|
|
|
Расчет и |
|
Статисти |
графическое |
|
ческий |
отображение |
анализ |
|
нагрузочных |
|
|
характерис |
|
проектного |
тик |
|
решения |
1г
L
Инвариантные подсистемы |
1 |
||
Подсистема |
Подсистема |
Подсистема |
|
оптимизации |
автоматизации |
конст^ктор- |
|
проектных |
научных |
проектирова- |
|
решений |
исследовании |
||
(ДИСПОР) |
(ЛАНИ) |
|
(?% *) • |
|
|
|
j |
Формализа |
Планирование |
|
|
и статисти |
|
Графичес |
|
ция задачи |
ческая обра |
|
|
оптималь |
ботка |
- |
кий |
ного проек |
эксперимен |
вывод |
|
тирования |
тальных |
|
|
|
ванных |
|
|
Оптимизация |
Аппроксимация |
|
|
эксперимен |
|
Интерак |
|
проектного |
тальных |
|
|
|
тивная |
||
решения |
данных и |
|
|
|
машинная |
||
по несколь |
сложных те |
|
графика |
ким крите |
оретических |
|
|
риям |
моделей |
|
|
Решение |
Генерация |
|
Генерация |
общей |
специализи |
|
пакетов |
задача |
рованных |
|
программ |
пакетов |
|
конструк |
|
нелинейного |
|
||
и программ |
|
торского |
|
программи |
обработки |
|
проектиро |
рования |
данных |
|
вания СПП |
Рис. 9.1. Функциональная структура системы АСКЭТ-Н
НАЧАЛО ОКР СПП
Рис. 9.2. Логическая схема проектирования СПП:
КТС — комплекс технических средств; УИ— управляющая информация; ФШ— фотошаблоны
181
ции выполнения НИОКР в процессе создания изделий новой тех
ники.
Рассмотрим, как реализовывалась указанная схема при соз дании системы АСКЭТ-Н.
На рис. 9.1 изображена функциональная структура АСКЭТ-Н, в пяти подсистемах которой автоматизировано решение 15 типов
задач.
На рис. 9.2 показано, как задачи проектирования и методы (процедуры) их автоматизированного решения увязаны логиче ской схемой процесса выполнения НИОКР СПП.
Принятая при внедрении САПР СПП методология автомати зированного проектирования нашла свое отражение в составе до кументов методического обеспечения АСКЭТ-И, которые содер жат описание способов, методов и приемов, используемых персо налом АСКЭТ-П в ходе реализации процесса проектирования.
Задачи проектирования СПП относятся к классу слабострук турированных задач, решение которых не может быть выполнено в рамках заранее постулированных схем (алгоритмов) их реше ния. Наоборот, схемы решения задач ищутся в процессе разра ботки конкретных СПП субъектом проектирования.
В связи с этим в основу описания процесса автоматизирован ного проектирования положена не поэтапность в пространстве и времени проектной деятельности как таковой, а функциональная специфика этой деятельности, отраженная в некоторой типовой, логически завершенной автоматизированной процедуре проекти рования, применимой на любых формально разделимых этапах НИР, ОКР, ОТР.
С учетом сказанного логическая схема процесса проектирова ния СПП как объекта автоматизации (рис. 9:2), отражает основ ное содержание работ на любых этапах проектирования примени' тельно как к проектируемому объекту (СПП) в целом, так и к его составным частям.
Автоматизированный процесс проектирования СПП организу ется и реализуется проектировщиком (разработчиком приборов) с помощью средств автоматизации АСКЭТ-И. По способу приме нения средств автоматизации автоматизированные проектные процедуры могут быть разбиты на три типа.
Первый тип процедур применяется для решения задач, алго ритм решения которых заранее известен и может быть реализо ван однозначным выбором стандартизованных операций логиче ской и вычислительной обработки. Этот тип процедур реализует ся целевыми (специализированными) ППП подсистемы ПАМИР, такими, как ДИНАМИТ, САРХАТ, НАГРУЗКА, ДИРАС и др. Отличительными особенностями специализированных ППП явля ются простота и унификация входных языков и выходных доку ментов (результатов), а также возможность эксплуатации на вы числительном центре в операторском режиме без участия разра ботчиков ППП.
182
Процедуры второго типа применяются для решения класса за дач, алгоритм решения которых нельзя заранее определить, его необходимо сформировать в ходе решения. При этом, очевидно, что все возможные варианты из заданного класса задач должны быть заранее обеспечены расчетными модулями. Примерами про цедур такого типа могут служить проектные процедуры, реализо ванные в подсистемах АНОД или ДИСПОР. Указанные процеду ры ориентированы на специалиста по данному классу задач, и со ответствующие программные комплексы могут использоваться только под их управлением.
Третий тип процедур применяется в случаях, когда в процессе проектирования СПП появляются принципиально новые задачи либо когда имеющиеся средства оказываются недостаточно эф фективными для решения известных задач.
Данный тип процедур реализуется при помощи программных комплексов, организованных по принципу метасистем, способных генерировать новые специализированные процедуры и реализую щие их программы. Примерами таких метасистем могут служить подсистемы ПАНИ и ГРАФ (см. рис. 9Л). Режим эксплуатации систем такого типа требует совместной работы разработчиков СПП (специалистов по объекту проектирования) и математиковпрограммистов (разработчиков подсистемы).
Рассмотрим программное обеспечение системы АСКЭТ-Н, реа лизующее автоматизированное решение приведенных выше клас сов задач, возникающих на различных этапах НИОКР СПП. Программное обеспечение реализовано на КТС, в состав которого входят центральная ЭВМ ЕС-1033 со стандартным набором пери ферийных устройств, а также алфавитно-цифровые дисплеи ЕС-7917 и ЕС-7927, установленные в подразделениях НИИ ПО «ТЭЗ имени М. И. Калинина» и в СКТБ ПО «ТЭЗ имени М. И. Калинина». Для получения твердых копий к дисплеям под ключены печатающие устройства ЕС-7914 (DZMH180). Конструк торская документация изготавливается на графопостроителе план шетного типа ЕС-7054 (в режиме off-line); интерактивная машин ная графика реализована двумя способами: через графический дисплей ЕС-7064 (в режиме on-line) и через алфавитно-цифровой дисплей ЕС-7917 совместно с графопостроителем ЕС-7052 (в ре жиме on-line).
Структура программного обеспечения АСКЭТ-Н изображена на рис. 9.3. Системное ядро программного обеспечения образуют операционная система версии ОС 6.1, система разделения време ни TSO, инструментальная система программирования ПРИЗ [9.5] и технологический комплекс проектирования диалоговых
ППП СПРИНТ [9.7].
В соответствии с функциональной структурой АСКЭТ-Н (см. рис. 9.1) программное обеспечение системы составляют 22 ППП
специального и общего назначения, объединенные в 5 подсистем, 15 из них (.11 общего и 4 специального назначения) образуют ин тегрированный программный комплекс совместных ППП.
Рис. 9.3. Структура ПО АСКЭТ-Н
Поскольку ППП являются в САПР основным инструментом автоматизации, рассмотрим кратко назначение и особенности всех
ППП, составляющих АСКЭТ-И.
Предварительно дадим определение ППП. Существует много определений; здесь под ППП понимается некоторый программ ный комплекс, предназначенный для решения задач определенно го класса. В общем случае ППП состоит из набора вычислитель ных модулей (тела ППП), информационной базы и монитора. Набор вычислительных модулей определяет проблемную направ ленность, т. е. класс решаемых задач; в базе данных хранятся как эти модули, так и массивы исходной и выходной информации. Мо нитор ППП обеспечивает организацию управления вычислитель ным процессом, в том числе трансляцию описаний задач с вход ных языков ППП, планирование вычислений и сборку рабочих программ, организацию работы с базой данных ППП, диалого вый режим и т. д.
ППП, используемые в САПР, можно разбить на три класса:
1) библиотечные; 2) целевые (специализированные); 3) |
высоко |
го уровня. |
|
По библиотечному принципу организуются ППП, выполняю |
|
щие в ОС ЭВМ общесистемные или сервисные функции. |
Такие |
ППП представляют совокупность программных модулей, не свя занных между собой и вызываемых при надобности пользовате лем из прикладной программы на каком-либо языке программи рования.
184
Под целевыми ППП понимаются программные комплексы, специализированные на решении узкого класса задач, с простым языком формулировки условий задач и жестким сценарием диа лога с пользователем.
ППП высокого уровня характеризуются развитыми входными языками, наличием планирования вычислений, генерации рабо чих программ из модулей тела ППП, наличием развитой базы данных. Для таких ППП характерен этап инициализации, в про цессе которого происходит настройка ППП на решение заданной задачи. В зависимости от состава программных модулей тела
ППП число различных задач, решаемых таким ППП, может быть чрезвычайно велико.
В системе АСКЭТ-Н имеются ППП всех трех типов. Примене ние при разработке ППП высокого уровня инструментальной си стемы программирования ПРИЗ позволило объединить их в ин тегрированный программный комплекс совместимых ППП
(рис. 9.3). Перечисленные ППП имеют развитые проблемно-ори ентированные входные языки высокого уровня, построенные как макрорасширения базового языка УТОПИСТ [9.8]. В ППП осу ществляется планирование вычислений и автоматическая генера ция рабочих программ по заданиям на входном языке.
Что дает разработчикам ППП САПР и конечным пользовате
лям ППП — проектировщикам приборов применение |
инструмен |
тальных систем типа ПРИЗ? |
САПР — это |
Для разработчиков программного обеспечения |
|
прежде всего элемент технологии, это базовый язык |
УТОПИСТ, |
благодаря которому у разработчиков САПР отпадает необходи
мость в ■создании трансляторов с входных языков для |
каждого |
||
ППП высокого уровня. |
пользователи |
ППП — |
|
Разработчики |
приборов — конечные |
||
в результате применения системы ПРИЗ |
получают следующее. |
||
Во-первых, для |
ряда проектных задач с |
относительно |
длитель |
ным сроком их эксплуатации они получают эффективные и про стые в применении специализированные ППП. Причем число та ких ППП может постоянно расти и быть достаточно большим. Во-вторых, в тех случаях, когда необходимо оперативно изменить саму постановку задачи, решаемой с помощью ППП высокого уровня, проектировщик на входном проблемно-ориентированном языке может сформулировать новое задание, автоматически сге нерировать рабочую программу выполнения этого задания, запу стить ее на счет и получить результаты. Таким образом, разра ботчик СПП, неспециалист по вычислительной технике, может не только задавать исходные данные для программы и получать ре зультаты счета, как в случае специализированных ППП, но и оперативно менять саму постановку задачи в режиме диалога. Естественно, что эти постановки должны быть обеспечены зара нее запрограммированными модулями, а класс решаемых ППП
задач должен быть описан, т. е. должна быть создана модель предметной области.
185
Разработанная структура программного обеспечения САПР СПП в виде интегрированного комплекса программно и информа ционно совместимых инвариантных и специальных ППП позволи
ла автоматизировать сквозной процесс проектирования |
СПП — |
||
от технического задания до управляющей информации |
к прог |
||
раммно-управляемому |
технологическому |
оборудованию |
и доку |
ментации. Интеграция |
ППП обеспечена |
единой инструменталь |
ной основой их разработки, благодаря чему ППП комплекса име ют развитые проблемно-ориентированные входные языки, в ППП
осуществляется планирование вычислений и автоматическая ге нерация рабочих программ по заданиям на входных языках па кетов.
В связи с ограниченным объемом монографии будут рассмот рены только основные автоматизированные процедуры, реализо ванные в АСКЭТ-Н: процедура технологического проектирования СПП, включающая задачи 4—6 (см. функциональную структуру
АСКЭТ-П), процедура построения эмпирических |
моделей — зада |
ча 11, инвариантная процедура формализации |
и оптимизации |
проектных решений — задачи 7—9. Главной отличительной осо бенностью этих процедур является сочетание формальных мате матических методов с неформальными приемами, опирающимися на экспертные знания проектировщиков.
В гл. 10 рассмотрено математическое обеспечение, т. е. фор мальная часть этих процедур, в гл. 11 — программное обеспече ние процедур, выполненное в виде интерактивных ППП высокого уровня.
Глав а д е с я т а я
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ СИЛОВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
Теоретические исследования внутренних механизмов функцио нирования СПП, выполненные ,в первой части книги, создают формальную основу автоматизации процесса проектирования СПП. Переход в рамках САПР на формальные методы автомати зированного проектирования выдвигает ряд проблем, составляю щих основу теории автоматизированного проектирования. Одной из таких проблем является разработка адекватных формальных моделей СПП как объектов проектирования и моделей проект ных процедур как объектов автоматизации. Эти формальные мо дели составляют математическое обеспечение САПР СПП.
Формализация процессов принятия проектных решений может проводиться двумя способами. В основе первого из них лежит стремление смоделировать в той или иной степени процесс пере работки информации инженером в ходе «ручного» проектирова ния. Второй способ базируется на построении формального опи-
186
сания (модели) проектных задач и разработке формальных ме тодов принятия проектных решений на этих моделях. Второй спо соб, несмотря на ряд трудностей, связанных с программно-техни ческой реализацией, представляется более перспективным, так как одна и та же математическая структура при соответствующей интерпретации может служить моделью разных по содержанию и постановке проектных задач и, следовательно, одни и те же формальные методы могут быть попользованы при их решении.
Именно по пути реализации второго способа шла разработка системы АСКЭТ-Н. В главе будут рассмотрены формальные моде ли трех автоматизированных проектных процедур, реализованных в АСКЭТ-Н: процедуры параметрического синтеза СПП в оптими зационной постановке, процедуры технологического проектирова ния СПП и процедуры автоматизированного построения эмпири ческих моделей СПП. В главе рассмотрены также вычислитель ные аспекты моделирования СПП, включая методы решения на ЭВМ уравнений, описывающих статические характеристики СПП. Приведена схема модели классификационных электрических па раметров СПП, разработанная в [10:1]. Эта модель составляет расчетную часть автоматизированных проектных процедур, рас смотренных в настоящей книге.
В заключение главы рассмотрены основные понятия аппарата вычислительных моделей, используемого для формализации и представления в ЭВМ объектов и процедур проектирования.
10.1. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПРЕДМЕТНОЙ ОБЛАСТИ САПР СПП
Одной из главных проблем при создании любой САПР явля ется разработка математической модели предметной области. Наличие достаточно развитой теории проектируемых объектов позволяет образовагь в ЭВМ формальную модель предметной об ласти или, в терминах искусственного интеллекта, модельную ба зу знаний. Такая модель, содержащая совокупность понятий и отношений между ними, вместе с проектными процедурами, реа лизованными в виде правил вывода суждений о свойствах этих понятий, образуют модельную базу знаний САПР.
Теоретический фундамент построения модельной базы знаний САПР СПП был заложен в первой части |книги. Здесь кратко ос тановимся лишь на вычислительных аспектах математического моделирования СПП, а также приведем математическую модель классификационных электрических параметров, которая потребу ется в дальнейшем для описания проектной процедуры парамет рического синтеза характеристик СПП и автоматизированной про цедуры технологического проектирования СПП.
Использование ЭВМ для моделирования привело к созданию нового типа моделей, основанных на численных методах, что по зволило полнее учитывать влияние различных факторов на физи ческие процессы, протекающие в СПП. Основные вычислитель
187
ные проблемы, возникающие при численном моделировании СПП, заключаются в расчете полей в неодномерных областях, расчете концентраций носителей и токов, вычислении различных функцио налов, определяющих характеристики СПП, и т. д. По существу, численное моделирование СПП становится частью новой научной дисциплины — вычислительной физики.
Однако и роль традиционных аналитических моделей СПП в САПР достаточно велика. Аналитические модели были первыми моделями, позволившими рассчитать ряд статических характери стик приборов [10.1—>10.'2]. Разработка этих моделей позволила
.понять принципиальные основы физических процессов, определя ющих выходные характеристики СПП, сформулировать проблемы в области физики и тем самым стимулировать поиски решения этих проблем.
Привлекательными особенностями аналитических моделей яв ляются обозримость и простота расчетных формул, что позволяет легко реализовать вычисление характеристик СПП на ЭВМ. Важнейшим достоинством аналитических моделей в САПР явля ется их высокое быстродействие, что позволяет использовать эти модели для поиска оптимальных решений и расчетов большого числа вариантов конструкций СПП.
Для решения динамических задач используется метод интег ральных преобразований, в частности преобразований Лапласа или Фурье. Этот метод позволяет преобразовать дифференциаль ное уравнение в частных производных к обыкновенному диффе ренциальному уравнению, общее решение которого известно. За дача заключается в нахождении решений, удовлетворяющих крае вым и начальным условиям.
Основная трудность заключается в правильной формулировке граничных условий. При этом зачастую приходится разбивать временной диапазон на интервалы, в каждом из которых необхо димо ставить свои граничные условия, основываясь на физических представлениях.
Переход от решений в частотной области (изображений) к ре шениям во временной области (оригиналам) осуществляется ли бо аналитически [10.3], либо с помощью численного обращения изображений [10.4].
При аналитическом обращении изображений, кстати, не всег да возможном, решение получается в виде бесконечного функцио нального ряда, что в большинстве случаев требует привлечения ЭВМ для получения решений. Этим и объясняется название ме тода — численно-аналитический.
Численно-аналитический метод позволяет учитывать зависи мость некоторых переменных от координаты и от времени.
Усложнение аналитических и численно^аналитических моделей связано с целым рядом алгоритмических проблем. При этом мож но с сожалением констатировать, что усилия, затрачиваемые на усложнение модели, зачастую бывают неоправданными.
Наиболее целесообразным путем развития точных моделей
188
представляется переход к численному решению аистемы диффе ренциальных уравнений. Численные методы свободны от многих ограничений, присущих аналитическим и численно-аналитическим: моделям. С помощью численной модели можно исследовать ха рактеристики и процессы, имитируя работу реального СПП на ЭВМ [10.5].
Не последнюю роль в моделировании СПП играют эмпириче ские зависимости, с помощью которых могут быть описаны неко торые характеристики реальных СПП, например скорость распро странения включенного состояния в тиристоре. Эмпирические за висимости являются единственным способом описания в случае, когда отсутствует метод расчета характеристики СПП. Использо вание эмпирических зависимостей весьма эффективно и тогда, когда расчет весьма трудоемок, а требования к точности расчетанежесткие.
Весьма важным является вопрос об использовании простых к сложных моделей. По-видимому, следует придерживаться следу ющего правила.
Более сложную модель следует применять только тогда, ког да с помощью простой модели не удается рассчитать заданнуюхарактеристику или получить результат с требуемой точностью.
Отсюда, в частности, следует, что порядок применения простых и сложных моделей на различных этапах проектирования не мо жет быть строго регламентирован. Поэтому нельзя считать пра вильным тезис о том, что простые модели применимы только на начальных этапах проектирования, а сложные — на конечных. Общая схема использования моделей должна быть такой. С по мощью простых моделей путем просчета многочисленных вариан тов определяется наилучшее проектное решение, которое затемуточняется с помощью сложной модели.
Возможность варьирования значениями параметров модели в пределах области ее применимости и определяет возможность использования моделей при проектировании.
Одномерные численные модели позволяют наиболее полноучитывать физические эффекты в полупроводниковых структурах. Поэтому эти модели целесообразно использовать для исследова ния влияния различных физических факторов на выходные харак теристики СПП. При этом появляется возможность проверки кор ректности упрощающих предложений, принятых при построении аналитических и численно-аналитических моделей.
Двумерные и трехмерные модели с учетом основных физиче ских эффектов должны служить для выяснения влияния геоме трии СПП на его выходные характеристики.
Анализ применения моделей при проектировании позволяет сформулировать общие требования к моделям СПП и САПР.
Модель должна адекватно описывать СПП. Для поиска луч ших проектных решений должны использоваться простые и слож ные модели. Модели должны позволять рассчитывать широкий спектр характеристик СПП. Модели должны иметь открытую
189-
Рис. 10.1. Блок-схема математической модели классификационных электрических параметров СПП
структуру, т. е. должны быть легкомодифицируемыми в целях включения в них новых физических зависимостей или использо вания моделей для расчета различных типов СПП.
Следует подчеркнуть важность экспериментальных исследова ний для разработки математических моделей. Эксперимент необ ходим не только для проверки адекватности моделей, но и для определения параметров СПП, не поддающихся расчету: теплово го сопротивления прижимного контакта, времени жизни в сильно легированных слоях, допустимых температур перегрева в различ ных режимах и др.
Примеры численно-аналитических моделей характеристик СПП можно найти в [10.3, 10.4]; одна из первых численных мо делей прямой ветви ВАХ силовых диодов для среднего уровня инжекции была разработана в [10.7]. В [10.5] дано современное состояние проблемы численного моделирования СПП.
В заключение параграфа рассмотрим структурную схему ма тематической модели классификационных электрических парамет ров СПП, разработанную в [4,1]. Математическая модель клас сификационных электрических параметров СПП (рис. 10.1) вклю чает повторяющееся импульсное напряжение в закрытом состоянии
UDRM , повторяющийся |
импульсный ток |
в закрытом состоянии |
JDRM , средний ток в открытом состоянии |
(предельный ток) IT A V , |
|
критическую скорость |
нарастания напряжения в закрытом co |
|
il90 |
|
|