Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Теория и расчет электронных пучков

..pdf
Скачиваний:
4
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
12.1 Mб
Скачать

Эти два поля были выбраны для исследования частично потому, что они могут быть полезными для двумерных фокусирующих систем, частично также и потому, что для них осевое изменение потенциала очень сходно, в то время кац потенциал вдали от оси оказывается ^сущест­ венно различным.

Рис. 7.13. Две двумерные системы электродов, об­ разующие почти одинаковое поле на оси.

Уравнение приосевого пучка было решено численно посредством повторений как для Uv так и для Un , при

~*= 2, 3 и 4. Величина у =1,693 была применена в (7.44);

результаты приведены ниже в таблице. D — расстояние главной плоскости слева от х = 0.

 

 

 

1/Л

D x

' 1//2

D 2

f x t h

UJUx 2 для 11г

0,0943

4,27

0,0666

4,34

fl 070

 

для

Uu

0,0916

4,50

0,0648

4,54

и, У/Z

2,5 для

и 1

0,167

3,39

0,1057

3,49

0,987

U2 IU1 =

дл я

Uu

0,165

3,52

0,1049

3,57

3 для

Uj

0,244

2,92

0,1410

3,05

1,00

 

дл я

и и

0,245

3,00

0,1410

3,10

и 21иг =

4 д л я

и г

0,399

2,452

0,1994

2,62

1 on

 

дл я

Uu

0,398

2,540

0,1987

2,68

I ,uu

 

 

Мы видим, что у и, следовательно, размеры системы электродов, соответствующие U{, были выбраны так, чтобы

112

сделать фокусные расстояния для двух полей одними и

теми же при ^ = 3 и 4. Видим также, что фокусные рас­

стояния

для других

отношений напряжения близки.

Это не

удивительно,

если мы

обратим внимание,

на­

сколько

близки распределения

потенциала вдоль

оси,

Рис. 7.14. Изменение потенциала на оси с расстоянием в случае двух систем, показанных на рис. 7.13.

представленные на рис. 7.14. Скорее удивительно то, что имеется разница в фокусных расстояниях для ~ = 2 или

2,5, чем то, что ее

нет

при

~ = 3

или 4. Зато

имеется

разница

в

расположении

и\

плоскостей

даже для

главных

U2 о

 

,

 

 

 

 

 

гт~ ——3 или

4.

 

 

 

 

 

и\

показать,

что

электронная траектория, лежащая

Легко

в плоскости электрического поля, подчиняется уравнению*

г = Ч £ - ® - у % г ) - ^ >

* В аксиально-симметричном поле для траекторий, лежащих в пло­ скости, проходящей через ось, мы можем заменить у и л; в (7.46) на г и z.

8— 1500

113

Это уравнение и граничное

условие у' =

0, у = к при

х = — 3 ;(потенциал примерно

постоянен

для

х<С— 3)

было применено к траектории

в поле U1 при у =

1,693 и

в поле Un . Для поля Ut траектория, соответствующая

уравнению параксиального луча, и траектория, соответст­ вующая (7.46), показаны на рис. 7.15. Части траектории

 

 

 

 

Iff

 

 

V ZS3U, J

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

. Точная

ДОШ/jьная

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

- ь

- 4

- з

- г

о

I

г

3

4

ъ

Рис. 7.15. Параксиальная траектория (пунктир) и точная траектория (сплошная линия) в случае двумерной си­ стемы электродов.

с растянутым вертикальным масштабом показаны на рис. 7.16. Мы видим, что действительный путь пересе­ кает ось на расстоянии справа от центра, мейьшем 3/4 рас­ стояния, на котором ось пересекает параксиальный пучок. Это дает представление о величине аберраций электрон­ ных линз с коротким фокусным расстоянием.

Соответствующие траектории для Uu настолько близки к представленной на рис. 7.15 (для UJ, что они не могут

быть удобно размещены на одном графике. Конечный наклон и расстояния по ту сторону оси х = 0, при кото­ рых траектории пересекают ось х, приведены ниже

Действительный

Конечный

Действитель­

Расстояние

наклон пара­

ное расстоя­

пересечения

конечный наклон

ксиального

ние пересе­

параксиаль­

 

луча

чения

ным лучом

t/, — 0,1472

— 0,1108

2,99

3,99

Uu — 0,1552

— 0,1108

2,84

4,06

Мы видим, что действительная траектория отличается от параксиальной более для поля Uu , чем для поля U1;

таким образом, для данного отношения напряжения, силы линзы и расстояния от оси поле U] имеет немного мень­

шую аберрацию, чем поле Un , хотя фокусирующее дей­ ствие обоих полей сравнимо между собой.

114

Другое сравнение, Kofopoe можно произвести, отно­ сится к соотношению фокусных расстояний, получаемых из уравнения приосевого пучка и из выражения для сла­ бой линзы (6.67).

Рис, 7,16, Параксиальная и точная траектории, по­ казанные на рис, 7.15, при растянутом по оси у масштабе.

В приводимой ниже таблице они сравниваются для различных отношений напряжения.

U2IUX

flf

слабой линзы

и х

и2

 

2

1,091

1,108

3

1,066

1,076

4

1,041

1,043

Мы видим, что выражение для слабой линзы дает изу­ мительно хорошие величины фокусных расстояний в этом двумерном случае.

8*

П5

В результате этого рассмотрения кажется нецелесооб­ разным применять электроды, соответствующие Un *. Для

удобства параметры линзы, соответствующие пред­ ставлены графически на рис. 7.17. Фокусные расстояния

Рис. 7.17. Расположение главных плоскостей и фокусные расстояния в случае двумерной линзы, образованной дву­ мя парами полубесконечных плоскостей, удаленных друг от друга на расстояние d.

и расстояния главных плоскостей от низкопотенциальной стороны центра выражены через d (расстояние между плоскостями).

7.9. НЕКОТОРЫЕ ЗАМЕЧАНИЯ ОБ ЭЛЕКТРОННЫХ ЛИНЗАХ

Электронные линзы имеют много аберраций: дистороию, кривизну поля, астигматизм, кому и апертурный дефект или сферическую аберрацию. Первые четыре доставляют заботу лишь вдали от оси и, как бы они не искажали изображе­ ние в электронном микроскопе или в телевизионной трубке, они лишь в малой степени влияют на образование узких электронных пучков и управление ими. Сферическая абер^ рация, однако, воздействует и на лучи, близкие к оси: лучи, подходящие к линзе параллельно оси, но находящиеся на разных радиусах, пересекают ось на различных расстояниях ш ту сторону линзы. Именно действие сферической аберра­ ции иллюстрирует рис. 7.15. Можно показать, что все элек-

* Вначале было предположено, что Uu имеет меньше аберраций чем Uj .

тронные линзы, электрические и магнитные, имеют сфериче­ скую аберрацию. Окавываетоя, что эта аберрация более сильна iB электрических линзах, чем © магнитных. Как мы видели в § 7.-8, аберрация в электронных линзах с коротким фокусным расстоянием может быть весьма сильной. Для устранения сферической аберрации следует применять сла­ бые линзы либо узкие пучки.

Чтобы получить параметры приосевого пучка и аберра­ ции различных электронных линз, было проведено много ра­ бот как теоретических, так и экспериментальных. Некото­ рые полезные частные экспериментальные результаты были получены Шпангенбергом и Фильдом [2]. Весьма много ин­ тересных материалов как о фокусных расстояниях, так и об аберрациях частных типов линз, содержится в книге «Элек­ тронная оптика и электронный микроскоп» Зворыкина и др.

Иногда в аналитической работе применяется простое математическое выражение, приближенно соответствующее осевому потенциалу данной системы электродов [как мы ви­ дели из рис. 7.15, ур-ние (7.45) может быть применено как приближение для (7.44)]. Действительно, при тщательном анализе Годдард [3] применил гиперболический тангенс для приближения аксиального поля двух коаксиальных цилинд­ ров равного диаметра. Электроды, необходимые для созда­ ния лишь слабо различающихся на оси полей, могут быть совершенно различными, если только они расположены на б-начинельном расстоянии от оси, как мы видели на рис. 7.14 при исследовании почти одинаковых потенциалов, воспро­ изводимых значительно отличающимися электродами (рис. 7.13). Из § 7.8 следует, однако, что даже если форма электродов значительно различается, электронные траекто­ рии вдали от оси различаются очень мало; таким образом, хорошее приближение поля на оси достаточно, чтобы верно предсказать электроннооптические свойства, даже включая аберрации.

Мы видели из примеров этой главы, что аппроксимация слабой линзой дает хорошие указания относительно исполь­ зования умеренно сильных линз. В большинстве электрон­ ных фокусирующих систем ток или напряжение фокусиров­ ки регулируются; в этих случаях данные, получаемые из выражения для слабой линзы, могут быть вполне достаточ­ ными. В двухпотенциальных линзах значительное смещение главных плоскостей от геометрического центра линзы может сделать желательным знание их положения; выражение для слабой линзы не дает нам этих сведений.

ЗАДАЧИ

1. Линза состоит из двух 'Следующих друг за другом длинных трубок диаметром 1 дюйм (25,4 мм), отстоящих друг от друга на 0,1 дюйма (2,54 мм). Если известны фо­ кусные расстояния и расположения главных плоскостей этой линзы в случае отношения напряжений, равного 2, то каки­ ми будут 'фокусные расстояния н расположения главных плоскостей в системе, состоящей из двух длинных следую­

щих

друг

за другом

трубок

диаметром в полдюйма!

(12,7

мм),

отстоящих

друг от

друга на

1/20 дюйма

(1,27

мм)

при отношении напряжений, равном

2?

2.Электроннолучевая трубка состоит из электронной пушки с малым отверстием, из которого выходит электрон­ ный пучок. За пушкой стоит электрическая линза, отобра­ жающая отверстие на флюоресцирующий экран в 10 дюй­ мах (254 мм) от отверстия. Диаметр пятна на экране дол­ жен быть равен 0,010 дюйма (0,254 мм), а напряжение в области между линзой и экраном должно быть равно 3000 в. Определите размеры одно- и двухпотевциальной линзы, ко­ торые могут быть использованы. Определите размер необ­ ходимого отверстия в случае каждой из этих линз. Какая линза наиболее выгодна, если трудно выполнить очень малое отверстие?

3.Линза образована двумя малыми круглыми отверстия­

ми в параллельных плоскостях, имеющих потенциалы и U2 отстоящих друг от друга на расстоянии L. Получите вы­ ражения для фокусных расстояний и для расположения главных плоскостей.

4. Сравните фокусные расстояния, полученные в задаче 3, с фокусными расстояниями слабой линзы для U2IU\—

=2,3 и 4.

5.Решите двумерную задачу, аналогичную задаче 3.

6.Решите двумерную задачу, аналогичную задаче 4.

7.Сравните фокусные расстояния с расстояниями, полу­ ченными в задаче 5, для случая Un (выражение 7.45), когда

расстояние L между щелями регулируется таким образом, чтобы получить градиент между плоскостями равным гра­ диенту Un при х = 0. Постройте и сравните оба поля. По­

чему линза, образуемая двумя щелями в параллельных плоскостях, сильнее?

8. Выведите уравнение (7.46). Это можно сделать, ис­ пользуя уравнения движения, заменяя производные по вре­ мени пространственными производными и выражая компо-

118

ненты скорости по осям х и у через скорость (определяемую потенциалом U) и угол наклона траектории.

9. Была сконструирована лампа для управления суще­ ственно двумерным электронным потоком; управление осу­ ществлялось отклонением пучка в местах разрыва элей'родов. На рис. 7.18 приведена такая система электродов. Какое напряжение необходимо приложить к отклоняющим

Рис. 7.18. Отклоняющее напряжение, приложенное между плоскостями d и d \ отклоняет двумерный электронный поток, собирая его в линии £ .

пластинам dd\ чтобы электронный пучок, выходящий из щели Sly сфокусировать в линию Е? В действительности при токе в 2 ма наилучшая фокусировка была получена при 60 в на отклоняющих пластинах. Можете ли вы это объяс­ нить? (см. гл. 9).

 

 

 

Л И Т Е Р А Т У Р^ А

 

 

 

1. Н. L e v y and Е. А. В a g£g о 11, „Numerical

Studies

in Differen-

tiarEquations*,* 1, W atts

& Co,

1934.

 

 

 

2. K. S p a n g e n b e r g and

L. M. F i e 1 d, „The Measured Charac­

teristics

of

Electrostatic

Electron

Lenses",

Elec.

Comm.,

21, № 3,

pp. 194—204

(1943).

„Optical

Characteristics

of a Two-Cylinder

3. L.

S.

G o d d a r d ,

Electrostatic

Lens", Proc.

Camb. Phil. Soc., 24,

pp.

106—126 (1946.)

ГЛАВА ВОСЬМАЯ

ДЕЙСТВИЕ ТЕПЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ

В некоторых высоковольтных электронных приборах тре­ буемые или даже допустимые токи и плотности токов пре­ дельно малы. В других же приборах, однако, крайне важно иметь такие большие токи и плотности токов, какие только физически возможны. В некоторых приборах, таких как микроволновые усилительные лампы, токи настолько ве­ лики, что часто главная трудность, с которой приходится сталкиваться, связана с пространственным зарядом. Про­ странственный заряд будет рассмотрен в следующих гла­ вах. В других устройствах, таких как электроннолучевые трубки для телевидения, пространственный заряд создает из­ вестные ограничения, но, возможно, гораздо более сильные ограничения связаны с действием максвелловского распре­ деления по скоростям электронов, покидающих катод. Мож­ но подумать, что если имеется безаберрационная фокуси­ рующая система и если возможно пренебречь простран­ ственным зарядом, то можно получить высокую плотность тока, не ограниченную расфокусировкой электронного по­ тока. Однако это не так.

Действие тепловых скоростей, рассматриваемое в этой главе, наложило бы ограничения на плотность тока, которая была бы получена даже в безаберр анионных электронных оптических системах, если бы существовали такие системы. В литературе [1, 2, 3] можно найти упоминания об ограни­ чениях, вызванных тепловыми скоростями в отдельных слу­ чаях, как например в случае цилиндрического катода, окру­ жающего внутренний анод.

Более практический пример был исследован Р. Р. Лоу [4]. Пока стоит качественно рассмотреть очень простой слу­ чай, показывающий действие тепловых скоростей. На рис. 8.1 представлены схематически плоский катод, тонкая ускоряю-

120

Рис. 8.1. Диаграмма, показывающая дей­ ствие тепловых скоростей электронов, покидающих катод.

щая сетка .и безаберрационная электронная линза. Траекто­ рии электронов, вышедших перпендикулярно к поверхности катода и прошедших через линзу в точках, отстоящих на расстоянии W\ друг от друга, пересекают ось на расстоянии L позади линзы. Но через эти же самые точки на линзе про­ ходят траектории электронов, вышедших с некоторыми на­ чальными скоростями, направленными вверх и вниз. Эти траектории отклоняются линзой на один и тот же угол, как и траектории, выходя­ щие перпендикулярно катоду. На расстоянии

L позади линзы обе траектории пройдут на W2/2 выше и ниже оси. У линзы пучок имеет

ширину W\ и у кроссовера— W2. Однако у линзы конус рас­ сматриваемых лучей имеет малый угол 01, тогда как у крос­

совера он имеет большой угол (2. Если

L очень велико по

сравнению с Wh то можно приблизительно написать

W{bx= W2%.

(8-1)

Другими словами, если считать, что электроны покидают катод под различными углами, то можно найти, что у крос­ совера получится либо широкий пучок, -состоящий из узкого конуса лучей, либо узкий пучок с широким конусом лучей, но нельзя одновременно иметь узкий пучок и узкий конус лучей. Легко также убедиться, что для высоких температур катода (большие начальные скорости) произведение шири­ ны -пучка на угол пучка будет неизбежно больше, чем для низких температур катода.

Правильное понимание действия тепловых скоростей должно связываться с его непосредственным учетом. Однако автор верит, что понимание этих ограничений очень важно в практических применениях электронной оптики. Мате­ риал, представленный здесь, не слишком упрощен. По край­ ней мере, предполагается, что* читатель сам познакомится с результатами, представленными: в конце разных парагра­ фов. Сам вывод результатов не связан с материалом книги и его можно опустить при изложении, не опасаясь дальней­ шего затруднения.

При исследовании действия тепловых скоростей более выгодно рассматривать задачу в самом общем виде. Неко-

121