Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Математические модели элементов интегральной электроники

..pdf
Скачиваний:
20
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
14.39 Mб
Скачать

прибор. Напряжение на сопротивлении гг, г» в этот момент падает до нуля, тогда как на емкости эмигтерного перехода оно не успе­ вает измениться. Поэтому сопротивление го G можно определить по перепаду напряжения, измеренному на экране двухканалыюго осциллографа го G=AC///GI.

Данный метод дает удовлетворительные результаты не для всех транзисторов. Когда внешняя составляющая базового сопротивления

 

 

Рис. 3.58. Обратная ветвь ВАХ

 

 

D— л-перехода

(/«=0,

/ п= 0).

 

 

 

мала по сравнению с его

 

 

внутренней

составляющей, ве­

 

 

личину

падения AU

довольно

 

 

трудно обнаружить.

 

 

 

 

Определение

параметров,

 

 

учитывающих

эффект модуля­

 

 

ции толщины

базы.

Параметр

 

 

i Kt который используется в мо­

 

 

делях §3.1,

3.2, определяется по

Рис, 3.57. Зависимость коэффи­

результатам

измерения выход­

циента

от напряжения на кол­

ных характеристик транзистора

лекторном

переходе UK при раз­

/« —/($!< о)

в схеме с ОЭ при

личных токах базы и постоянной

постоянном

входном

токе

1в=

температуре 20°С.

=const. Зная

две

точки

Uu»i,

 

 

/иI и

0 2 ,

/к2

в

активном

нормальном режиме на пологом участке характеристики, можно за­ писать следующее выражение для -параметра % {:

..Чт

Ак = Шк

ГДе At/j{ t/j< 02— э| — (Лс2— Atl) (Гк к-{■Го о) |?1 — Л иДо; р2 —

В том случае, когда эффект Эрли учитывается с помощью формулы (3.37), параметр UN, не зависящий от тока и температуры, опреде­ ляется по наклону характеристик рис. 3.57 при постоянной темпера­ туре (обычно при £=20°С).

Определение сопротивления утечки перехода Ry o{Ry и, i?y п) производится в области отсечки при разомкнутых выводах коллекто­ ра и подложки (ЭиЯ, ЭпК) по наклону прямолинейного участка ха­ рактеристики рис. 3.58 при относительно высоких значениях

U О G ( Я |{ б , Я п и ) .

Измерение зависимостей коэффициентов усиления |3w, Pi, p^.v, ppi от величины токов через рп-переходы производится по схемам рис. 3.59. При больших токах (овыше единиц миллиампер) рекомен­ дуется во избежание саморазогрева транзистора использовать импульсный режим. На рис. 3.12 приведены экспериментальные за­

висимости коэффициентов 0 от токов через переходы и результаты аппроксимации этих зависимостей функциями вида (3.34).

Вообще говоря, для аппроксимации может быть использована любая рассмотренная нами в § 3.2 функция (3.31)— (3.35). Коэффи­ циенты аппроксимации определяются с помощью специальных про­ грамм ЭВМ, реализующих метод наименьших квадратов.

б

г

 

Рис. 3.59. Схемы измерения коэффициентов усиления по току

(а),

Pi {б)>Ррлг (в), Рvi

(з).

 

Параметры, определяющие барьерную емкость р -п -п ере хо­ да (С0£, UQV 0^), получают измерением емкости при нескольких зна-

чениях обратного смещения, включая нулевое, при закороченных на­ коротко других переходах транзистора. Измерения проводят с по­ мощью моста для измерений емкостей. Частота измерений обычно выбирается достаточно низкой 105—107 Гц для того, чтобы исклю­ чить влияние омических сопротивлений. Трудность этих измерений заключается в наличии дополнительной паразитной емкости Спар, обусловленной емкостями выводов корпуса и емкостями контактных площадок. Эта дополнительная емкость обычно считается постоян­ ной, поэтому фактически измеряемая мостом емкость С |ИЗМ= C^6ap- f

“Ь ^fcnap*

Емкость Сдар измеряется на эквивалентном корпусе при разо­ мкнутых перемычках, соединяющих выводы корпуса с кристаллом, и затем вычитается из результатов измерений емкости С^нзм. На

рис. 3.60 приведены результаты измерения емкости коллекторного

172

перехода, скорректированные с учетом влияния паразитных емкостей транзистора (рис. 3.7).

Значение параметра О)* выбирается равным емкости перехода

при нулевом смещении. Параметры

и 0^ определяются с помощью

метода наименьших квадратов из условия наилучшего согласования результатов измерений с результатами расчета по формуле (3.23). Типичные значения {/0g АЛЯ кремниевых планарных транзисторов и

транзисторов ИС лежат в пределах 0,7 — 1,2 В, а параметра 0^ — от О.З^до 0,5.

Постоянные времени диффузионных емкостей ха^,ха1,хлрЧ

и времена задержек

t3ly. t3l, t3pN определяются

в два этапа. Замы­

кая накоротко

переход

коллектор — подложка,

сводят

структуру

к обычному пр—л-транзистору. Затем

производят измерения

при

Рис. 3.60.

Зависимость Clt сар от на-

г

-

 

 

а

 

 

 

 

пряжения на переходе с учетом пара­

 

 

-

'

V

зитных емкостей:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

о — нескорректированные значения; б — ре­

1

 

 

 

 

зультаты

измерений,

скорректированные

 

 

 

в

с учетом

влияния

С1(в

н

С2; в резуль­

п к

 

 

 

таты, скорректированные с учетом Cj, Ся,

 

 

 

 

Ск ь и с к 0-

 

 

 

^

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

ю ы

, в

короткозамкнутом переходе эмиттер — база

(паразитный

рпр-

транзистор). Измерения могут проводиться как на малом синусои­ дальном сигнале, так и в импульсном режиме.

При измерении параметров пр—л-транзистора влиянием Ск бар можно пренебречь. Нагрузочное сопротивление в цепи коллектора

выбирается таким, чтобы удовлетворить условию

*адг ^>Скбар#к«

Для определения параметров^ xaN и f3V на малом сигнале можно

использовать следующую методику [90]:

 

— измеряем частоты ма и сот;

 

— из графика рис. 3.61 находим отношение

хау //зЛ,;

— по любому из двух графиков, изображенных на рис. 3.62,

определяем постоянную времени xaN, а

затем вычисляем

Величина соа xa/V не зависит от а0,

а

слабо связано с а0.

Следовательно, во всех практических случаях, когда коэффициент aQ близок к единице, могут быть использованы кривы.? рис. 3.62.

В модели для большого сигнала параметры xaW и tsN следует

усреднять по нескольким значениям» измеренным в различных точках рабочего диапазона по току и напряжению. Непосредственно усред­ ненные значения величин xaN и t3N дают импульсные измерения. На

рис. 3.63 приведен график отношения *фоб/*эоб для схемы с ОБ в

зависимости от таДГ jtaN. Значение xaY

t3N

определяется

по изме­

рениям времени задержки на уровне 0,6

t ^ 6,

откуда в

результате

вычислений можно получить величины *саЛГ и ^зУ.

Величина таУ -}- /зЛ, определяется таюке путем измерения времени

нарастания

от уровня

0,1

дс

уровня 0,9 переходной характерис-

тики в схеме с ОЭ:

 

 

 

 

 

 

 

1ф ОЭ

 

xa.V

+

*з/V

2,2(l-fW "

Рис. 3.61.

Отношение

соа/&>г как Рис. 3.62. соат:a/v и югхаЛ/ как

функция

 

функции отношения *a/v//3V.

 

Амплитуда

входного

импульса генератора Ur и напряжение

Ек

в схеме измерения рис. 3.64 должны быть такими, чтобы транзистор находился в активном режиме, а резистор R обеспечивал режим ге­ нератора тока.

Рис. 3.63. Отношение времени нарастания от 10 до 90% уровня и

времени задержки по уровню 50% как функция

для схемы

с ОБ.

 

tip и измерении сверхбыстродействующих транзисторов Длитель­ ность переходного процесса в схеме с ОБ нередко столь мала, что время нарастания выходного тока оказывается сравнимым с дли тельностыо фронта импульсов генератора. В этих случаях необходи­ мо прибегать к синусоидальным измерениям.

Параметры \ lt t3l. члрМ и t3pN измеряются аналогично.

Косциллографу

о9

Э К

**

SJ

 

б

 

Рис. 3.64. Схема измерения переходной характеристики транзистора.

В схеме включения транзистора с ОЭ диффузионная емкость переходов определяется прямым Тдг или инверсным тi временем про­ лета носителей заряда через базу. Параметр T N используется для

моделирования

избыточного заряда, накопленного

в транзисторе

с прямосмещенным эмиттерным переходом

при U,< = 0,

а параметр

xj — для прямосмещенного коллекторного

перехода

при

{/э= 0 .

В общем

случае Ту рассчитывается из результатов

измерения

граничной частоты /г, на которой малосигнальный коэффициент уси­ ления по току в схеме с ОЭ и нулевой нагрузкой становится равным единице.

Граничная частота усиления fr зависит от тока коллектора тран­ зистора (рис. 3.21 и 3.30). При заданном токе / к этот параметр мож­ но определить с помощью измерения малосигнального коэффициента усиления р в схеме с заземленным по переменному току коллектором на любой частоте f между 3 и fr/З. Частота fT представляет собой

произведение двух этих величин: /r=ipf. Другой вариант предусма­ тривает определение /т с помощью измерения частоты тогда fT =

= Н -

Если заземление коллектора по переменному току, необходимое для измерения fr, недостаточно совершенно, т. е. в схеме имеется конечная активная нагрузка по переменному току то fr рассчи­ тывается по уточненной формуле

/г — (1/ / Гизм) — 2пСк6apR„

Параметр модели ту связан с частотой fT следующим соотноше­

нием:

1

t

2nfT =

ТЛГ“Ь ук (Сэбар + Скбар) + Гк кСкбар.

Измерив величину /т при нескольких значениях тока коллекто­ ра /к, параметр TN можно определить графически из зависимости

1//т = /(1 //„ ), изображенной на рис. 3.65. Определив точку пересече­ ния (обозначенную 1/2яРг) экстраполированной прямой с верти­ калью 1//к= 0 и зная из предварительных измерений величины па­ раметров гКк и Скбар(^к), -постоянную времени тя найдем из условия

V = ~2тГ("7*г") “"ГккСкбар ^ к)*

Обычно значения ъя лежат в пределах от 10 нс для приборов с f t = = 100 МГц до ОД нс для приборов с / т = 2 ГГц.

СШт)~\ис

Рис. 3.65.

Определение постоянной

Рис. 3.66.

График зависимости

времени

тя из зависимости 1 Цт

времени’

рассасывания

от

от 1//к.

 

lg (l—/ 01/^02).

 

Если инверсный малосигнальный коэффициент усиления транзи­ стора намного больше единицы, то значение параметра тi опреде­ ляется аналогично TW, при смене местами эмнттерного и коллектор­

ного выводов.

Однако в большинстве случаев Pi или вообще меньше, или не­ многим больше единицы, поэтому для определения т/ необходимо •использовать другой метод измерения. Простейшим методом опреде­ ления Ti является его расчет из измеренного значения постоянной времени рассасывания (накопления) тп. Эти два параметра связаны соотношением

1~ aN aI

aNХ/У

Постоянная времени тп определяется на основании результатов измерения времени задержки рассасывания зарядов в транзисторе

/рас по формуле

тн =

_____ / р а

с ______

(3.127)

Г

/6 1 + ^62

1

 

 

In

( / к н / Ы

+ 7^

J

 

 

[

 

ГДе /оi и Л>2— Прямой и обра-гный токи базы; а — ток коллектора

в режиме насыщения.

Схемы измерения /рас приведены в [52, 91, 93]. Для использова­

ния формулы

(3.127)

необходимо, кроме

прочих «величин, знать

ве­

личину

в

режиме

насыщения. Можно

избежать измерения

р*г,

если поступить следующим образом [52].

При заданных величинах

/ к п и /62 для различных значений измеряют время /рас. Построив

график зависимости /рас

от величины 1—/ бг//бг в полулогарифмиче­

ском масштабе (рис. 3.66), можно по наклону

этого графика опре­

делить значение ти:

 

 

 

________ А/рас_______

 

=

2,ЗД lg (L — / б |//бз)

*

Определение параметров модели с помощью программ оптими­ зации рассмотрим на примере модифицированной модели Эберса — Молла для пр—л-транзистора, описываемой следующими уравне­ ниями:

/э =

/'э — к “Ь Уэ/Ry в»

(3.128)

/к =

адг /'в —/ 'к — t/к/Яук.

/ в=

/эо exp (

/П9?г

Л

l l .

J

 

 

у

 

/'к =

/ко j^exp ('

 

1

Л .

(3.129)

 

, т к?Г J

J

 

Ув = Убэ — /бгбб — /э^ээ,

(3.130)

Ук = Убэ - У к9 /б^бб + V KK-

Пусть экспериментальные характеристики транзистора представляют

собой набор величин UGOS, Укэз, /б/, /кj Для каждой из различных точек, в которых производятся электрические измерения на выводах

прибора.

Для каждой /-точки определим: ошибки для токов через диоды

Ы =

/э/ -

/'э/ + а ,/'к/ -

Уэ/Яу ».

 

/к; =

/к/ -

ал,/'эI + Гк1 +

^к/Яу к.

(3.131)

/б/ = . /э /— /к/;

 

 

 

ошибки для напряжений на переходах

1э /гэ з.

 

Аэ/ =

Usj —U69J + 1б!Ш +

 

Ак/ = Ук!

Убэ/ + УКэ/ +

1б1гб6 1к]Гк Kf

 

ошибки для токов через диоды

 

 

 

dsj = I'ai —/эо [exp {Уэ}/тэЧт) ““ 11»

(3.133)

 

 

 

 

 

dKJ= /'к/ — /ко [ехр ({/к/Л^кЫ ■”

 

Для того чтобы оптимальным образом определить параметры

 

/ эо, /Из» /ко, Шк,

а/» Яу э»

 

Л у к . Гээ, Гбб. Гкк»

необходим критерии, по которому можно объективно оценивать Т04* ность совпадения результатов моделирования н эксперимента. Выбе­ рем за критерии точности модели взвешенную сумму квадратов оши­ бок (3.131) — (3.133):

т

^ = S [ - Й - + - Й г + «<*** +

+ W +

. (3-134)

/=1L

где |»j и \ij — множители Лагранжа.

Рис. 3.67. Схема многоуровневого алгоритма опти изации для опре­ деления параметров модели.

Для минимизации величины F предлагается использовать метод {30], -схема которого приведена на рис. 3.67. Оптимизация проводится

По трем группам параметров: (ra D, Гб о, гКк). (/эо, тэ, 7Ко, тк) и

(ttjV, СЕ/, Ry э, Яук).

Для начального приближения параметров модели рассчитывают­

ся величины и Э}, UK},

/'ку, ошибки faj, faj, h0j, hKjt d0j,

и крите­

рий F минимизируется

относительно параметров cz.y, а / ,

Ry 0, Ry к.

Для этого используется метод поиска экстремума функции многих переменных. Зная получившиеся в результате минимизации ошибки fej, fuj, вычисляется новы" набор токов через диоды и минимизи­

руется величина

т

0 = 2 W 4 + d?K,) f=J

в пространстве переменных Л>о, я*э, /но, tn«.

Из выражений (3.129) находятся токи через диоды Г0, Гк и производится возврат к началу процесса. Этот цикл оптимизации обозначен на рис. 3.67 индексом /. Процесс повторяется до тех пор, пока величина F на каждом последующем шаге заметно уменьшается по сравнению с предыдущим шагом. Если это условие не выполняет­ ся, то по известным значениям /'Э;- и Гщ из (3.129) определяются

величины U0) н U а затем минимизируется величина

т

н = 2 ( ^ +*=,</>

/=1

относительно переменных Гб G, гэп, гк к. Из выражений (3.130) вы­ числяются f/nj и UKjt опять минимизируется D н определяются токи диодов /'0j, 1'uj. На рис. 3.67 этот цикл обозначен индексом II. В том

случае, если в процессе итерации по циклу

II величина

F заметно

не уменьшается,

то производится возврат к началу

процесса

(цикл III). Описанный трехуровневый процесс повторяется до тех

пор, пока не будет с заданной точностью достигнут минимум F.

С помощью методов оптимизации можно находить значения па­

раметров модели,

которые обеспечивают

панлучшее

совпадение

с экспериментом не только статических, но и динамических харак­ теристик.

В частности, параметры эквивалентной схемы для расчета час­ тотных характеристик транзистора в режиме малого сигнала опре­

деляются исходя из минимума критерия [15]:

 

 

 

Re Mjf — Re Сц \ 2

/ 1ш Mij — Ы Сц

 

 

ReAf/y

)

+ {

]тМц

 

где Mij и Cij — измеренные и рассчитанные по модели значения

Л-,

Y-,

Z- 'или S-параметров транзистора

соответственно для £= 1; 2

и

/ =

1; 2; f — частоты, на которых производятся измерения параметров

четырехполюсника.

 

 

 

 

ме

Параметры модели, описывающей переходные процессы в режи­

большого сигнала, определяются

исходя

из минимума функ­

ции [63]:

Р _ _Г (

ta пзм

\ 2 I /

 

— /фнзм

\ а1

2

[ д

/а изм

J

\

нам

J J *

где U пэм, изм — времена задержки и фронта переходной характе­

ристики, измеренной в схеме транзисторного ключа; t3t *ф — времена задержки и фронта, расчитанные с помощью модели.

В заключение отметим, что оптимизация па ЭВМ позволяет осу­ ществлять автоматический выбор таких режимов измерения парамет­ ров модели, при которых обеспечивается наибольшая точность. Кроме того, появляется возможность создать библиотеки моделей различ­ ного уровня сложности: от достаточно простых и компактных моде­ лей для статистических расчетов до сложных, учитывающих большое количество эффектов — для точных расчетов и расчетов на наихуд­ ший случай.

1. В программах анализа линейных и цифровых ИС наибольшее распространение в настоящее время получи­ ли электрические модели, построенные на базе одномер­ ного приближения. Для линейных ИС, это гибридные П- и Т-образные эквивалентные схемы, для нелинейных и цифровых ИС это модифицированные модели Эберса —Молла и управления зарядом. Как те, так и другие достаточно просты, не требуют больших затрат машин­ ного времени. Их параметры измеряются с помощью от­ работанны^ и общепринятых методик на стандартных измерительных приборах. Эти модели, как правило, по­ зволяют получить удовлетворительную точность при рас­ чете ИС, изготовленных по эпитаксиально-планарной технологии с глубинами р—n-переходов не менее единиц микрометров.

Серьезным недостатком электрических моделей, огра­ ничивающим их дальнейшее применение для расчета ИС, является то, что они не учитывают особенностей реаль­ ной двумерной структуры транзисторов. Как следствие, параметры этих моделей слабо связаны с параметрами физической структуры и топологии. Поэтому их исполь­ зование для проектирования полупроводниковых ИС со сложной топологией и малыми глубинами (менее 0,3— 0,5 мкм) залегания р—гс-переходов оказывается мало­ эффективным.

2. Для машинного проектирования линейны^ и циф­ ровых полупроводниковых ИС наиболее эффективным является использование двумерных моделей Голубева— Малышева — Кремлева и IBIS (BIRD). Для определе­ ния параметров этих моделей недостаточно одних ре­ зультатов электрических измерений, необходимо распо­ лагать информацией о топологии транзистора, удельных сопротивлениях областей базы и коллектора и электро­ физических свойствах поверхности.

Соседние файлы в папке книги