книги / Математические модели элементов интегральной электроники
..pdfщении UK распределение <р(я) сдвигается по коор динате х в область коллектора. Это является на глядным подтверждением эффекта вытеснения базы в коллекторную область при высоких уровнях тока (эффект Кирка). Аналогично может быть прослежен и
Рис. 2.9. Вольт-амперные характеристики р—/i-переходов (а) и коэф фициенты усиления по току (б) для различных значений напряжения на переходах:
■-------- |
для нормального реж има;--------- |
для инверсного режима. |
эффект модуляции ширимы базы (эффект Эрли): с уве личением обратного напряжения на коллекторном пере ходе при постоянном смещении на эмиттере распреде ление <р(х) сдвигается по оси х со стороны коллектора в область базы, уменьшая при этом эффективную шири
ну базы.
Внешние электрические характеристики транзистор ной структуры приведены па рис. 2.9—2.11.
В результате анализа зависимостей рис. 2.9, 2.10 можно сделать вывод, что на статические характеристи ки транзисторной структуры существенное влияние ока зывают эффекты высокого уровня инжекции и модуля ции толщины базы. Первый эффект проявляется в от клонении вольт-амперных характеристик от идеального закона ехр (U/срт) и в уменьшении коэффициентов пере дачи по току на высоких уровнях тока. Следствием вто рого эффекта является значительный сдвиг вольт-ампер- ной характеристики эмиттерного перехода (рис. 2.9,а) и зависимости коэффициента pjy от тока (рис. 2.9,6) в сто рону больших значении и возрастание обратного тока
/ к0 (рис. 2.10) при увеличении напряжения на коллек торном переходе (Ук-
Результаты расчета внутренних статических распре делений потенциалов срР, срп и ф в структуре использу ются не только для определения внешних статических
Рис. 2.10. Обратная ветвь вольтамперной характеристики коллектер ного р—я-перехода.
Рис. 2.11. Удельные вольт-фа- радиые характеристики эмит терного и коллекторного р—п- переходов.
характеристик, но и являются исходной информацией для расчета динамических параметров прибора, таких, как емкости р — «-переходов, времена задержки сигна ла, предельные частоты.
На рис. 2.11 приведены удельные вольт-фарадные ха
рактеристики эмиттерного и коллекторного |
переходов, |
рассчитанные по формуле |
|
С |
(2.72) |
где U — напряжение на р — «-переходе. Емкость, вычис ленная по формуле (2.72), представляет собой сумму барьерной и диффузионной составляющих. Время за держки сигнала и предельная частота в схеме включе ния транзистора с ОЭ определяются из выражений
fT= 1/2ят,
Расчет частотных |
характеристик в |
режиме |
малого |
|||
сигнала. Формулировка задачи |
может |
быть |
получена, |
|||
если в выражениях |
(2.1) —(2.23) |
переменные |
предста |
|||
вить в виде £=£s + £*exp (/со/). |
Здесь |
индексом |
s обо |
|||
значена |
постоянная |
составляющая, |
а индексом t — |
|||
амплитуда переменной составляющей. |
|
|
|
|||
В режиме малого сигнала выполняется условие |
||||||
<фт и |
уравнения |
(2.1)—\(2.7) |
линеаризуются |
с по |
мощью замены
Тогда для переменных составляющих в режиме малого сигнала система уравнений (2.1) —(2.7) преобразуется к виду
JPt = |
- WP[ps (typt/dx) + Pt (d^ps/dx)], |
(2.73) |
Jnt = |
— q^n [th (d<?ntjdx) -f- fit (d<?,isldx)]t |
(2.74) |
|
УСм= — /ш£ (dyt/dx), |
(2.75) |
|
dJpt/d x = —.jwqpt, |
(2.76) |
|
dJntjdx = jioqtiti |
(2.77) |
|
d2<?tjdx*= (q/e) (ttt — pt). |
(2.78) |
Здесь постоянные составляющие фр$, фп«, Ps, fis опреде ляются из решения статической задачи, а переменные составляющие сзязаны следующими соотношениями:
(2.79)
Граничные условия для режима малого сигнала мо гут быть получены, если в выражениях (2.13)— (2.23) использовать только переменные значения входящих в них величин. Для транзисторной структуры, например, граничные условия приобретают следующий вид:
9pt (0) = <p„t (0) = t/s/e'”*, |
(2.80) |
b t {■**)= <p„t (xK) = UKleM , |
(2.81) |
<?Р ( ( Х б ) = , |
(2.82) |
0 |
|
(2.83)
При |
заданных |
величинах |
статических |
смещений и |
частоты |
система |
уравнений |
(2.73) —(2.78), |
описываю |
щая частотные характеристики одномерных полупровод никовых структур в режиме малого сигнала, представ ляет собой систему обыкновенных дифференциальных
уравнений с комплексными |
коэффициентами. Заменив |
производные в выражениях |
i(2.73) —(2.78) конечными |
разностями, получим систему ЗМ-линейных алгебраиче ских уравнений с комплексными коэффициентами отно сительно переменных фзь срл и ср* в М-точках разбиения структуры. Эта система может быть решена на ЭЦВМ с помощью стандартных методов [23].
Рис. 2.12. Распределения действительных и мнимых частей потен циалов фр, Фп и ф* в одномерной транзисторной структуре (2.70) для /=0,01 (а) и 10 ГГц (б) при £/о=0,6 В, £/к=—15 В.
Представляет интерес проанализировать внутренние и внешние частотные характеристики транзисторной структуры (2.70).
На рис. 2.12 для двух частот f=0,01 и 10 ГГц пока заны внутренние распределения действительных и мни^ мых частей потенциалов <рР, фЛ, ф*. Из рис. 2.12,а видно, что на частоте 0,01 ГГц мнимые части потенциалов пре
небрежимо малы по сравнению |
с действительными. |
В этом режиме можно считать, что |
распределения фр, |
фп и ф* являются чисто 'действительными величинами и
Рис. 2.13. Годографы удельного входного сопротивления транзистора для двух вариантов статических смещений:
1) С/0= 0.7 В, 15 В; 11) £/а=0,55 В, UK-----15 В.
Рис. 2.14. Амплитудно-фазовая характеристика коэффициента пере дачи по току a N в схеме с ОБ при £/э=0,55 В, £/,<=—15 В.
практически совпадают со своими стационарными рас
пределениями. В результате |
вместо решения системы |
уравнений (2.73) —(2.78) |
можно использовать более |
простые малосигнальные квазистатические модели, рас смотренные в § 1.3.
На частоте 10 ГГц величины мнимых частей потен циалов сравнимы с действительными значениями (рис. 2.12,6). Это свидетельствуете том, что волна кон центрации носителей распространяется через область базы с конечной скоростью и, как следствие, между по тенциалами на эмиттериой и коллекторной границах базы имеет место определенный сдвиг фазы. Очевидно, что квазистатические модели для анализа частотных ха рактеристик в этом случае неприменимы.
На рис. 2.13 показаны годографы удельного входного сопротивления транзистора в схеме с ОБ для двух ва риантов статических смещений. Из рисунка видно, что при увеличении положительного смещения на эмиттер-
ном переходе U3 (а следовательно, и тока эмиттера) входное -сопротивление транзистора по переменному току падает.
Амплитудно-фазовая характеристика коэффициента передачи по току в схеме с ОБ изображена на рис. 2.14. Из этой характеристики можно определить верхнюю граничную частоту транзистора а>в как частоту, на ко
торой модуль коэффициента а уменьшается в V 2 раз по сравнению со своим статическим значением.
2.2. Моделирование двумерных эффектов
Двумерная модель интегрального транзистора позво ляет учесть эффект вытеснения тока к границам эмитте ра, боковую инжекцию р—^-переходов, влияние пассив ных областей базы и коллектора, реальные физические условия на поверхности структуры.
Рис. 2.15. Двумерная структура (а) и профиль примеси (б) кремние вого п—р—п-транзистора.
Рассмотренные ранее методы решения одномерной системы уравнений (2.1) —(2.7) можно обобщить для двумерной задачи. Процедура численного решения ока.- зывается более сложной, чем в одномерном случае, од нако уже имеются положительные результаты, получен ные для диода (24] и транзистора 125—27].
Решение системы основных уравнений рассмотрим на примере расчета двумерной транзисторной структу ры (рис. 2.15).
В нормализованном виде основные уравнения запи сываются следующим образом:
V4P = |
* — р — N, |
(2.84) |
|||
/ р = - Р-р (pV? + |
VP), |
(2.85) |
|||
/л = |
—( п VР п ? |
|
— V |
* ) , |
|
V/p — — Л, |
|
(2.87) |
|||
|
V |
/ « |
= |
R . |
|
где V = (d/dx) i +'(д/д#)7 — оператор |
дифференцирова |
||||
ния. Все величины в уравнениях |
(2.84)—(2.88) зависят |
||||
от координат х и |
|
|
|
|
|
Введем две переменные Ф?г и Фр: |
|
||||
ФЛ= |
exp [In (п) — <р], |
(2.89) |
|||
Фр = |
ехр |
+ In (/?)]. |
(2.90) |
Подставим переменные Фп и Фр в уравнение Пуассона (2.84) и в уравнения переноса тока (2.85) и (2.86). Ве личины jp и /п в (2.87) и (2.88) заменим их выраже ниями через новые переменные Фп и Фр. В результате получим три дифференциальных уравнения в частных производных эллиптического типа относительно неизве стных ф, Фп, Фр
V * ? = Ф „ ехр (<р) — Фр ехр (— ?) — N, |
(2.91) |
Vb»*exp(-9)V®J = *. |
(2.92) |
V[*.exp(?)V®»1 = & |
(2-93) |
Граничные условия для структуры рис. 2.15,я следую
щие [27].
На эмиттериом, базовом и коллекторном контактах имеют место термодинамическое равновесие носителей и нейтральность заряда. Если на контакта^ заданы внеш ние прикладываемые потенциалы, то граничные условия имеют вид
Фр= в ^ = е х р ( ^ ) . ? = ?rln (^ fL )+ t/y n p .
где £/Упгр=£/э, 0» UK на эмиттерном, базовом и коллек торном контактах соответственно; Nкопт— концентрация
донорной примеси на контактах.
Структура рис. 2.15,а симметрична относительно ли нии ML. Перенос носителей заряда вдоль NK осущест вляется только в глубь структуры (вдоль оси х). Поэто му на линиях ML и NK граничные условия имеют вид
д<?1ду= дФр/ду = dOnf ду = 0.
На поверхности, покрытой слоем окисла SiCb, нормальные к поверхности компоненты плотностей тока определяются скоростью поверхностной рекомбина ции s:
—tp/cj дФр |
|
ф/фг дФп |
fa |
|
№ ?т е |
= *пги?те |
- g j - = |
||
г __ sn.__________ ФрФп—1___________ |
|
|||
‘ (Фле'?/1рг + |
1) 1S„ + |
( Ф |
+ 1) ч,я |
’ |
где xsp и Tsn — времена |
жизни |
дырок и электронов на |
границе раздела Si—SiC^. Нормальный компонент элек
|
|
трического |
поля опреде |
||||||
|
|
ляется |
плотностью |
|
по |
||||
|
|
верхностного заряда (Зпов: |
|||||||
|
|
ъ(дф/дх) | SI=Q IIOD, |
|
при |
|||||
|
|
этом |
предполагается, |
что |
|||||
|
|
электрическое |
поле |
в |
|||||
|
|
окисле SiOo |
отсутствует. |
||||||
|
|
Задача решается в следу |
|||||||
|
|
ющей |
|
последовательно |
|||||
|
|
сти. |
Линеаризуем |
урав |
|||||
|
|
|
1. |
||||||
|
|
нение |
(2.91) |
подобно |
то |
||||
|
|
му, как это было сделано |
|||||||
|
|
в |
итерационной |
схеме |
|||||
Рис. 2.16. Разностная сетка, ис |
Гуммеля |
для |
одномерно |
||||||
пользуемая при решении |
двумер |
го |
случая. |
В |
результате |
||||
ной системы уравнений |
(2.91) — |
получим |
линейное |
диф |
|||||
(2.93). |
|
ференциальное уравнение |
|||||||
|
|
относительно |
поправки |
6ср(я, «/), которое при замене производных конечно-раз ностными соотношениями сводится к системе разностных
уравнений. Для квадратичной сетки (рис. |
2.16) в точке |
£, / разностное уравнение имеет вид |
|
8?.+1. / + %-1. / + Ь?(. /+. + #Р«. /-< - а‘- |
;= Ь,, i, (2.94) |
где
at. / = 4 + А* [Фя(, Iехр ,) Фрг, / ехр (— <р(, /)];
bi. i = [V!fi. i - |
фщ. i exp (<?,-. /) + |
+ фр«‘. i exp ( - |
<fi. i) + Nj.,] ft5. |
Полученная система может быть решена методом по следовательной верхней релаксации. Приближения ficpi.j определяются по следующей итерационной формуле [28]:
Ч г |
at. / [bu, |
(Л) |
(fe-i) |
I, J- 1 - 5 ? /+ i - * |
i. /+» |
||
|
- * £ 7 ! / |
|
(2.95) |
|
|
|
где l< x < 2 —ускоряющий коэффициент. После опреде
ления |
6ф производится коррекция |
электростатического |
|
потенциала фТочи(*, i/) =q>(-v, f/) + бср(лг, у). |
|||
2. |
Поскольку |
|х?1> R зависят |
от электростатиче |
ского потенциала, то производим уточнение этих вели
чин ДЛЯ фточн (х, у ).
3. Для заданных значений ф, j.ip, рп производные в уравнениях (2.92) и (2.93) заменяем конечно-разно
стными |
соотношениями. Для |
|
(2.92) разностное уравне |
||||||
ние, в точке У, / |
(рис. 2.16) |
имеет вид |
|
|
|||||
(С. |
I |
.-)-С . i |
С |
I |
-f-C. . |
|)Фр/,/ = |
|||
i+— ,i |
|
1 |
« ./+ т |
— Г |
|
||||
|
— С . , |
_1_ |
|
|
___ L |
ф р *'- « ./ + |
|
||
|
|
+ |
2 ’ 1 |
|
|
2 |
’ |
|
|
4 “С. . |
1 Фр/, /+i -j- С. .__1_Фр«,/_1 — h2Ri,j, |
(2.96) |
|||||||
|
^ /+ |
2 |
|
*• 1 |
2 |
|
|
|
|
где C=jxPexp(—ф). |
|
С в выражении |
(2.96) |
для |
|||||
Величина |
коэффициента |
точки i -И/г берется как среднее значение для двух то чек i и х+1.
Разностное уравнение в точке i, j для (2.93) анало гично (2.96), однако С =рпе,хр (ф). Системы разностных уравнений для (2.92) и (2.93) решаются с помощью ме тода последовательной верхней релаксации
ф(*> |
|
|
|
|
ф |
pi.i |
|
|
|
|
|
- c |
i |
ф( f e - 1 ) |
- с |
/+ _21фРЛ/+1 + |
^ ’' f\ 1~ |
‘“ Г* |
pi-1. У |
||||
|
|
|
|
|
(2.97) |
где |
/ = С + |
, _ ,+ |
С._ , ^ + |
С _/+ , + С._. 1 . |
2
После вычисления фр и Фп новое значение вектора ср определяется в той же последовательности.
Очевидно, что рекуррентные соотношения (2.95) и (2.97), полученные для квадратичной сетки, могут быть обобщены и для неквадратичной и неравномерной сетки.
Рис. 2J7. Распределения плотности электронного тока вдоль эмнттерного (/), коллекторного (//) переходов и контакта коллекто ра (III) (а) и линий электронного тока в двумерной транзисторной структуре (б).
Арабские цифры около линий соответствуют процентному отношению элек тронного тока к общему току, протекающему между этой линией и осью сим метрии х.
Результаты |
моделирования |
внутренних |
электриче |
|||||
ских характеристик двумерной |
структуры кремниевого |
|||||||
Ваза |
Эмиттер |
п—р—л-транзистора с про |
||||||
филем примеси, показанным |
||||||||
|
|
на рис. 2.15,6 для режимов |
||||||
|
|
с малым и большим уров |
||||||
|
|
нем инжекции, приведены на |
||||||
|
|
рис. 2.17, 2.18 '[26]. Эффект |
||||||
|
|
вытеснения |
тока |
эмиттера |
||||
|
|
наглядно |
|
иллюстрируется |
||||
|
|
рис. |
2.17. |
При |
увеличении |
|||
|
|
уровня |
инжекции линии с |
|||||
Рис. 2:18. Распределение линий |
большей |
плотностью |
тока |
|||||
электростатического |
потенциа |
смещаются |
|
к боковым |
гра |
|||
ла в двумерной транзисторной |
ницам эмиттера в направле |
|||||||
структуре (/к=0,35 |
А/см, Ut{= |
|||||||
=0,5 В). |
|
нии |
у |
(рис. |
2.17,6). Харак- |