Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Математические модели элементов интегральной электроники

..pdf
Скачиваний:
20
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
14.39 Mб
Скачать

щении UK распределение <р(я) сдвигается по коор­ динате х в область коллектора. Это является на­ глядным подтверждением эффекта вытеснения базы в коллекторную область при высоких уровнях тока (эффект Кирка). Аналогично может быть прослежен и

Рис. 2.9. Вольт-амперные характеристики р—/i-переходов (а) и коэф­ фициенты усиления по току (б) для различных значений напряжения на переходах:

■--------

для нормального реж има;---------

для инверсного режима.

эффект модуляции ширимы базы (эффект Эрли): с уве­ личением обратного напряжения на коллекторном пере­ ходе при постоянном смещении на эмиттере распреде­ ление <р(х) сдвигается по оси х со стороны коллектора в область базы, уменьшая при этом эффективную шири­

ну базы.

Внешние электрические характеристики транзистор­ ной структуры приведены па рис. 2.9—2.11.

В результате анализа зависимостей рис. 2.9, 2.10 можно сделать вывод, что на статические характеристи­ ки транзисторной структуры существенное влияние ока­ зывают эффекты высокого уровня инжекции и модуля­ ции толщины базы. Первый эффект проявляется в от­ клонении вольт-амперных характеристик от идеального закона ехр (U/срт) и в уменьшении коэффициентов пере­ дачи по току на высоких уровнях тока. Следствием вто­ рого эффекта является значительный сдвиг вольт-ампер- ной характеристики эмиттерного перехода (рис. 2.9,а) и зависимости коэффициента pjy от тока (рис. 2.9,6) в сто­ рону больших значении и возрастание обратного тока

/ к0 (рис. 2.10) при увеличении напряжения на коллек­ торном переходе (Ук-

Результаты расчета внутренних статических распре­ делений потенциалов срР, срп и ф в структуре использу­ ются не только для определения внешних статических

Рис. 2.10. Обратная ветвь вольтамперной характеристики коллектер ного р—я-перехода.

Рис. 2.11. Удельные вольт-фа- радиые характеристики эмит­ терного и коллекторного рп- переходов.

характеристик, но и являются исходной информацией для расчета динамических параметров прибора, таких, как емкости р — «-переходов, времена задержки сигна­ ла, предельные частоты.

На рис. 2.11 приведены удельные вольт-фарадные ха­

рактеристики эмиттерного и коллекторного

переходов,

рассчитанные по формуле

 

С

(2.72)

где U — напряжение на р — «-переходе. Емкость, вычис­ ленная по формуле (2.72), представляет собой сумму барьерной и диффузионной составляющих. Время за­ держки сигнала и предельная частота в схеме включе­ ния транзистора с ОЭ определяются из выражений

fT= 1/2ят,

Расчет частотных

характеристик в

режиме

малого

сигнала. Формулировка задачи

может

быть

получена,

если в выражениях

(2.1) —(2.23)

переменные

предста­

вить в виде £=£s + £*exp (/со/).

Здесь

индексом

s обо­

значена

постоянная

составляющая,

а индексом t

амплитуда переменной составляющей.

 

 

 

В режиме малого сигнала выполняется условие

<фт и

уравнения

(2.1)—\(2.7)

линеаризуются

с по­

мощью замены

Тогда для переменных составляющих в режиме малого сигнала система уравнений (2.1) —(2.7) преобразуется к виду

JPt =

- WP[ps (typt/dx) + Pt (d^ps/dx)],

(2.73)

Jnt =

q^n [th (d<?ntjdx) -f- fit (d<?,isldx)]t

(2.74)

 

УСм= — /ш£ (dyt/dx),

(2.75)

 

dJpt/d x = —.jwqpt,

(2.76)

 

dJntjdx = jioqtiti

(2.77)

 

d2<?tjdx*= (q/e) (ttt pt).

(2.78)

Здесь постоянные составляющие фр$, фп«, Ps, fis опреде­ ляются из решения статической задачи, а переменные составляющие сзязаны следующими соотношениями:

(2.79)

Граничные условия для режима малого сигнала мо­ гут быть получены, если в выражениях (2.13)— (2.23) использовать только переменные значения входящих в них величин. Для транзисторной структуры, например, граничные условия приобретают следующий вид:

9pt (0) = <p„t (0) = t/s/e'”*,

(2.80)

b t {■**)= <p„t (xK) = UKleM ,

(2.81)

<?Р ( ( Х б ) = ,

(2.82)

0

 

(2.83)

При

заданных

величинах

статических

смещений и

частоты

система

уравнений

(2.73) —(2.78),

описываю­

щая частотные характеристики одномерных полупровод­ никовых структур в режиме малого сигнала, представ­ ляет собой систему обыкновенных дифференциальных

уравнений с комплексными

коэффициентами. Заменив

производные в выражениях

i(2.73) —(2.78) конечными

разностями, получим систему ЗМ-линейных алгебраиче­ ских уравнений с комплексными коэффициентами отно­ сительно переменных фзь срл и ср* в М-точках разбиения структуры. Эта система может быть решена на ЭЦВМ с помощью стандартных методов [23].

Рис. 2.12. Распределения действительных и мнимых частей потен­ циалов фр, Фп и ф* в одномерной транзисторной структуре (2.70) для /=0,01 (а) и 10 ГГц (б) при £/о=0,6 В, £/к=—15 В.

Представляет интерес проанализировать внутренние и внешние частотные характеристики транзисторной структуры (2.70).

На рис. 2.12 для двух частот f=0,01 и 10 ГГц пока­ заны внутренние распределения действительных и мни^ мых частей потенциалов <рР, фЛ, ф*. Из рис. 2.12видно, что на частоте 0,01 ГГц мнимые части потенциалов пре­

небрежимо малы по сравнению

с действительными.

В этом режиме можно считать, что

распределения фр,

фп и ф* являются чисто 'действительными величинами и

Рис. 2.13. Годографы удельного входного сопротивления транзистора для двух вариантов статических смещений:

1) С/0= 0.7 В, 15 В; 11) £/а=0,55 В, UK-----15 В.

Рис. 2.14. Амплитудно-фазовая характеристика коэффициента пере­ дачи по току a N в схеме с ОБ при £/э=0,55 В, £/,<=—15 В.

практически совпадают со своими стационарными рас­

пределениями. В результате

вместо решения системы

уравнений (2.73) —(2.78)

можно использовать более

простые малосигнальные квазистатические модели, рас­ смотренные в § 1.3.

На частоте 10 ГГц величины мнимых частей потен­ циалов сравнимы с действительными значениями (рис. 2.12,6). Это свидетельствуете том, что волна кон­ центрации носителей распространяется через область базы с конечной скоростью и, как следствие, между по­ тенциалами на эмиттериой и коллекторной границах базы имеет место определенный сдвиг фазы. Очевидно, что квазистатические модели для анализа частотных ха­ рактеристик в этом случае неприменимы.

На рис. 2.13 показаны годографы удельного входного сопротивления транзистора в схеме с ОБ для двух ва­ риантов статических смещений. Из рисунка видно, что при увеличении положительного смещения на эмиттер-

ном переходе U3 (а следовательно, и тока эмиттера) входное -сопротивление транзистора по переменному току падает.

Амплитудно-фазовая характеристика коэффициента передачи по току в схеме с ОБ изображена на рис. 2.14. Из этой характеристики можно определить верхнюю граничную частоту транзистора а>в как частоту, на ко­

торой модуль коэффициента а уменьшается в V 2 раз по сравнению со своим статическим значением.

2.2. Моделирование двумерных эффектов

Двумерная модель интегрального транзистора позво­ ляет учесть эффект вытеснения тока к границам эмитте­ ра, боковую инжекцию р—^-переходов, влияние пассив­ ных областей базы и коллектора, реальные физические условия на поверхности структуры.

Рис. 2.15. Двумерная структура (а) и профиль примеси (б) кремние­ вого пр—п-транзистора.

Рассмотренные ранее методы решения одномерной системы уравнений (2.1) —(2.7) можно обобщить для двумерной задачи. Процедура численного решения ока.- зывается более сложной, чем в одномерном случае, од­ нако уже имеются положительные результаты, получен­ ные для диода (24] и транзистора 125—27].

Решение системы основных уравнений рассмотрим на примере расчета двумерной транзисторной структу­ ры (рис. 2.15).

В нормализованном виде основные уравнения запи­ сываются следующим образом:

V4P =

* — р N,

(2.84)

/ р = - Р-р (pV? +

VP),

(2.85)

/л =

( п VР п ?

 

— V

* ) ,

V/p — — Л,

 

(2.87)

 

V

/ «

=

R .

 

где V = (d/dx) i +'(д/д#)7 — оператор

дифференцирова­

ния. Все величины в уравнениях

(2.84)—(2.88) зависят

от координат х и

 

 

 

 

 

Введем две переменные Ф?г и Фр:

 

ФЛ=

exp [In (п) — <р],

(2.89)

Фр =

ехр

+ In (/?)].

(2.90)

Подставим переменные Фп и Фр в уравнение Пуассона (2.84) и в уравнения переноса тока (2.85) и (2.86). Ве­ личины jp и /п в (2.87) и (2.88) заменим их выраже­ ниями через новые переменные Фп и Фр. В результате получим три дифференциальных уравнения в частных производных эллиптического типа относительно неизве­ стных ф, Фп, Фр

V * ? = Ф „ ехр (<р) — Фр ехр (— ?) — N,

(2.91)

Vb»*exp(-9)V®J = *.

(2.92)

V[*.exp(?)V®»1 = &

(2-93)

Граничные условия для структуры рис. 2.15,я следую­

щие [27].

На эмиттериом, базовом и коллекторном контактах имеют место термодинамическое равновесие носителей и нейтральность заряда. Если на контакта^ заданы внеш­ ние прикладываемые потенциалы, то граничные условия имеют вид

Фр= в ^ = е х р ( ^ ) . ? = ?rln (^ fL )+ t/y n p .

где £/Упгр=£/э, 0» UK на эмиттерном, базовом и коллек­ торном контактах соответственно; Nкопт— концентрация

донорной примеси на контактах.

Структура рис. 2.15симметрична относительно ли­ нии ML. Перенос носителей заряда вдоль NK осущест­ вляется только в глубь структуры (вдоль оси х). Поэто­ му на линиях ML и NK граничные условия имеют вид

д<?1ду= дФр/ду = dOnf ду = 0.

На поверхности, покрытой слоем окисла SiCb, нормальные к поверхности компоненты плотностей тока определяются скоростью поверхностной рекомбина­ ции s:

—tp/cj дФр

 

ф/фг дФп

fa

№ ?т е

= *пги?те

- g j - =

г __ sn.__________ ФрФп—1___________

 

‘ (Фле'?/1рг +

1) 1S„ +

( Ф

+ 1) ч,я

где xsp и Tsn — времена

жизни

дырок и электронов на

границе раздела Si—SiC^. Нормальный компонент элек­

 

 

трического

поля опреде­

 

 

ляется

плотностью

 

по­

 

 

верхностного заряда (Зпов:

 

 

ъ(дф/дх) | SI=Q IIOD,

 

при

 

 

этом

предполагается,

что

 

 

электрическое

поле

в

 

 

окисле SiOo

отсутствует.

 

 

Задача решается в следу­

 

 

ющей

 

последовательно­

 

 

сти.

Линеаризуем

урав­

 

 

 

1.

 

 

нение

(2.91)

подобно

то­

 

 

му, как это было сделано

 

 

в

итерационной

схеме

Рис. 2.16. Разностная сетка, ис­

Гуммеля

для

одномерно­

пользуемая при решении

двумер­

го

случая.

В

результате

ной системы уравнений

(2.91) —

получим

линейное

диф­

(2.93).

 

ференциальное уравнение

 

 

относительно

поправки

6ср(я, «/), которое при замене производных конечно-раз­ ностными соотношениями сводится к системе разностных

уравнений. Для квадратичной сетки (рис.

2.16) в точке

£, / разностное уравнение имеет вид

 

8?.+1. / + %-1. / + Ь?(. /+. + #Р«. /-< - а‘-

;= Ь,, i, (2.94)

где

at. / = 4 + А* [Фя(, Iехр ,) Фрг, / ехр (— <р(, /)];

bi. i = [V!fi. i -

фщ. i exp (<?,-. /) +

+ фр«‘. i exp ( -

<fi. i) + Nj.,] ft5.

Полученная система может быть решена методом по­ следовательной верхней релаксации. Приближения ficpi.j определяются по следующей итерационной формуле [28]:

Ч г

at. / [bu,

(Л)

(fe-i)

I, J- 1 - 5 ? /+ i - *

i. /+»

 

- * £ 7 ! /

 

(2.95)

 

 

 

где l< x < 2 —ускоряющий коэффициент. После опреде­

ления

6ф производится коррекция

электростатического

потенциала фТочи(*, i/) =q>(-v, f/) + бср(лг, у).

2.

Поскольку

|х?1> R зависят

от электростатиче­

ского потенциала, то производим уточнение этих вели­

чин ДЛЯ фточн (х, у ).

3. Для заданных значений ф, j.ip, рп производные в уравнениях (2.92) и (2.93) заменяем конечно-разно­

стными

соотношениями. Для

 

(2.92) разностное уравне­

ние, в точке У, /

(рис. 2.16)

имеет вид

 

 

(С.

I

.-)-С . i

С

I

-f-C. .

|)Фр/,/ =

i+— ,i

 

1

« ./+ т

— Г

 

 

— С . ,

_1_

 

 

___ L

ф р *'- « ./ +

 

 

 

+

2 1

 

 

2

 

 

4 “С. .

1 Фр/, /+i -j- С. .__1_Фр«,/_1 — h2Ri,j,

(2.96)

 

^ /+

2

 

*• 1

2

 

 

 

где C=jxPexp(—ф).

 

С в выражении

(2.96)

для

Величина

коэффициента

точки i -И/г берется как среднее значение для двух то­ чек i и х+1.

Разностное уравнение в точке i, j для (2.93) анало­ гично (2.96), однако С =рпе,хр (ф). Системы разностных уравнений для (2.92) и (2.93) решаются с помощью ме­ тода последовательной верхней релаксации

ф(*>

 

 

 

 

ф

pi.i

 

 

 

 

 

- c

i

ф( f e - 1 )

- с

/+ _21фРЛ/+1 +

^ ’' f\ 1~

‘“ Г*

pi-1. У

 

 

 

 

 

(2.97)

где

/ = С +

, _ ,+

С._ , ^ +

С _/+ , + С._. 1 .

2

После вычисления фр и Фп новое значение вектора ср определяется в той же последовательности.

Очевидно, что рекуррентные соотношения (2.95) и (2.97), полученные для квадратичной сетки, могут быть обобщены и для неквадратичной и неравномерной сетки.

Рис. 2J7. Распределения плотности электронного тока вдоль эмнттерного (/), коллекторного (//) переходов и контакта коллекто­ ра (III) (а) и линий электронного тока в двумерной транзисторной структуре (б).

Арабские цифры около линий соответствуют процентному отношению элек­ тронного тока к общему току, протекающему между этой линией и осью сим­ метрии х.

Результаты

моделирования

внутренних

электриче­

ских характеристик двумерной

структуры кремниевого

Ваза

Эмиттер

пр—л-транзистора с про­

филем примеси, показанным

 

 

на рис. 2.15,6 для режимов

 

 

с малым и большим уров­

 

 

нем инжекции, приведены на

 

 

рис. 2.17, 2.18 '[26]. Эффект

 

 

вытеснения

тока

эмиттера

 

 

наглядно

 

иллюстрируется

 

 

рис.

2.17.

При

увеличении

 

 

уровня

инжекции линии с

Рис. 2:18. Распределение линий

большей

плотностью

тока

электростатического

потенциа­

смещаются

 

к боковым

гра­

ла в двумерной транзисторной

ницам эмиттера в направле­

структуре (/к=0,35

А/см, Ut{=

=0,5 В).

 

нии

у

(рис.

2.17,6). Харак-

Соседние файлы в папке книги