Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Математические модели элементов интегральной электроники

..pdf
Скачиваний:
20
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
14.39 Mб
Скачать

В кн.: Автоматизация в проектировании. Под ред. Д. КалаханЗ

и др. Пер. с англ. М., «Мир», 1972.

98.Ермак В. В., Жаров М. М., Межов В. Е. и др. Комплекс про­ грамм для расчета электрических характеристик компонентов

биполярных ИС. — Электронная промышленность», 1974, № 12. 99. Казенное Г. Г., Авдеев Е. В. Библиотека программы авто­

матизированного. проектирования

элементов

ИПС. — В кн.:

Машинные методы проектирования

электронных

схем. МДНТП

им. Ф. Э. Дзержинского, 1976.

 

В. И., Орликовский А. А.

100. Баринов В. В., Кремлев В. Я., Мошкин

Интегральные схемы с инжекционным

питанием. — «Зарубежная

 

электронная техника», 1973, № 19(67).

 

 

Ю1.Аваев

Н. А., Дулин В. Н„ Наумов

Ю. Е. Интегральные цифро­

 

вые схемы

с

инжекционным питанием. — «Зарубежная

радио­

 

электроника»,

1974, №

1.

 

 

 

транзи­

102. Аваев

Н. А., Наумов

10. Е. Статические характеристики

 

стора

с

инжекционным

питанием. — «Изв. вузов СС'СР. Радио­

 

электроника», 1975, т. 18, № 5.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

К г л а в е

4

 

 

1. Кроуфорд

Р.

Схемные

применения

МОП-транзисторов. Пер.

2.

с англ. Под ред. М. С. Сонина. М., «Мир», 1970.

 

Полевые транзисторы. Под ред. Д. Т. Уолмарка и X. Джонсона.

3.

Пер. с англ. Под ред. С. А. Майорова. М., «Сов. радио», 1971.

Валиев К. А., Кармазинский А. Н., Королев М. А. Цифровые

 

интегральные схемы на МДП-транзнсторах. М., «Сов. радио»,

4.

1971.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ходош Л. С. Технологические методы изготовления МДП-тран-

5.

зисторов. — «Зарубежная

электроника»,

1972, № 1.

 

Ричман П. Физические основы полевых транзисторов с изолиро­

 

ванным затвором. Пер. с англ. Под ред. Г. Г. Смолко. М., «Сов.

6.

радио»,

1971.

 

и применение полевых транзисторов. Пер.

Кобболд

Р. С. Теория

сангл. М„ «Мир», 1975.

7.Носов Ю. Р., Петросянц К- О., Шилин В. А. Модели компонен­ тов для машинного проектирования интегральных схем. Ч. II.

М|Д'П-транзнсторы. — «Зарубежная электронная техника», 1972,

N* 7.

8.

Рао

Н.

С.,

Sah С. Т. Effects of diffusion

currents

on characteris­

 

tics

of

metall — oxide — semiconductor

transistors. — «Sol.-St.

9.

Electr.»,

1966, v. 9, №

10.

of fixed-bulk charge on the cha­

Sah

С. T.,

Рао

H. C. The effects

 

racteristics

of

MOS Transistor. — «IEEE

Trans.»,

1966. v. ED-16,

10.

№ 5.

M.

B.

Phisioal

limitations

of MOS transistor. — «Sol-St.

Das

 

Electr.»,

1968, v. 11, (№ 3.

 

 

 

11.Wright G. T. Current— voltage characteristics, channel pinchoff and field dependence of carrier velocity in silicon insulated-gate FET. — «Electr. Letts», 1970, v. 6, № 4.

12.Шриффер Д. Эффективная подвижность носителей тока в по­

верхностных слоях пространственного заряда. — В кн.:

Пробле­

мы физики полупроводников. Пер. с англ. М., «Наука»,

1957.

13.Ходош Л. С., Шилин В. А. Математическая модель МДП-тран- зистора для машинного расчета интегральных схем. — В кн.:

Автоматизация проектирования в электронике. Под ред. Сигорского В. П. Вып. 6. Киев, «Техника», 1972.

14. Frohman — Bentchkowsky D., Grove A. S. Conductance of MOS transistors in saturation. — «IEEE Trans.», 1969, v. ED-16, № 1.

15.Морозов А. А., Ходош Л. С. Об исходной информации по пара­ метрами компонентов для статистического анализа МДП ИС.— «Изв. вузов СССР. Радиоэлектроника», 1971, т. 8, № 11.

16.Merkel G., Borel J., Cupcea N. An accurate targe — signal MOS transistor Model for Use in Computer — Aided design. «IEEE

Trans.», 1972, v. ED-19. N 5.

17. Frohman — Bentchkowsky D., Vadash L. Computer-aided design and characteristics of digital MOS integrated circuits. — «IEEE J.», 1969, v. SC-4, M 2.

18.Burns L. B. Large-signal transit-time effects in the MOS Transi tor. — «RCA Rev.», 1969, v; 30, № 1.

19.Караханян Э. P., Носов Ю. P., Шилин В. А. Анализ инерцион­

ности МДП-транзистора. — «Радиотехника и электроника», 1972,

т. :17, № 4.

20.Шилин В. А. Высокочастотная модель МДП-транзистора.— «Изв. вузов СССР. Радиоэлектроника», 1973. т. XVI, X* 3.

21.Шилин В. А. Каид. дис. Разработка математических моделей МДП-транзистора и приборов с зарядовой связью и их приме­ нение для анализа и оптимизации цифровых интегральных схем. М., МИЭМ, 1973.

22. Гальперин В. С., Красник Е. В.,

Овсянников Е. К. К вопросу

о методике разработки электрофизической модели «МОП транзи­

стора и

ее экспериментального

исследования. — «Электронная

техника.

Микроэлектроника», 1973,

вып. 4.

23.Гальперин В. С., Дольник В. Я., Красник Е. В. АМИС — про­ грамма моделирования схемотехнических решений 'МОП БИС.— «Электронная техника. Микроэлектроника», 1973, вып. 4.

24.Байков В. Д., Кармазинский А. Н., Немчинов В. М. Влияние

потенциала подложки на вольт-амперные характеристики уни­ трона со структурой металл — диэлектрик — полупроводник.— «Изв. вузов СССР. Радиоэлектроника», 1969, т. XII. № 5.

25.Ильин В. Н. Машинное проектирование электронных схем. М., «Энергия», 1973.

26.Paul R. Die ersetzschaltung van feldefeckttransistoren mit isolierten gate. — «Naclirichtenteclinik», 1966, v. .16, № 7.

27.Vanderpre D. An -accurate two-dimensional numerical anaylsis of

the MOS Transistor. — «Sol.-St. Electr.», 1972, v. 16, № 6.

28.Березин И. С., Жидков Н. П. Методы вычислени" М., Физматгиз, 1959.

К г л а в е 5

1.Кроуфорд Р. Ионное легирование в технологии МОП ИС с на­ грузками, работающими в режиме обеднения. — «Электроника», 1972. т. 45. № 9.

2.Юдин В. В., Туркин В. В. Основы технологии ионной импланта­ ции и ее применение в полупроводниковой электронике. — «Зару­ бежная электронная техника», 1972, № 8, 9.

3.Гиббонс Р. Ионное внедрение в полупроводниках. — «ТИИЭР»,

1968, т.

56,

3.

4. Ходош

Л.

С. Расчет профиля внедренной примеси в МДП-тран-

302

зисторах с ионнолегированными каналами. — «Электронная тех­ ника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы», .1973, Mb 8.

5.Носов Ю. Р., Ходош Л. С. Анализ характеристик МД:П-транзи- сторов с ионнолегированными каналами. — «Микроэлектроника», 1973, т. 2, Mb 5.

6.Edwards D. R., Магг G. Depletion-mode IGFET mod by deep i

implantation. — «IEEE

Trans.»,

1973, v. ED-20, Mb

3.

7. Lin H. C., Jones W. S. Computer analysis of the

double-diffused

MOS transistor for

integrated

circuits. — «IEEE

Trans.», 1973,

v. ED-20, Mb 3.

8.Зи C. M. Физика полупроводниковых приборов. Пер. с англ. Под ред. А. Ф. Трутко. М., «Энергия», 1973.

9.

Frohman — Bentchkowsky

D. A fully

decoded 2048 — bit electrical­

 

ly programmable FAiMOS

read only

memory. — «IEEE J.»,

1971,

10.

v. SC-6, Mb 5.

 

 

devi­

Boyle W. S., Smith G. E. Charge — coupled simiconductor

11.

ces.— «Bell Syst. Techn. J.», 1970, v. 49, Mb 4.

 

Альтман Л. Приборы с зарядовой

связью — новое направление

 

в создании ЗУ и устройств формирования сигналов изображе­

 

нии. — «Электроника», 1971, т. 44, №

13.

 

12.Носов Ю. Р., Шилин В. А. Приборы с зарядовой связью — новое направление микроэлектроники. — «Зарубежная электронная тех­ ника», 1972, Mb 13.

13.Носов Ю. Р., Шилин В. А. Теоретический анализ режимов хра­ нения и передачи заряда в приборах с зарядовой связью. — «Ми­ кроэлектроника», 1973, т. 2, Mb 1.

14.Amelio G. Т. et al. Charge — coupled imaging devices: design

cousideration. — «IEEE Trans.», 1971, v. ED-18, № 11.

15.Strain R. J., Schryer N. L. A nonlinear diffusion analysis of char­ ge-coupled divice transfer. — «BSTJ», 1971, v. 50, Mb 6.

16.Шилин В. А. Аналитический расчет управляющих напряжений и быстродействия приборов с зарядовой связью. «Изв. вузов СССР.

Радиоэлектроника», .1973, т. 16, Mb 4.

17.Mohsen А. М. Charge transfer in charge coupled devices. — «IEEE J.», 1973, v. SC-8, Mb 3.

18.Шилин В. А. Приборы с зарядовой связью. — В кн.: Микроэлек­ троника. Под ред. А. А. Васенкова. Вып. 6. М., «Сов. радио», 1973.

19.Носов Ю. Р., Скороходов В. Д., Шилин В. А. Приборы с заря­

довой связью. Основные электрические характеристики. — «Элек­ тронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы», 1972,

8.

20.Русаков С. Г., Шилин В. А. Алгоритмы машинного расчета ха­

 

рактеристик

интегральных

схем

на

приборах с зарядовой

21.

связью. — «Микроэлектроника», 1973, т.

2, Mb 5.

Lee Н. S., Heller L. G. Charge-control

method of charge-coupled

22.

device transfer analysis. — «IEEE

Trans.», 1972, v. ED-19, Mb 12.

Shockley W.

A unipolar

fuld-effecl transistors. — «Ргос. IEEE»,

 

1952, v. 40, Mb

11.

 

 

 

23.Кобболд P. С. Теория и применение полевых транзисторов. Пер.

сангл. М., «Мир», 1975.

24.Trofimenkoff F. N. Field-dependent mobility analysis of the fieldeffect Transistor. — «Proq. IEEE», 1965, v. 53, Mb II.

25.Van der Ziel А., Его J. W. Small signal high-frequency theory of field-effect Transistors. — «IEEE Trans.», 1964, v. ED-11, Mb 4.

Оглавление

Предисловие

 

 

 

 

3

Введение

 

 

 

 

5

Глава /

 

 

 

 

 

ОБЩИЕ ВОПРОСЫ ПОСТРОЕНИЯ МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ

 

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬ­

10

НЫХ СХЕМ

 

 

 

 

1.1. Требования к математическим моделям. Классифика­

10

ция моделей

 

 

 

1.2. Исходные уравнения . . .

 

.

17

1.3 Методы построения моделей

 

21

1.4. Эквивалентные схемы физических процессов в полу­

 

проводниковых

структурах

 

 

37

1.5. Макромоделн цифровых ИС

 

 

45

Глава 2

 

 

 

 

 

БИПОЛЯРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ. ФИЗИКО-ТОПОЛОГИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ

48

2.1. Одномерная

модель

.

.

51

2.2. Моделирование

двумерных эффектов

76

2.3 Моделирование

трехмерной

структуры

83

Глава 3

 

 

 

 

 

БИПОЛЯРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ

93

3.1. Малосигнальные Модели транзистора . .

95

3.2. Модели транзистора для режима большого сигнала

109

3.3. Разновидности

биполярных

элементов интегральны

 

•схем

.

 

 

.

151

3.4. Определение параметров моделей транзисторов

165

Глава 4

 

 

 

 

 

УНИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ С ИЗОЛИРОВАННЫМ ЗАТВОРОМ

 

(МДП-ТРАНЗИСТОРЫ)

 

 

 

 

182

4Л. Основные уравнения МДП-компонентов

184

4.2. Физико-топологические модели

 

189

4.3. Электрические

модели

 

 

231

4.4. Малосигнальные модели

 

 

237

4.5. Двумерный

анализ

 

 

242

Глава 5

 

 

 

 

 

РАЗНОВИДНОСТИ УНИПОЛЯРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

250

5.1. МДП-транзистор с ионно-легированнымканалом

250

5.2. Другие разновидности МДП-транзисторов

265

5.3. Приборы с

зарядовой связью . . . .

271

5.4. Униполярные

транзисторы

с

управляющим р— п-пе­

 

реходом

 

 

 

 

283

Список литературы

292

Соседние файлы в папке книги