книги / Математические модели элементов интегральной электроники
..pdfном и стационарном случаях близки друг к другу. Физи чески это означает, что модели, полученные методом возмущений, можно использовать при анализе схем, в которых длительность переходных процессов значи тельно превышает собственную инерционность прибора.
Используя этот метод, можно показать, что для одномерного уравнения, описывающего процессы в полу проводнике,
и(*л)=«<. и{уг) = и г, |
(4.71) |
где f{u) и <р(«) — некоторые функции переменной и, динамические составляющие токов через электроды запи сываются в виде [21]
/'жвк (У.) = |
G |
|
|
| |
A,dttl>+ |
|
|
Ul |
1 |
«а |
|
|
|
|
(4.72) |
||
|
9 (^i) Л j* A2du01r |
|
|||
|
|
«a |
J |
|
|
/,д“ &*) = |
G \H(U?)—H \U,)\* f t(u')S' j |
+ |
|||
|
|
|
L |
«a |
|
|
-f- 9 (#2) *S2 J |
I, |
|
|
|
«a |
|
«a |
J |
|
|
|
//(«,) = |
Ut |
|
G —коэффи- |
|
где Я («2) = j cp( ?)Лг0; |
J<p(w0) |
|
|||
циент, отражающий проводимость; |
|
|
|||
- _ Н{их)Н{иг) . |
- _ //(u 2)8. |
- |
//(ui)8. |
s - S - f e A + a i r i ] - ^ ^
Wo — решение уравнения (4.71) |
в статическом случае; |
Vi — напряжения на внешних |
электродах; £4— напря |
жения на электродах, которые явно входят в функцию <р(ыо). Для МДП-транзистора в качестве уравнения
(4.71) следует использовать уравнение (4.28), которое после введения переменной u=U'a—<р и пренебрежения зависимостью подвижности от продольного поля (такое пренебрежение оправдано, поскольку эта зависимость в динамической модели будет учтена в генераторе стати ческого тока), можно переписать;
да |
|
|
flo |
|
dt |
|
|
l + Bco/(2^'a---- г /X |
|
x |
i l |
' |
a—Bx Vu'3- -u &/ \ |
|
< 1+ |
ду) |
|||
гг (0) = U3 - U, + |
UB- |
1/'н, |
и (L) = U 3- U 0 + UD- U'c. |
Для уравнения (4.73) функциями / и ф являются следующие выражения:
/(« )= |
______ ________ |
?(и) = |
и —Вес УU1з — и |
\ + B c c / ( 2 V U ' s - u ) * |
1+ U/UKX |
||
|
|
|
(4.74) |
Непосредственное использование уравнения (4.73) приводит к очень сложным выражениям для коэффи циентов динамической модели {21]. В целях упрощения усредним подвижность по длине канала и линеаризуем зависимость заряда подложки Q0с от поверхностного потенциала:
[Ла_, н*э(0) + ^рэ(^) __ н* |i
1 + [U3 |
- и о+ ив - 0,5(С/с - U J/U KX) |
(4.75а) |
|
Q o c = C J l ( U B + f lU ) = C A [ U B + T l ( U a - U , + U B - u ) ] ,
(4.756)
где т) выбирается из условия сопряжения заряда Qoc с аппроксимирующим выражением (4.756) при максимальном
напряжении канала С/шкс= £/макс(^)» "Ц^ ^ос (У^Уо -j- £Ликс—*
—^О/С/макс. Подставляя аппроксимации (4.75а) и (4.756)
вуравнение (4.14) и учитывая, что QP и и связаны ли нейно, получаем следующее приближенное уравнение от носительно Qp:
|
|
Сд [£/3 - £ |
/ . - |
|
|
<4J6> |
Qp(0 , |
0 = |
( 1 - f |
i ) U ' и] = |
Q „ |
||
Qp(L, |
<)= |
Сд [I/, - |
[/. - |
(1 + |
W c ] = |
Q- |
Для уравнения (4.76) функции / и <р определяются вы
ражениями f—|Аа/1,Сд(И-,п]'» Ф=Q P* Подставляя эти за висимости в (4.72), получим следующие выражения для динамических составляющих токов стока и истока:
|
г идга. = Сз |
KQ.-/. + |
. - |
|
|||
|
- |
(1 + |
Tj) Q J .t/'c - |
(1 +11) |
|
(4.77) |
|
|
- |
(1 +11) Q j j t i ’c - |
(1 + |
v) QiJiti’nh |
|
||
где C3 = CpZL — полная емкость |
диэлектрика |
затвора; |
|||||
J, = |
2Q5I - |
2QS* + 10Q*IQ22 - lOQ'.Q2,; |
Jt = |
3Q5, + |
|||
+ |
15Q.QS - |
I0Q*IQs2 - 8Qsa; |
J, = S Q \ - 3QSS + |
||||
|
|
+ 10Q!IQ’2 - |
15Q«,Q2. |
|
|
Для определения динамической составляющей тока затвора необходимо получить выражение для полного заряда затвора и продифференцировать его по всем управляющим напряжениям. Нетрудно убедиться, что полный заряд затвора равен
|
|
|
|
L |
|
L |
|
|
|
|
|
|
Q an = |
z |
J Q3dy = |
Z j |
( Q |
, + |
Qoe + Q m e ) Ш dU = |
||||
|
|
|
|
V'r |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
= |
Z | (Qp+Qoc + Q n o » ) !^ Л /: |
|
||||||
|
|
|
|
U’u |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Qt |
Q2pdQp |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
j |
|
|
|
|
|
|
|
= |
C 3 |
|
o. |
|
' |
1+ Y) |
“4" ZLQnoB — |
||||
1+ ^1 % |
QpdQp |
||||||||||
|
|
|
|
] |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Qi |
|
|
|
t) |
/ТТ __ |
I |
|
----- £ |
Г |
2 |
Q 2! - f |
Q 1Q 2 - f |
Q 22 |
I |
7 / Л |
||||
— Сз [ |
3 |
|
Qi + Qt--------- г |
1+ |
у (^3 — l / J j |
+ |
ZLQnoB. |
(4.78)
Дифференцируя это выражение по напряжениям £/'э, £/'С| С/'и, получим формулы для емкостных элементов, опре деляющих динамическую составляющую тока затвора
/'здин- В окончательном виде модель активной области для полных токов /'зп, /'сп, /'ип. (если за положительные принять направления втекающих в прибор токов) представляется следующей системой дифференциальных уравнений:
/'з п |
|
с ' и |
с ' , 2 |
1/ i s |
|
u s |
|
О |
|
(4.79) |
|
/ 'с п |
= с а |
с 121 |
|
2 |
СГЪ1 |
X |
Ос |
+ |
/ ' с |
, |
|
|
|
СГ2 |
|
||||||||
/ 'в п |
|
С'31 |
с 'г 2 |
Сгы |
|
0 „ |
|
- / 'с |
|
|
|
где |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
у . |
|
2 |
|
1 |
|
2Q IQ 2 |
1__ L . |
|
||
|
О 11 - |
3(1 + |
1) |
|
1 (Q . + QO* |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
||||||
с* |
2 Г . _ |
|
<3*. |
1 |
С*и |
|
2 |
i _____ 9*1__]• |
|||
|
ч |
(Qi + |
Qa)2. |
|
|
3 |
1 |
(QI + Q2)2J* |
|||
С*г\ = |
— fli (Q i/i -(- Q sA )» |
|
= |
£ i (1 |
T|) Q |/it |
|
|||||
|
|
crга —л» (1 -f" *ч) Qi*A» |
|
|
|
||||||
|
|
= |
— # i (Qa^a |
Q iA )l |
|
|
|
||||
cft2 = ai (1 |
TQ) Qe-Aj сЧ*— flt (l |
1|)QiA; |
|
||||||||
|
|
|
_ |
2 |
|
1+ |
ti , . |
|
|
|
|
|
|
a , — |
15 |
|
|
|
■ |
|
|
|
|
/W 'o (tfa , |
i/'c, |
C/'H)—статический ток, |
протекающий от |
истока к стоку, в активной области МДП-транзистора. Первое слагаемое в левой части матричного уравне ния (4.79) представляет собой динамические, а второе— статические составляющие токов. Выражение (4.79) справедливо в крутой области характеристик. В режиме отсечки (когда напряжение на затворе меньше порого вого напряжения £/0) канала нет и транзистор управля ется так же, как МДП-структура, поэтому емкость затво ра равна С3, т. е. коэффициент с'ц= 1, а все остальные емкостные коэффициенты и ток стока / 'с в (4.79) равны нулю. В пологой области коэффициенты низкочастотной модели можно считать равными их значениям на грани це крутой и пологой областей при Q2= 0. Зависимости коэффициентов точной (4.73) и аппроксимирующей (4.76) моделей от режима приведены на рис. 4.17. Хо рошее совпадение кривых доказывает справедливость
принятых аппроксимаций.
Уравнения (4.79) могут быть легко запрограммиро ваны; емкостные коэффициенты определяются простыми формулами, и их вычисление требует малых затрат ма-
214
Шинного времени. Предложенную модель активной обла сти удобно применять для расчета ИС, в которых нели нейность внутренних емкостей МДП-транзистора оказы вает влияние на переходные процессы в схеме. К ним относятся последовательные схемы с малыми паразит ными и нагрузочными емкостями, линейные схемы и коммутирующие устройства.
Рис. 4.17. Зависимость емкостных коэффициентов точной (------- |
) и |
|
аппроксимирующих (---------- |
) динамических моделей от режима. |
|
В МДП-транзисторах логических схем, изготовленных по стандартной технологии, имеются паразитные емкости (емкости перекрытий и диффузионных областей). Ана лиз показал [21], что полную матрицу коэффициентов в выражении (4.79) можно заменить упрощенной матри цей, которой соответствует приближенная эквивалентная схема активной области, приведенная на рис. 4.18,а. На рисунке приняты следующие обозначения:
С 1а н = — СзСГц ) С а с = —
Сз в отсутствие канала,
С
о в крутой и пологой областях;
С с п — ■ |
С*\г)> |
п — С з ( с 'ц |
с \ а). (4.80) |
Для построения динамической модели можно также ис пользовать подход, предусматривающий интегрирование основного дифференциального уравнения в частных про изводных (4.19) по координате, и переход к выражениям, для полных зарядов характерных областей прибора (см. гл. 1). Поскольку собственной инерционностью МДП-транзистора можно пренебречь по сравнению с длительностью переходных процессов в анализируемых
Рис. 4.18. Полная (а) и упрощенная (б) эквивалентные схемы актив ной области МДП-транзистора, полученные методом заряда.
схемах, то при получении выражений для зарядов можно считать, что ток МДП-транзистора и распределения за рядов безынерционно следят за изменениями управляю щих напряжений.
Запишем выражения для динамических токов МДПтранзистора. За положительные направления примем направления токов, втекающих в прибор (рис. 4.15,6). Так как затвор изолирован от канала и подложки, то изменение полного заряда затвора Q3п связано только с протеканием тока затвора /'зп (напомним, что штрихом обозначаются токи, втекающие во внутреннюю область прибора):
/'з П= V здан = dQsnfdt. |
(4.81) |
Аналогичное выражение можно записать для динамиче ской составляющей тока подложки /'пдин*
/ /п дни —■dQcc п(dt. |
(4.82) |
Изменение полного заряда канала связано с проте
канием двух токов: тока истока 7'1Г и тока стока |
/'с: |
I'c+ ru^dQ pafdt. |
(4.83) |
Кроме выражений (4.81) —(4.83), для токов можно запи сать первый закон Кирхгофа, согласно которому сумма токов, протекающих через все выводы прибора, равна нулю:
/'э-И'с + ''.1 + ''п= 0, /'эл»-+/'с д,ш+
“1” I'll ДШ1 -f“ I’ПДПИ ==0. |
(4.84) |
Приведенные выражения описывают низкочастотные (квазистационарные) процессы в МДП-транзисторе. Для того чтобы перейти от этих выражений к эквивалентной схеме с сосредоточенными параметрами, необходимо вы разить полные заряды как функции напряжений на элек тродах и разделить в (4.84) токи истока и стока.
Полные заряды определяются следующим образом:
L |
L |
I. |
Q3 и = Z £ Q3dy, Qocп —Z у Qocdy, Qpn==Z j*Qpdy.
б |
0 |
0 |
(4.85)
Используя предположение о том, что распределение заряда и потенциала в любой момент времени соответст вует стационарному, выразим dy через dU из уравнения для статического тока (4.30):
dy = ZQpiLpsdU/I'c' |
(4.86) |
Подставим (4.86) в выражения для зарядов (4.85) и перепишем их в виде
и'с
Qa и = (Z2/ V с) У Q sl^p a Q p d U ,
U \
|
|
U'c |
|
Qocn = |
(ZV/'c) |
ГQo&fnQpdU, |
(4.87) |
|
|
"'и |
|
Qpn= |
"'с |
|
|
( Z 2/ l'c) |
f |
|
u\
Для того чтобы изменениям зарядов поставить в соот ветствие емкостные элементы эквивалентной схемы, необ ходимо выразить Q3n через напряжения между электро дами затвор — исток и затвор — сток. Нетрудно убедить ся в том, что Q3n=Q3if(C/3—U'c, U 3—U 'и, £/3), т. е. заряд затвора зависит также от напряжения затвор — подлож ка. Действительно, если напряжение С/3 изменить на величину Д£/3 и таким же образом изменить напряжения на стоке и истоке (так, что U 3— U 'c и U 3—U 'K останутся неизменными), то полный заряд затвора все равно изме нится за счет изменения распределения U { y ) . Заряд обедненного слоя также зависит от U 3.
Анализ, выполненный в (22, 23], показывает, что полу ченная на базе уравнений (4*81)—(4.87) эквивалентная схема МДП-транзистора кроме обычных емкостных эле ментов содержит управляемые емкостные генераторы то
ков, включенные |
между выводами |
затвор — исток и |
исток — подложка |
(рис. 4.18,а). Эти |
элементы отража |
ют изменение зарядов затвора и подложки при измене нии напряжений на истоке (при U 3— U 'a = const) и на затворе (при U'и= const). Упрощенная модель получает ся, если предположить, что полный заряд затвора зави сит только от разности напряжений затвор — сток и за твор —исток, а заряд обедненного слоя подложки опре деляется только напряжениями U 'c и £/'и:
Qsn=:Q*a[(U3'--[U'c, с/з-г/'и),
Qoc п z= Qoc п (U 'c, U rе). |
(4.88) |
Введя такую аппроксимацию для зарядов, мы заранее предопределяем вид эквивалентной схемы МДП-тран зистора (рис. 4.18,6).
С учетом принятых аппроксимаций (4.88) выражения для токов, протекающие через электроды, запишутся в виде
•(4.89)
/'
= - { C 'cn0 ’c-\-C'9aU’B). |
(4.90) |
Здесь емкости затвор — сток С*ас, затвор—исток С*аи, сток — подложка С'сп. исток— подложка С'па отражают процессы изменения зарядов в активной области МДПтранзистора.
Токи истока и стока соответственно равны
„ = г с - |
С’, С {0a - О'с) + С'с „С'с, |
|
(4.91) |
/ ' с |
- С ' 3 „ (0, - С ' „ ) + С ' „ |
где /'с — статический ток транзистора, который также безынерционно «следит» за напряжениями электродов. Прежде чем записать окончательные выражения для ем костных параметров эквивалентной схемы, приведем к более удобному виду выражения для зарядов и тока. Для этого в (4.87) вынесем все постоянные коэффициен ты за знак интеграла. Такое же преобразование сделаем в выражении для тока стока:
/с = £ ^ 7 с , |
(4.92) |
и'с_
где /с —■ С QPrPsdU.
Обозначение переменных с чертой сверху соответствует нормированным величинам QP = QP/CA, |грэ = р,рэ/р.0. Кро
ме этого, для некоторых вычислений в (4.87) удобно сделать замену переменной и= £/3—U. Тогда выражения для заряда можно переписать:
Qa п= |
С |
_____ |
QbPpiQpdu, |
||
С |
и*~и’с |
|
|
и.л-и>Е |
(4.93) |
Qpn= -==— |
^ Q3pPp»du. |
"з-V'c
Дифференцируя (4.87) с учетом (4.88) —(4.93), полу чаем обобщенные выражения для емкостных составляю щих эквивалентной схемы активной области МДП-тран- зистора, полученной методом заряда:
dQa п |
/ л ., л I |
|
|
|
|
О*-**_____ \ |
|
|
||
|
— |
Q pP ps |u=U3—U '„ |
f Q a P p a Q p d tl I , |
|
|
|||
|
|
|
|
W |
|
/ |
|
|
C'3c= |
a(£/!-t/'c) |
j ( *'<&?рв<?р\u=Va-U’c+ |
|
|||||
|
|
|
|
Уэ-У'и___ \ |
|
|
|
|
4 “ Q p ^ p a |и = У з_ и ^ с |
J |
Qz^pbQpdu j , |
|
|
||||
C« n = |
W |
= |
^'eQocl.paQp |
+ |
(4.94) |
|||
|
|
|
|
"c |
|
\ |
|
|
|
“4“ QpM'P3 Ic/sst/'jj^ Qcci^paQpdUj, |
|
|
|||||
C ’c -- |
- |
--ЩТГ |
(^~j> |
2 ^ |
^/'cQ oeH p»Q p |
Ii/= |
y»c |
|
|
|
|
|
« '._____ |
\ |
|
|
|
|
|
С рИ 'Рэ|у_^/с |
f Q ocPp&pdU J , |
|
|
|||
|
|
|
|
"'и |
|
/ |
|
|
где C3=CflZL — полная емкость активной области затво ра. Подставляя в эти соотношения различные аппрокси мации для заряда и подвижности, можно получить раз ные по точности динамические модели прибора.
Простейшую эквивалентную схему, известную как мо
дель Са {1], |
получим, |
если примем Qoc=0, |
ppa^const, |
|||
£/и=0: |
|
|
|
|
|
|
Q |
s |
— |
Ф пов — |
Q p(U—s — СU 0д — U ) t |
|
|
|
_ _ |
2 |
n |
(C/3 — |
1 /0) (3 (C /3 — t/o ) — 2 £ //c ] |
(4.95) |
3 H - |
3 |
° 3 |
|
[2(C/3 — £/o) — U rc]2 |
||
|
|
|||||
Г » |
— |
Ъ |
n ( C /s - t/o — t /' c ) [ 3 ( C / e — t f o ) — |
l / ' c ] |
||
3C“ |
2 |
Ua |
|
[2(6/3 — Uo) — U'c]z |
|
C'Hn --- C'c n — 0.
На рис. 4.19 приведена зависимость этих емкостей от
режима. |
Для получения более |
точной модели следует |
в (4.94) |
подставить зависимости |
(4.15) — (4.17) и (4.23); |
при этом получаются очень громоздкие выражения, ко торые мы здесь не приводим.