Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Математические модели элементов интегральной электроники

..pdf
Скачиваний:
20
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
14.39 Mб
Скачать

ном и стационарном случаях близки друг к другу. Физи­ чески это означает, что модели, полученные методом возмущений, можно использовать при анализе схем, в которых длительность переходных процессов значи­ тельно превышает собственную инерционность прибора.

Используя этот метод, можно показать, что для одномерного уравнения, описывающего процессы в полу­ проводнике,

и(*л)=«<. и{уг) = и г,

(4.71)

где f{u) и <р(«) — некоторые функции переменной и, динамические составляющие токов через электроды запи­ сываются в виде [21]

/'жвк (У.) =

G

 

 

|

A,dttl>+

 

 

Ul

1

«а

 

 

 

 

(4.72)

 

9 (^i) Л j* A2du01r

 

 

 

«a

J

 

 

/,д“ &*) =

G \H(U?)—H \U,)\* f t(u')S' j

+

 

 

 

L

«a

 

 

-f- 9 (#2) *S2 J

I,

 

 

«a

 

«a

J

 

 

 

//(«,) =

Ut

 

G —коэффи-

где Я («2) = j cp( ?)Лг0;

J<p(w0)

 

циент, отражающий проводимость;

 

 

- _ Н{их)Н{иг) .

- _ //(u 2)8.

-

//(ui)8.

s - S - f e A + a i r i ] - ^ ^

Wo — решение уравнения (4.71)

в статическом случае;

Vi — напряжения на внешних

электродах; £4— напря­

жения на электродах, которые явно входят в функцию <р(ыо). Для МДП-транзистора в качестве уравнения

(4.71) следует использовать уравнение (4.28), которое после введения переменной u=U'a—<р и пренебрежения зависимостью подвижности от продольного поля (такое пренебрежение оправдано, поскольку эта зависимость в динамической модели будет учтена в генераторе стати­ ческого тока), можно переписать;

да

 

 

flo

dt

 

 

l + Bco/(2^'a---- г /X

x

i l

'

a—Bx Vu'3- -u &/ \

< 1+

ду)

гг (0) = U3 - U, +

UB-

1/'н,

и (L) = U 3- U 0 + UD- U'c.

Для уравнения (4.73) функциями / и ф являются следующие выражения:

/(« )=

______ ________

?(и) =

и —Вес УU1з — и

\ + B c c / ( 2 V U ' s - u ) *

1+ U/UKX

 

 

 

(4.74)

Непосредственное использование уравнения (4.73) приводит к очень сложным выражениям для коэффи­ циентов динамической модели {21]. В целях упрощения усредним подвижность по длине канала и линеаризуем зависимость заряда подложки Q0с от поверхностного потенциала:

[Ла_, н*э(0) + ^рэ(^) __ н* |i

1 + [U3

- и о+ ив - 0,5(С/с - U J/U KX)

(4.75а)

 

Q o c = C J l ( U B + f lU ) = C A [ U B + T l ( U a - U , + U B - u ) ] ,

(4.756)

где т) выбирается из условия сопряжения заряда Qoc с аппроксимирующим выражением (4.756) при максимальном

напряжении канала С/шкс= £/макс(^)» ^ ^ос (У^Уо -j- £Ликс—*

^О/С/макс. Подставляя аппроксимации (4.75а) и (4.756)

вуравнение (4.14) и учитывая, что QP и и связаны ли­ нейно, получаем следующее приближенное уравнение от­ носительно Qp:

 

 

Сд [£/3 - £

/ . -

 

 

<4J6>

Qp(0 ,

0 =

( 1 - f

i ) U ' и] =

Q „

Qp(L,

<)=

Сд [I/, -

[/. -

(1 +

W c ] =

Q-

Для уравнения (4.76) функции / и <р определяются вы­

ражениями f—|Аа/1,Сд(И-,п]'» Ф=Q P* Подставляя эти за­ висимости в (4.72), получим следующие выражения для динамических составляющих токов стока и истока:

 

г идга. = Сз

KQ.-/. +

. -

 

 

-

(1 +

Tj) Q J .t/'c -

(1 +11)

 

(4.77)

 

-

(1 +11) Q j j t i ’c -

(1 +

v) QiJiti’nh

 

где C3 = CpZL — полная емкость

диэлектрика

затвора;

J, =

2Q5I -

2QS* + 10Q*IQ22 - lOQ'.Q2,;

Jt =

3Q5, +

+

15Q.QS -

I0Q*IQs2 - 8Qsa;

J, = S Q \ - 3QSS +

 

 

+ 10Q!IQ’2 -

15Q«,Q2.

 

 

Для определения динамической составляющей тока затвора необходимо получить выражение для полного заряда затвора и продифференцировать его по всем управляющим напряжениям. Нетрудно убедиться, что полный заряд затвора равен

 

 

 

 

L

 

L

 

 

 

 

 

 

Q an =

z

J Q3dy =

Z j

( Q

, +

Qoe + Q m e ) Ш dU =

 

 

 

 

V'r

 

 

 

 

 

 

 

 

 

=

Z | (Qp+Qoc + Q n o » ) !^ Л /:

 

 

 

 

 

U’u

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Qt

Q2pdQp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

j

 

 

 

 

 

 

=

C 3

 

o.

 

'

1+ Y)

“4" ZLQnoB —

1+ ^1 %

QpdQp

 

 

 

 

]

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Qi

 

 

 

t)

/ТТ __

I

 

----- £

Г

2

Q 2! - f

Q 1Q 2 - f

Q 22

I

7 / Л

— Сз [

3

 

Qi + Qt--------- г

1+

у (^3 — l / J j

+

ZLQnoB.

(4.78)

Дифференцируя это выражение по напряжениям £/'э, £/'С| С/'и, получим формулы для емкостных элементов, опре­ деляющих динамическую составляющую тока затвора

/'здин- В окончательном виде модель активной области для полных токов /'зп, /'сп, /'ип. (если за положительные принять направления втекающих в прибор токов) представляется следующей системой дифференциальных уравнений:

/'з п

 

с ' и

с ' , 2

1/ i s

 

u s

 

О

 

(4.79)

/ 'с п

= с а

с 121

 

2

СГЪ1

X

Ос

+

/ ' с

,

 

 

СГ2

 

/ 'в п

 

С'31

с 'г 2

Сгы

 

0

 

- / 'с

 

 

где

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

у .

 

2

 

1

 

2Q IQ 2

1__ L .

 

 

О 11 -

3(1 +

1)

 

1 (Q . + QO*

 

 

 

 

 

 

 

с*

2 Г . _

 

<3*.

1

С*и

 

2

i _____ 9*1__]•

 

ч

(Qi +

Qa)2.

 

 

3

1

(QI + Q2)2J*

С*г\ =

— fli (Q i/i -(- Q sA )»

 

=

£ i (1

T|) Q |/it

 

 

 

crга —л» (1 -f" *ч) Qi*A»

 

 

 

 

 

=

— # i (Qa^a

Q iA )l

 

 

 

cft2 = ai (1

TQ) Qe-Aj сЧ*— flt (l

1|)QiA;

 

 

 

 

_

2

 

1+

ti , .

 

 

 

 

 

a , —

15

 

 

 

 

 

 

/W 'o (tfa ,

i/'c,

C/'H)—статический ток,

протекающий от

истока к стоку, в активной области МДП-транзистора. Первое слагаемое в левой части матричного уравне­ ния (4.79) представляет собой динамические, а второе— статические составляющие токов. Выражение (4.79) справедливо в крутой области характеристик. В режиме отсечки (когда напряжение на затворе меньше порого­ вого напряжения £/0) канала нет и транзистор управля­ ется так же, как МДП-структура, поэтому емкость затво­ ра равна С3, т. е. коэффициент с'ц= 1, а все остальные емкостные коэффициенты и ток стока / 'с в (4.79) равны нулю. В пологой области коэффициенты низкочастотной модели можно считать равными их значениям на грани­ це крутой и пологой областей при Q2= 0. Зависимости коэффициентов точной (4.73) и аппроксимирующей (4.76) моделей от режима приведены на рис. 4.17. Хо­ рошее совпадение кривых доказывает справедливость

принятых аппроксимаций.

Уравнения (4.79) могут быть легко запрограммиро­ ваны; емкостные коэффициенты определяются простыми формулами, и их вычисление требует малых затрат ма-

214

Шинного времени. Предложенную модель активной обла­ сти удобно применять для расчета ИС, в которых нели­ нейность внутренних емкостей МДП-транзистора оказы­ вает влияние на переходные процессы в схеме. К ним относятся последовательные схемы с малыми паразит­ ными и нагрузочными емкостями, линейные схемы и коммутирующие устройства.

Рис. 4.17. Зависимость емкостных коэффициентов точной (-------

) и

аппроксимирующих (----------

) динамических моделей от режима.

 

В МДП-транзисторах логических схем, изготовленных по стандартной технологии, имеются паразитные емкости (емкости перекрытий и диффузионных областей). Ана­ лиз показал [21], что полную матрицу коэффициентов в выражении (4.79) можно заменить упрощенной матри­ цей, которой соответствует приближенная эквивалентная схема активной области, приведенная на рис. 4.18,а. На рисунке приняты следующие обозначения:

С 1а н = — СзСГц ) С а с = —

Сз в отсутствие канала,

С

о в крутой и пологой областях;

С с п — ■

С*\г)>

п — С з ( с 'ц

с \ а). (4.80)

Для построения динамической модели можно также ис­ пользовать подход, предусматривающий интегрирование основного дифференциального уравнения в частных про­ изводных (4.19) по координате, и переход к выражениям, для полных зарядов характерных областей прибора (см. гл. 1). Поскольку собственной инерционностью МДП-транзистора можно пренебречь по сравнению с длительностью переходных процессов в анализируемых

Рис. 4.18. Полная (а) и упрощенная (б) эквивалентные схемы актив­ ной области МДП-транзистора, полученные методом заряда.

схемах, то при получении выражений для зарядов можно считать, что ток МДП-транзистора и распределения за­ рядов безынерционно следят за изменениями управляю­ щих напряжений.

Запишем выражения для динамических токов МДПтранзистора. За положительные направления примем направления токов, втекающих в прибор (рис. 4.15,6). Так как затвор изолирован от канала и подложки, то изменение полного заряда затвора Q3п связано только с протеканием тока затвора /'зп (напомним, что штрихом обозначаются токи, втекающие во внутреннюю область прибора):

/'з П= V здан = dQsnfdt.

(4.81)

Аналогичное выражение можно записать для динамиче­ ской составляющей тока подложки /'пдин*

/ /п дни —■dQcc п(dt.

(4.82)

Изменение полного заряда канала связано с проте­

канием двух токов: тока истока 7'1Г и тока стока

/'с:

I'c+ ru^dQ pafdt.

(4.83)

Кроме выражений (4.81) —(4.83), для токов можно запи­ сать первый закон Кирхгофа, согласно которому сумма токов, протекающих через все выводы прибора, равна нулю:

/'э-И'с + ''.1 + ''п= 0, /'эл»-+/'с д,ш+

“1” I'll ДШ1 -f“ I’ПДПИ ==0.

(4.84)

Приведенные выражения описывают низкочастотные (квазистационарные) процессы в МДП-транзисторе. Для того чтобы перейти от этих выражений к эквивалентной схеме с сосредоточенными параметрами, необходимо вы­ разить полные заряды как функции напряжений на элек­ тродах и разделить в (4.84) токи истока и стока.

Полные заряды определяются следующим образом:

L

L

I.

Q3 и = Z £ Q3dy, Qocп —Z у Qocdy, Qpn==Z j*Qpdy.

б

0

0

(4.85)

Используя предположение о том, что распределение заряда и потенциала в любой момент времени соответст­ вует стационарному, выразим dy через dU из уравнения для статического тока (4.30):

dy = ZQpiLpsdU/I'c'

(4.86)

Подставим (4.86) в выражения для зарядов (4.85) и перепишем их в виде

и'с

Qa и = (Z2/ V с) У Q sl^p a Q p d U ,

U \

 

 

U'c

 

Qocn =

(ZV/'c)

ГQo&fnQpdU,

(4.87)

 

 

"'и

 

Qpn=

"'с

 

( Z 2/ l'c)

f

 

u\

Для того чтобы изменениям зарядов поставить в соот­ ветствие емкостные элементы эквивалентной схемы, необ­ ходимо выразить Q3n через напряжения между электро­ дами затвор — исток и затвор — сток. Нетрудно убедить­ ся в том, что Q3n=Q3if(C/3U'c, U 3U 'и, £/3), т. е. заряд затвора зависит также от напряжения затвор — подлож­ ка. Действительно, если напряжение С/3 изменить на величину Д£/3 и таким же образом изменить напряжения на стоке и истоке (так, что U 3U 'c и U 3U 'K останутся неизменными), то полный заряд затвора все равно изме­ нится за счет изменения распределения U { y ) . Заряд обедненного слоя также зависит от U 3.

Анализ, выполненный в (22, 23], показывает, что полу­ ченная на базе уравнений (4*81)—(4.87) эквивалентная схема МДП-транзистора кроме обычных емкостных эле­ ментов содержит управляемые емкостные генераторы то­

ков, включенные

между выводами

затвор — исток и

исток — подложка

(рис. 4.18,а). Эти

элементы отража­

ют изменение зарядов затвора и подложки при измене­ нии напряжений на истоке (при U 3U 'a = const) и на затворе (при U'и= const). Упрощенная модель получает­ ся, если предположить, что полный заряд затвора зави­ сит только от разности напряжений затвор — сток и за­ твор —исток, а заряд обедненного слоя подложки опре­ деляется только напряжениями U 'c и £/'и:

Qsn=:Q*a[(U3'--[U'c, с/з-г/'и),

Qoc п z= Qoc п (U 'c, U rе).

(4.88)

Введя такую аппроксимацию для зарядов, мы заранее предопределяем вид эквивалентной схемы МДП-тран­ зистора (рис. 4.18,6).

С учетом принятых аппроксимаций (4.88) выражения для токов, протекающие через электроды, запишутся в виде

•(4.89)

/'

= - { C 'cn0 ’c-\-C'9aU’B).

(4.90)

Здесь емкости затвор — сток С*ас, затвор—исток С*аи, сток — подложка С'сп. исток— подложка С'па отражают процессы изменения зарядов в активной области МДПтранзистора.

Токи истока и стока соответственно равны

„ = г с -

С’, С {0a - О'с) + С'с „С'с,

 

(4.91)

/ ' с

- С ' 3 „ (0, - С ' „ ) + С ' „

где /'с — статический ток транзистора, который также безынерционно «следит» за напряжениями электродов. Прежде чем записать окончательные выражения для ем­ костных параметров эквивалентной схемы, приведем к более удобному виду выражения для зарядов и тока. Для этого в (4.87) вынесем все постоянные коэффициен­ ты за знак интеграла. Такое же преобразование сделаем в выражении для тока стока:

/с = £ ^ 7 с ,

(4.92)

и'с_

где /с —■ С QPrPsdU.

Обозначение переменных с чертой сверху соответствует нормированным величинам QP = QP/CA, |грэ = р,рэ/р.0. Кро­

ме этого, для некоторых вычислений в (4.87) удобно сделать замену переменной и= £/3—U. Тогда выражения для заряда можно переписать:

Qa п=

С

_____

QbPpiQpdu,

С

и*~и’с

 

и.л-и>Е

(4.93)

Qpn= -==—

^ Q3pPp»du.

"з-V'c

Дифференцируя (4.87) с учетом (4.88) —(4.93), полу­ чаем обобщенные выражения для емкостных составляю­ щих эквивалентной схемы активной области МДП-тран- зистора, полученной методом заряда:

dQa п

/ л ., л I

 

 

 

 

О*-**_____ \

 

 

 

Q pP ps |u=U3—U '„

f Q a P p a Q p d tl I ,

 

 

 

 

 

 

W

 

/

 

 

C'3c=

a(£/!-t/'c)

j ( *'<&?рв<?р\u=Va-U’c+

 

 

 

 

 

Уэ-У'и___ \

 

 

 

4 “ Q p ^ p a |и = У з_ и ^ с

J

Qz^pbQpdu j ,

 

 

C« n =

W

=

^'eQocl.paQp

+

(4.94)

 

 

 

 

"c

 

\

 

 

 

“4“ QpM'P3 Ic/sst/'jj^ Qcci^paQpdUj,

 

 

C ’c --

-

--ЩТГ

(^~j>

2 ^

^/'cQ oeH p»Q p

Ii/=

y»c

 

 

 

 

« '._____

\

 

 

 

 

С рИ 'Рэ|у_^/с

f Q ocPp&pdU J ,

 

 

 

 

 

 

"'и

 

/

 

 

где C3=CflZL — полная емкость активной области затво­ ра. Подставляя в эти соотношения различные аппрокси­ мации для заряда и подвижности, можно получить раз­ ные по точности динамические модели прибора.

Простейшую эквивалентную схему, известную как мо­

дель Са {1],

получим,

если примем Qoc=0,

ppa^const,

£/и=0:

 

 

 

 

 

 

Q

s

Ф пов —

Q p(Us — СU 0д — U ) t

 

 

_ _

2

n

(C/3 —

1 /0) (3 (C /3 — t/o ) — 2 £ //c ]

(4.95)

3 H -

3

° 3

 

[2(C/3 — £/o) — U rc]2

 

 

Г »

Ъ

n ( C /s - t/o — t /' c ) [ 3 ( C / e — t f o ) —

l / ' c ]

3C“

2

Ua

 

[2(6/3 — Uo) U'c]z

 

C'Hn --- C'c n — 0.

На рис. 4.19 приведена зависимость этих емкостей от

режима.

Для получения более

точной модели следует

в (4.94)

подставить зависимости

(4.15) — (4.17) и (4.23);

при этом получаются очень громоздкие выражения, ко­ торые мы здесь не приводим.

Соседние файлы в папке книги