Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

2781.Всеобщее Управление Качеством

..pdf
Скачиваний:
101
Добавлен:
15.11.2022
Размер:
31.09 Mб
Скачать

Т а б л и ц а 3.2. Пробивные напряжения в вольтах диэлектрических слоев 160

 

 

 

однотипных МОП-структур

 

 

 

191

197

195

197

194

194

193

203

203

198

199

198

196

187

191

194

195

197

193

210

189

196

198

202

195

192

197

197

199

192

188

193

187

198

195

187

180

197

202

187

188

196

197

196

188

188

191

203

188

198

195

179

182

193

201

199

186

190

198

195

187

187

191

204

193

196

195

187

187

201

201

201

192

193

198

202

193

186

194

197

188

197

190

185

184

196

201

209

188

194

199

207

188

191

193

183

189

197

190

208

185

201

199

205

190

198

198

203

189

195

193

206

192

197

192

184

188

202

204

181

193

196

201

205

193

193

193

207

199

193

193

190

197

198

104

205

194

197

200

205

187

188

191

209

198

199

192

190

196

203

202

205

196

198

199

202

193

190

193

195

Т а б л и ц а 3.3. Упорядоченный статистический ряд наблюдений, составленный по результа­ там измерений пробивного напряжения диэлектрических слоев 160 однотипных МОП-структур

X

Количество

т

X

Количество

т

 

наблюдений

 

 

наблюдений

 

179

/

1

195

/ / / / / / / / /

9

180

/

1

196

/ / / / / / / /

8

181

/

1

197

/ / / / / / / / / / / / / /

14

182

/

1

198

/ / / / / / / / / /

10

183

/

1

199

/ / / / / / / / / /

10

184

и

2

200

/

1

185

/ /

2

201

/ / / / / / /

7

186

/ /

2

202

/ / / / / /

6

187

/ / / / / / / / /

9

203

/ / / / /

5

188

/ / / / / / / / / /

10

204

/ / /

3

189

/ / /

3

205

/ / / / /

5

190

тип

7

206

/

1

191

/ / / / / /

6

207

/ /

2

192

/ / / / / /

6

208

/

1

193

/ / / / / / / / / / / / / / / / /

17

209

/ /

2

194

/ / / / / /

6

210

/

1

Числа, стоящие в столбце х, называют упорядоченным рядом случай­ ной величины, а числа, стоящие в столбце т, — рядом частот. Таблица 3.3 дает более наглядную картину изменения значений случайной величины, чем табл. 3.2. Так, из табл. 3.3 видно, что структуры с пробивным напряжением от 190 до 199 В встречаются чаще других, а структуры с пробивным напряжени­ ем меньше 179 и больше 210 В вообще не встречаются.

Изменение фиксируемых значений случайной величины может быть дис­ кретным или непрерывным. Это имеет принципиальное значение, так как рас­ пределение дискретных и непрерывных величин описывается различными за­ конами. Так, дискретное распределение описывается обычно либо гипергео­ метрическим, либо биноминальным, либо пуассоновским законами [7], в то время как для описания непрерывной величины могут быть применены, на­ пример, законы Гаусса или Вейбулла.

Дискретным изменением случайной величины называют такое, при ко­ тором рядом лежащие значения в ранжированном ряду отличаются одно от другого на некоторую конечную величину (обьино целое число). Примером дискретного изменения случайной величины может быть число дефектных из­ делий в выборках, которые периодически берутся из текущего технологичес­ кого процесса. Число дефектных изделий может быть только целым.

Непрерывным изменением случайной величины называют такое, при ко­ тором рядом лежащие его значения в ранжированном ряду отличаются одно от другого на сколь угодно малую величину. Примером непрерывного изменения случайной величины может служить изменение пробивного напряжения; хотя, например, зафиксирован результат измерения 197 В, пробивное напряжение на диэлектрике обследуемой структуры не обязательно точно равно этому чис­ лу. Если применять более точный измерительный прибор, то результат может оказаться равным, например, 196,86 или 197,32 В.

В любом из этих двух случаев измеренное значение находится ближе к 197, чем к 196 или 198 В. Итак, если у 14 структур зафиксировано пробивное напряжение 197 В, то в действительности значение каждого из них колеблется от 166,5 до 197,4 В. При непрерывном изменении случайной величины ее рас­ пределение называют интервальным.

За величину интервала (его также называют классом), как правило, при­ нимают его середину, т.е. центральное значение.

Если значение случайной величины находится точно на границе двух классов, то можно считать (чисто условно) данное значение принадлежащим в равной мере к обоим классам и прибавлять одну его половину к верхнему, а другую — к нижнему классу. Наряду с этим правилом можно рекомендовать придерживаться следующего порядка: в каждый класс включаются те наблю­ дения, числовые значения которых больше нижней границы класса и меньше или равны верхней.

Число классов, на которые следует группировать статистический мате­ риал, не должно быть слишком большим (тогда ряд распределения становится невыразительным и частоты в нем обнаруживают незакономерные колебания), но не должно быть и слишком малым (тогда свойства распределения описыва­ ются статистическим рядом слишком грубо). Практика показывает, что при достаточно большом числе наблюдений рационально выбирать 10-20 классов.

Ш ирина классов (длина интервалов) может быть как одинаковой, так и раз­ личной. Проще брать ее одинаковой. В этом случае ширина класса подсчиты­ вается по формуле

К * J - (* » ,- * ■ * )/* »

(3-1)

где хр хм — границы /-го класса; хт>х, дс^ — максимальное и минимальное значения случайной величины в ранжированном ряду; к — число классов.

При формировании данных о случайных величинах, распределенных край­ не неравномерно, более удобно выбирать в области наибольшей плотности распределения ширину классов более узкую, чем в области малой плотности. В случае неодинаковой ширины классов удобнее пользоваться не абсолютной величиной nip а относительной, равной отношению частоты от,, приходящей­ ся на /-й класс или /-е значение параметра, к общему числу наблюдений п:

w, = от, /п.

(3.2)

Эту относительную величину называют относительной частотой или ча­ стостью. Нетрудно заметить, что сумма частостей всех интервалов равна еди­ нице, или 100 %.

Если заранее подготовить бланки в виде табл. 3.3 и, производя измере­ ния, вести ее заполнение, заранее выбрав классы (интервалы), то легко узнать состояние производства и качество произведенных за день изделий.

Приведенное в табл. 3.3 распределение пробивного напряжения имеет 32 интервала, каждый из которых равен 1 В. С учетом сделанных ранее замечаний о выборе числа интервалов (классов) необходимо значительно уменьшить число интервалов, приведенных в табл. 3.3. Для этого объединим по три значения показателя качества так, чтобы получились классы шириной 3 В. Способы та­ кого объединения показаны в табл. 3.4. Как видно из таблицы, при втором и третьем способах к числу 179 подключается соответственно еще одно или два значения, не зафиксированных в процессе измерений.

Т а б л и ц а 3.4. Способы объединения наблюдаемых значений показателей качества

 

Способ 1

 

 

Способ 2

 

 

Способ 3

 

Середина

 

Середина

 

Середина

 

интервала

Щ

интервала

Щ

интервала

щ

179

 

 

178

 

 

177

 

 

180

180

3

179

179

2

178

178

1

181

 

 

180

 

 

179

 

 

182

 

 

181

 

 

180

 

 

183

183

4

182

182

3

181

181

3

184

 

 

183

 

 

182

 

 

и ТЛ.

 

 

и тл.

 

 

и т.д.

 

 

Так как эти значения при измерении пробивного напряжения 160 струк­ тур не наблюдались, то их частоты равны нулю. То же самое справедливо для числа 210, замыкающего упорядоченный ряд. Если воспользоваться третьим способом, то получим интервальный ряд распределения с числом классов к = 12 и шириной класса, равной 2,9 В. Такой ряд приведен в табл. 3.5.

Удобно представлять статистический материал числовыми значениями, которые до некоторой степени отражают существенные характеристики ста­ тистического ряда — характеристики положения и рассеивания случайной вели­ чины.

Важнейшей характеристикой положения случайной величины является средняя арифметическая величина наблюдаемых значений (или просто средняя), которую для характеристики выборки называют выборочной средней арифме­

тической и обозначают через х . Если в результате п измерений получены зна­ чения х,, х2,... хп, то

 

 

1

(х. + х, +...+ х ) ~

1

л

 

 

у = -

2 X

( 3.3)

 

х

п

V 1

2

п'

п i - \ 1

Т а б л и ц а 3.5. Интервальный ряд распределения пробивных напряжений

 

диэлектрических слоев 160 однотипных МОП-структур

 

Интервал

Середина

Частота

Относительная

Накопленная

Относительная

(класс)

интервала

ж,

 

частота wif %

частота

накопленная

 

(класса)

 

 

 

 

Еж/

 

частота

176.5—179,4

178

 

1

 

0.6

 

1

0,6

179,5...182,4

181

 

3

 

1,9

 

4

2,5

182,5...185,4

184

 

5

 

3,1

 

9

5,6

185,5...188,4

187

 

21

 

13,1

 

30

18,1

188,5...191,4

190

 

16

 

10,0

 

46

28,7

191,5.-194,4

193

 

29

 

18,1

 

75

46,8

194,5...197,4

196

 

31

 

19,4

 

106

66,2

197,5...200,4

199

 

21

 

13.1

 

127

79,3

200,5...203,4

202

 

18

 

11,4

 

145

90,7

203,5...206,4

205

 

9

 

5,6

 

154

96.3

206,5—209.4

208

 

5

 

3,1

 

159

99,4

209,5—212,4

211

 

1

 

0,6

 

160

100,0

Пример 1. Если из табл. 3.3 взять пять первых значений пробивного напряжения, т.е. 179,

180, 181, 182, 183, то л = 5 и

£ * , = 905. Для данной выборки средняя арифметическая

/ = 1

* = 905/5 = 181 В.

В случае статистического ряда (когда значению параметра соответствует какая-либо частота) средняя арифметическая

 

 

-

1

к

(3.4)

 

 

х

= ~п

. 1 ^ '

 

 

 

где п =

к

т,.

 

 

 

£

 

 

 

i

=

l

 

 

 

В этом случае среднюю называют средней взвешенной.

Пример 2. Для упорядоченного ряда, приведенного в табл. 3.3, число интервалов к = 32:

х = (1/160) (179-1+180-1+...+209-2+2HM) = 31196/160 = 194,975 В.

Аналогично вычисляется средняя арифметическая интервального ряда табл. 3.5, с той только разницей, что в качестве значения параметра следует принимать середины интервалов:

х = (1/160) (178* 1+181 •3+...+208-5+211-1) = 31192/160 = 194,95 В.

Вследствие различной ширины интервалов рассматриваемых рядов обе средние частично не совпадают.

Следует подчеркнуть, что средняя только в том случае является обобща­ ющей характеристикой, когда она применяется к однородной совокупности статистического материала.

Кроме важнейшей характеристики положения — средней — при анализе и контроле процесса приходится встречаться и с другими характеристиками положения, в частности медианой и модой случайной величины.

Если полученные при измерениях значения расположить в возрастаю­ щем или убывающем порядке, то медианой будет значение Me, занимающее серединное значение в ряду. Таким образом, медиана это значение парамет­ ра, которое делит упорядоченный ряд на две равные по объему группы. При нечет­ ном числе измерений, т.е. при п = 2/+1, значение параметра для случая /+1 будет медианным. При четном числе измерений (20 медианой является сред­ няя арифметическая двух значений, расположенных в середине ряда.

Таким образом, формулы для вычисления медианы имеют следующий

виц:

 

Me = xj + I

(3.5)

для нечетного числа измерений;

 

Ме = (х, + хж )/2

(3.6)

для четного числа измерений.

 

Пример 3. Возьмем из табл. 3.4 пять первых значений пробивного напряжения (х, = 179, = 180, Xj * 181, х4 = 182, х3 = 183), т.е. нечетное число измерений, расположенных в возрастаю­ щем порядке. Находим медиану: (2/+1) = 5, откуда 2/ = 4, / = 2. По формуле (3.5) получим

Me = xl+l » Xj+| = Xj = 181 В.

Если из табл. 3.3 взять только четыре первых значения пробивного напряжения (х, = 179, х, = 180,

х, = 181, х4 = 182), т.е. четное число измерений, то 2/ = 4, / = 2. По формуле (3.6) Me = (х, + хж)/2 = (х, + х,)/2 = (180 + 181)/2 = 180,5 В.

Значение медианы легко определяется графически с помощью куму­ лятивной кривой. Так как по оси ординат отложены накопленные частоты, то, разделив отрезок ординаты, соответствующий 100 % наблю дений, по­ полам и восстановив из его середины перпендикуляр, получим медиану геометрически как абсциссу точки пересечения перпендикуляра с кумуля­ тивной кривой.

Модой случайной величины называется ее значение, которое наиболее часто встречается в данном ряду. Условимся обозначать моду через Мо. Для дискрет­ ного ряда мода определяется по частотам наблюдаемых значений контролиру­ емого параметра качества и соответствует значению параметра с наибольшей частотой. Так, на рис. 3.1 модальное значение совпадает со средним значением

случайной величины х .

При непрерывном распределении с равными интервалами модальный (т.е. содержащий моду) интервал определяется по наибольшей частоте, при неравных интервалах — по наибольшей плотности. Плотность вычисляется как отношение частоты к продолжительности интервала.

Средние величины, характеризуя однородную совокупность одним чис­ лом, не учитывают рассеивание наблюдаемых значений параметра качества. Для отображения рассеивания в математической статистике применяют ряд характеристик. Самой простой из них является размах R. Размах представляет собой величину неустойчивую, зависящую от случайных обстоятельств и по­ этому применяемую, как правило, в качестве приблизительной оценки рассе­ ивания. Однако размах бывает очень удобно применять в контрольных картах. Он сравнительно легко вычисляется как разность между наибольшим и наи­

меньшим значениями наблюдаемой случайной величины:

 

~ *rau ~ *raiiT

(3.7)

Другая статистическая характеристика рассеивания наблюдаемых значе­ ний показывает, как тесно группируются отдельные значения вокруг средней арифметической или как они рассеиваются вокруг этой средней. Так как алгеб­ раическая сумма отклонения отдельных значений xt от средней арифметичес­

кой х равна нулю и непригодна в качестве меры рассеивания, за меру рассе­ ивания принимают сумму квадратов отклонений отдельных значений от сред­ ней арифметической, деленную на число наблюдений, уменьшенное на еди­ ницу. Эту меру называют выборочной дисперсией и обозначают через i2. Для про­ стой статистической совокупностиI

~\2

I ( X j - х )

(3.8)

л - 1

При наличии частот т1

£ (* , - х)2т ,

 

*2 = / = 1_________

(3.9)

я - 1

 

к

где п = . £ j т ,.

Вместо выборочной дисперсии s1часто применяют выборочное стандар­ тное отклонение s. Оно имеет ту же размерность, что и средняя арифметичес­ кая. Выборочное стандартное отклонение для простой статистической сово­ купности при наличии частот определяется соответственно по следующим фор­ мулам:

К * /

-

х)2

s = i = 1

 

(ЗЛО)

п

-

1

Е(х,- - х ) 2/л,-

/ = 1_________

(3.11)

л - 1

Отношение стандартного отклонения к средней арифметической, выра­ женное в процентах, называют коэффициентом вариации V:

K = (s/x)-100

(3.12)

Коэффициент вариации, который также используется как статистичес­ кая характеристика рассеивания, показывает относительное колебание отдель­ ных значений около средней арифметической. Коэффициент вариации, явля­ ясь безразмерным, удобен для сравнения рассеивания случайной величины с ее средним значением.

Генеральную совокупность обычно представляют, как и выборочные дан­ ные, характеристиками положения и рассеяния случайной величины.

Характеристикой положения в этом случае является математическое ожидание, а характеристиками рассеивания — дисперсия или стандартное отклонение.

Математическое ожидание играет роль характеристики положения слу­ чайной величины в генеральной совокупности, и поэтому его иногда называ­ ют генеральным средним арифметическим значением случайной величины или центром группирования значений случайной величины в генеральной сово­ купности (см. рис. 3.1).

Рассмотрим случайную величину X, которая может принимать дискрет­ ные значения xv х2, х3,..., х.,..., хп с соответствующими вероятностями pv р2, р3,..., рп..., рп их попадания в выборку, сделанную из бесконечного множества значений X. Нам требуется охарактеризовать каким-то числом положение зна­ чений случайной величины на оси абсцисс с учетом того, что эти значения имеют различные вероятности появления их затем в выборке. Для этой цели воспользуемся формулой для средней взвешенной, где каждое значение х. при усреднении должно учитываться с “весом”, пропорциональным вероятности этого значения. Тогда генеральное среднее арифметическое значение случайной величины X, которое обозначим М(х), может быть подсчитано по формуле

 

 

п

МОс)

XI P j + X2 Р2 +-- + Х П Р п

/ = 1

P l + P 2 + - - - + P n

п

 

 

ИР,

 

 

/ = 1

п

или, учитывая, что £ р.= 1, / = 1

М{х) =

хр..

(3.13)

Вычисленная на основании формул (3.3) и (3.4), выборочная средняя всегда будет содержать элемент случайности, в то время как математическое ожидание, представляющее среднее значение случайной величины в генераль­ ной совокупности, является величиной постоянной для данной генеральной совокупности. При большом количестве наблюдаемых значений выборочная средняя приближается к математическому ожиданию.

Дисперсию случайной величины X в генеральной совокупности, которую будем обозначать через а 2 , подсчитывают по следующим формулам:

если значения х. в генеральной совокупности не повторяются,

I

[М (х )-х ,}2

 

а \х )= ^

------------------;

(3.14)

 

п

 

если значения х. повторяются,

к

Щ

 

S [М (х)~

 

о2(х) = / = 1

у

(3.15)

п

 

 

к

где п = £ т .

/ = 1 '

Чаще на практике вместо дисперсии применяют стандартное откло­ нение ст(х), которое вычисляется как корень квадратный из (3.14) или (3.15). И менно стандартное отклонение ст приведено в качестве характери­ стики рассеяния на рис. 3.1.

Важнейшим этапом, предшествующим принятию решения при управле­ нии процессом, является определение закона распределения исследуемой слу­ чайной величины по выборочным данным. Процедура проверки соответствия предполагаемого исследователем экспериментального закона распределения на основании выборочных данных теоретическому закону в настоящее время хо­ рошо отработана [8], и поэтому мы не будем его рассматривать. В то же время следует остановиться на одном законе распределения, который сравнительно часто встречается на практике, — это гауссовский закон распределения. Именно гауссовское распределение приведено на рис. 3.3.

Ш ирокое распространение гауссовского закона распределения находит теоретическое объяснение в центральной предельной теореме, смысл которой заключается в следующем. Предположим, что параметр качества Уисследуемо­ го объекта зависит от к действующих на него независимых между собой (или слабо зависящих) факторов Хх, Х2, Xv ..., Хк, образующих в каждый фиксиро­ ванный момент времени совокупность п случайных независимых (или слабо зависимых) случайных величин х,, х2, х3,..., хл, одновременно воздействую­ щих на качество процесса. Если число этих независимых случайных величин велико (приближается в пределе к бесконечности) и среди них отсутствуют случайные величины с резко отличающимися от других случайных величин средними квадратическими отклонениями (или, как говорят в этом случае, отсутствуют превалирующие факторы), то в соответствии с центральной пре­ дельной теоремой распределение значений параметра качества будет стре­ миться к гауссовскому закону. При этом каждая из воздействующих на каче­ ство объекта случайных величин может подчиняться каким угодно законам распределения. Таким образом, существует три условия центральной предель­ ной теоремы:

случайные величины должны быть независимыми (или слабо зависимыми); их число должно стремиться к бесконечности;

среди случайных величин должны отсутствовать превалирующие.

Рис. 3.3. Кривая распределения случайной величины, подчиняющаяся гауссовскому закону

Можно утверждать, что если процесс отлажен и контролируем, то рас­ пределение значений параметра качества на каждой операции будет близко к гауссовскому. Особенно часто встречается гауссовский закон при измерениях. Такие случайные величины, как ошибки измерений, могут быть представлены как сумма большого числа сравнительно малых слагаемых — элементарных ошибок, каждая из которых вызвана действием отдельной величины, не зави­ сящей от остальных. Каким бы законам распределения не были подчинены отдельные элементарные ошибки, особенности этих распределений в сумме большого числа слагаемых нивелируются и сумма оказывается подчиненной закону, близкому к гауссовскому. Основное ограничение, налагаемое на сум­ мируемые ошибки, состоит в том, чтобы все они в общей сумме равномерно играли относительно малую роль, т.е. должно выполняться третье условие цен­ тральной предельной теоремы. Если это условие не выполняется и, например, одна из случайных ошибок окажется по своему влиянию на сумму слагаемых ошибок резко превалирующей над всеми другими, то закон распределения этой превалирующей ошибки повлияет на сумму и определит в основных чертах ее закон распределения.

Гауссовский закон распределения характеризуется плотностью веро­ ятности

Л х ) = ^

t Ax-M(x)]2 /(2a2).

(3.16)

Для определенного распределения М(х) и а — величины постоянные. Они являются параметрами гауссовского распределения. Графически функция (3.16) представлена на рис. 3.3. Поясним с помощью этого рисунка физичес­ кий смысл плотности вероятности Дх). Предположим, что случайная величина х представляет собой время работы изделия до отказа (время безотказной рабо­ ты). Зададимся вполне определенным значением времени отказа изделия, рав­ ным а, и поставим вопрос следующим образом: какова вероятность того, что данное изделие откажет именно в момент времени х= а? Поставленный таким образом вопрос является некорректным в теории вероятностей. И поэтому от­ вет будет однозначным: вероятность того, что отказ произойдет в определенный момент времени х = а, равна нулю. Если же вблизи а взять малый интервал АХ, то вероятность того, что случайная величина х попадет в этой интервал,

Р [а< х< а + АХ] =Да)АХ.

(3.17)

При малых АХ правая часть уравнения (3.17) представляет собой площадь пря­ моугольника со сторонами Да) и АХ. Если обе части уравнения (3.17) разде­ лить на АХ, то получим вероятность, приходящуюся на единицу длины, т.е. плотность вероятности (аналогично тому, что плотность — это масса на едини­ цу объема):

Р [а

й х й а + А Х ]

 

Д а ) =

А Х

(3.18)

В этом и заключается физический смысл плотности вероятности.