книги / Модели и методы обеспечения функциональной и технологической воспроизводимости интегральных микросхем

С П И С О К Л И Т Е Р А Т У Р Ы

1. Авдеев Е. В., Чеботаев Е. В., Дьяконов В. М. Синтез диффузионной структуры интегрального транзистора. — Микроэлектроника, 1976, вып. 9,.

с.56-59 .

2.Агаханян Т. М. Основы транзисторной электроники. — М .: Энергия.

J974. — 256 с.

3. Александров В. М., Сысоев В. И., Шемелева В. В. Стохастическая опти­ мизация систем. — Техи. кибернетика, 1968, Ns 5, с. 14— 19.

4.Булевский П. И., Зауэр В. Технология элементов электронной аппарату­ ры. — Л. .-Машиностроение, 1983. — 221 с.

5.Баранов Г. Г. О выборе допусков, обеспечивающих заданную точностьмеханизма и наименьшую стоимость его изготовления. — В кн.: Тр. ин-та ма­

шиноведения, 1956, № 11, М., с. 3— 17.

6. Баранов В. В., Мошкин В. И., Орликовский А. А. Методы машинного

9.Баталов Б. В., Петров В. М., Чеботаев Е. В. О возможности оптималь­ ного управления температурным режимом диффузионных процессов. — Микро­ электроника, 1976, вып. 9, с. 78—91.

10.Батищев Д. И. Поисковые методы оптимального проектирования. — М .: Сов. радио, 1975. — 216 с.

11. Бененсон 3. М., Елистратов М. Р., Ильин JI. К. и др. Моделирование и оптимизация на ЭВМ радиоэлектронных устройств. — М .: Радио и связь,. 1981. — 272 с.

12. Боскис И. А. О выборе тепловой модели для расчета температурногополя гибридной интегральной микросборки. — Вопросы радиоэлектроники.. Сер. ТРТО, 1974, вып. 1, с. 74—79.

13. Вальков В. М. Автоматизация управления производства изделий элек­ троники ^(организационно-технологические процессы). — М .: Радио и связь,

14. Волков В. В., Лернер М. Д., Сторожук М. Б. Вопросы анализа и регу­ лирования технологических процессов фотолитографии. — Электронная техника.. Сер. упр. качеством, стандартизации, метрология, испытания, 1982, вып. 1 (93)— 2(94), с. 95 -9 8 .

15. Высоцкий Б. Ф., Алексеев Г. В., Борисов В. Ф. Конструирование и рас­ чет БГИС, микросборок и аппаратуры на их основе. — М .: Радио и связь,. 1981. — 216 с.

16.Гезалов А. А., Довтян А. Г., Лапидус Л. Е. и др. Комплексное модели­ рование процессов двухстадийной диффузии. — Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы, 1976, пып. 5(107), с. 84—96.

17.Глориозов Е. Л., Ссорин В. Г., Сыпчук П. П. Введение в автоматиза­

цию схемотехнического проектирования. — Сов. радио, 1976. — 224 с.

18.Гроп Д. Методы идентификации систем. — М .: Мир, 1979. — 302 с.

19.Демидович Б. П., Марон И. А. Основы вычислительной математики.—

М.: Наука, 1970. - 664 с.

20.Деньдобренко Б. И., Коваль В. А., Малика А. С. Оценка выхода год­

192

В кп.: Техн. диагностика электронных систем. К -: Наук, думка, 1982, с. 154— 158.

46.Кремниевые планарные транзисторы. — М .: Сов. радио, 1973. — 336 с.

47.Ланкастер П. Теория матриц. — М .: Наука, 1982. — 272 с.

48.Марчук Г. И., Агошнов В. И. Введение н проекционно-сеточные мето­

ды. — М .: Наука, 1981. — 416 с.

49.Месарович М., Такахара К. Общая теория систем: математические осно­ вы. — М. : Мир, 1978. — 311 с.

50.Месарович М., Мако Д-, Такахара И. Теория иерархических многоуров­

невых систем. — М. :Мнр, 1973. — 344 с.

51. Мойнов П. П. Оценка технологичности конструкций интегральных схем.— Электронная техника. Сер. упр. качеством, стандартизация, метрология, испы­ тания, 1982, вып. 1(93)—2(94), с. 85—87.

52. Норенков И. П. Введение в автоматизированное проектирование тех­ нических устройств и систем. — М .: Высш. шк., 1980. — 311 с.

53. Норенков И. П., Маничев В. Б. Системы автоматизированного проекти­

55.Н осов Ю. Р., Петросянц К. О., Шилин В. А. Математические модели элементов интегральной электроники. — М. : Сов. радио, 1976. — 304 с.

56.Орловский Г. В., Слисаренко А. О. Искусственный ннтелскт: промыш­ ленная точка зрения. — В кн.: ЭВМ в проектировании, и производстве. Л . :

Машиностроение, 1983, с. 5— 17.

57.Основы управления технологическими процессами. — М .: Наука, 1978. —

■440 с.

58.Петренко А. И. Основы автоматизации проектирования. — К .: Техшка. 1982. — 295 с.

59.Петросянц К. О., Рябов И. Н. Анализ на ЭВМ тепловых режимов

гибридных интегральных схем. — Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектро­ ника, 1980, вып. 5(89), с. 60—65.

60. Плескунин В. И., Воронина Е. Д . Оценка точности и стабильности процессов групповой технологии в АСУТП. — Электронная техника. Сер. 9. АСУ, 1974, № 1. с. 121— 128.

61. Полак Э. Численные методы оптимизации. — М. :Мир, 1974. — 374 с.

62.Применение ЭВМ в технологической подготовке серийного производ­ ства. — М. : Машиностроение, 1981. — 282 с.

63.Пролейко В. М., Абрам ов В. А., Брюнин В. Н. Системы управления качеством изделий микроэлектроники (теория и применение). — М .: Сов. ра­

дио, 1976. — 224 с.

64.Растрыгин Л . А., М адж аров Я. Е. Введение в идентификацию объектов управления. — М .: Энергия, 1977. — 216 с.

65.Растрыгин Л . А. Современные принципы управления сложными объекта­ ми. — М .: Сов. радио, 1980. — 232 с.

66.Роткоп Л . Л ., Спокойный IO. Е. Обеспечение тепловых режимов при конструировании РЭА. — М .: Сов. радио, 1976. — 232 с.

67.Сигорский В. П. Математический аппарат инженера. — К. : Техшка, 1975. - 768 с.

68.Сегерлинд Л . Применение метода конечных элементов. — М -: Мир, 1979. - 392 с.

69.Сироткин В. С., Пресс Ф. П. Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов. — М .: Энергия, 1979. — 208 с.

70.Соболь И. М. Численные методы Монте-Карло. — М .: Наука, 1973. —

194

72.Стояк Ю. Г., Путятин В. П. Размещение источников физических по- -ксй. — К .: Наук, думка, 1981. — 184 с.

73.Скурихин В. И., Шифрин В. Б,, Дубровский В. В. Математическое мо­ делирование. — К. : Техшка, 1983. — 270 с.

74.Тарабрин Б. В., Н азаров А. С., Кейджан К • А. и др. Метод определения оптимальной номенклатуры выходных электрических параметров ИС. — Микро­ электроника и полупроводниковые приборы, 1976, с. 159— 178.

75.Фиакко А.. Мак-Кормик Г. Нелинейное программирование. Методы после­ довательной безусловной минимизации. — М .: Мир, 1972. — 240 с.

76. Физические основы надежности / Под. ред. Ю. Г. Миллера. — М.: Сов. радио. 1976. — 320 с.

77.Фомин А. В., Борисов В. Ф., Чермошенский В. В. Допуски в РЭА. — М.: Сов. радио, 1973. — 122 с.

78.Фомин А. В., Бочонков 10. И., Сорокопуд В. А. Технология, надежность

иавтоматизация производства БГИС и микросборок. — М .: Радио и связь, 1981. — 352 с.

79.Фесечко В. А., Вакуленко А. С., Вакуленко С. С. Алгоритм расчета ГПИС но постоянному току с учетом реальных температур компонентов. — Автоматизация проектирования в электронике, 1975, № 77, с. 33—36.

80.Хартман К-, Лецкий Э., Ш ефер В. Планирование эксперимента в ис­

следовании технологических процессов. — М .: Мир, 1977. — 552 с.

81.Химмсльблау Д . Анализ процессов статистическими методами. — М .: Мир, 1983. — 957 с.

82.Химмсльблау Д . Прикладное нелинейное программирование. — М .: Мир, 1975. — 534 с.

83.Цветков В. Д. Системно-структурное моделирование и автоматизация проектирования технологических процессов. — Минск: Наука и техника, 1979. —

84.Черных А. В., Пресс Ф. П., Сироткин В. С. Метрологическая модель фотолитографии. — Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы. 1977, вып. 7, с. 85—93.

p.939—946.

90.Bandler J. W. and Charalambous C. Theory of generalized least ptl1 approximation. — IEEE. Trans. Cir. Th. 1972, CT— 19. p. 287—289.

91.B andler J. W. et. al. Worst case network tolerances optimization. — IEEE

Trans. Microwave theory and techniques, 1975, v. MTT-23, № 8, p. 630—641.

92. Bandler J. W. Optimization of design tolerances using nonlinear program­

respect to multiple criteria. — in: Proc. of the 1971 systems, man. and cybernetics

195

96. De Man M., Hortens R., Van Overstrom R. Transport equations in hevvy doping silicon. — IEEE Trans. Electron Devices, 1971, v. 14, p. 407—416.

97. Director S. W. el al. Computer-aided tolerance assignment lor linear circuits with correlated elements. — IEEE Trans. Circuit theory, 1973, v. et-20,

№5, c. 518—524.

98.Director S. W., Bristol W. A. and Brodersen A. I. Fabrication-based opti­

dependence, background effects and profile estimation. — J. electrochemical soc.,

№12, p. 991-993.

104.Gribbons /. F., Mybroig S. Estimation of impurity profiles in ion imple­

107.Karafin B. J. The optimum assignment of component tolerances for elect­ rical networks. — The bell system technical journal, 1971.

108.Kirsch L. W. and Sanathan С. K. Simulation and optimization techniques

using vector performance index. — In: IMACS Symposium on Simulation, 1977,

p.436—439.

109.Kjellstrom G. et al. Optimization methods for statistical network design.— IEEE Proc., 1975, ISCAS, p. 321—324.

110.Kow al V. A., M otyka I. I. Metodologiczne aspekty tworzenia automatyeznego systemu projeklowania bazy elementowei REA. — Wspomaganie projektowania technicznego. Wroclaw, 1977, s. 118—124.

111.Li S. T. et. al. Optimum tolerance assignment for linear systems with

correlated component values. — IEEE Proc., 1975, ISCAS, p. 190— 193.

112. Mertens R. P., Dcmen H. Jon Overstracten R. J. Calculation of the emitter efficiency of bipolar transistors. — IEEE Trans, on electron devices, 1973, v. 20, Лг9 9, Sep., p. 772—778.

113. Nakazima Y., Ohltawa S., Fukukawa /. Simplified expression for the distribution of diffused impurity. — Japan J. Appl. Phys., 1971, № 10, p. 163— 164.

114.Pinel J. F. Tolerance assignment and network of linear network in the frequency domain. — IEEE Course, 1973, № 73 - SC—06, p. 17—25.

115.Pinel J. F. and Roberts K. A. Tolerance assignment in network design. — IEEE proc, 1975, ISCAS, p. 324-327.

117.Pinel I. F. and Singhal K. Statictical design centering and tolerancing using parametric samplig. — IEEE Proc., 1980, ISCAS, p. 882—885.

118.Rey G., Bailbe I. P. Sonic aspects of carrient gain variations in bipolar transistors. — Solid -State Electronics, 1974, v. 17, p. 1045— 1057.

119. Spance R. and Tahim K. S. A radial exploration approach to manufactu­ ring yield estimation and design centering. — IEEE Trans. Cir. and Sys., 1979, v. CAS—26, № 9, p. 285-288.

196